• Membrane Journal
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• v.32 no.2
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• pp.140-149
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• 2022

In this study, the conditions of low temperature and high pressure of biogas upgrading process using polysulfone membrane have been designed and tested to achieve the high recovery and efficiency corresponding to those of the highly selective polymeric materials. Polysulfone hollow fiber membrane with 4-component dope solution was spun via non-solvent induced phase separation. The hollow fiber membrane was mounted into a 1.5 inch housing. The effective area was 1.6 m², and its performance was examined in various operation temperatures and pressures. CO₂ and CH₄ permeances were 412 and 12.7 GPU at 20℃, and 280 and 3.6 GPU at -20℃, respectively, while the CO₂/CH₄ selectivity increased from 32.4 to 77.8. Single gas test was followed by the mixed gas experiments using single-stage and double stage where the membrane area ratio varied from 1:1 to 1:3. At the single-stage, CH₄ purity increased and the recovery decreased as the stage-cut increased. At the double stage, the area ratio of 1:3 showed the higher CH₄ recovery as decreasing the operation temperature at the same purity of CH₄ 97%. Finally, polysulfone hollow fiber membranes have yielded of both CH₄ purity and recovery of 97% at -20℃ and 16 barg.

• 전자공학회논문지 IE
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• v.44 no.2
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• pp.8-13
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• 2007

This paper aims to analyze the characteristics of ITO which are caused by variation of plasma condition to fabricate the OLED of high efficiency. We treated $N_2$ gas and $O_2$ gas plasma on the surface of the ITO by changing their RF plasma power into 100 W, 200 W, 400 W and by changing their 9as pressure into 12 mTorr, 120 mTorr. The work function of ITO that plasma treatment was done by using $N_2$ gas had value of $4.88{\sim}5.07\;eV$, and that by using $O_2$ gas, $4.85{\sim}4.97 eV$. The characteristics of the ITO were most efficient in the $N_2$ gas plasma with the RF power of 200W and gas pressure of 120 mTorr. The rms roughness of ITO surface is the value from AFM image. In this case, ITO obtained $25.2\;{\AA}$ and $30.5\;{\AA}$ in the $N_2$ and $O_2$ gas plasma respectively when it had the RF power of 200 W. But ITO that didn't have plasma treatment was $44.5{\AA}$. The variation of ITO transmittance was almost not discovered by the change of $N_2$ gas and $O_2$ gas pressure.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2013.08a
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• pp.178.1-178.1
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• 2013

산화물 반도체는 가시광선영역인 380~780nm에서의 투과율이 80% 이상이고, 3.2eV 이상의 밴드갭과 높은 이동도를 가지는 물질로 투명하고 휘어지는 디스플레이에 전도유망한 물질로 연구되고 있다. $10cm^2/V{\cdot}s$ 이상의 이동도를 확보하기 위해 IGZO에서 Ga대신 Sn을 첨가한 ITZO 산화물 반도체에 대한 연구가 되고 있다. 본 연구에서 ITZO 산화물 반도체 박막 증착 시 가장 중요한 특성으로 알려진 산소의 영향에 따른 광학적 특성을 알아보기 위한 실험이다. RF 마그네트론 스퍼터링을 이용하여 산소 가스 분압에 따라 ITZO 박막을 증착하였다. $(Ar+O_2)$의 합을 20으로 고정하고 $O_2/(Ar+O_2)$의 비율을 0~40%까지 가변하였고, $O_2$의 비율이 증가함에 따라 증착율은 감소하는 경향을 보였다. 투명 소자로서의 가능성을 판단하기 위하여 밴드갭과 투과도를 측정하였다. 광학적 밴드갭은 증착 시 산소 분압이 0%에서 40%로 증가할수록 3.46eV에서 3.32eV로 감소하였고, 또한 투과도가 가시광 영역(380~770nm)에서 87%에서 85% 감소하였다. In, Sn, Zn 의 금속 원자와의 결합 과정에서 산소의 빈자리가 줄어들어 전도도가 감소하여 광학적 밴드갭이 감소함에 따라 투과도가 감소하는 것을 확인하였다.

• Economic and Environmental Geology
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• v.46 no.4
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• pp.359-373
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• 2013

Shale is considered as a source rock for conventional oil and gas exploration and development because shale is fine-grained detrital sedimentary rock which can preserve the organic matter better. Shale has a good sealing capacity for the petroleum trap due to its low permeability. Commercial recoveries of gas from shale in the North America based on the development of technologies of horizontal drilling and hydraulic fracturing reveal that shale also function as a effective reservoir rock. Geochemical techniques to evaluate generation potential of the hydrocarbons from organic matter in the source rocks can be applied for the exploration of the shale gas resources. To evaluate shale gas resources, it is important to understand various geochemical processes and shale characteristics controlling generation, storage and estimation of shale gas reserves. In this paper, the generation mechanism of the oil and gas from organic matter is reviewed, and geochemical techniques which can be applied for the evaluation and characterization of shale gas are introduced.

• Journal of Korea Soil Environment Society
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• v.5 no.3
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• pp.35-54
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• 2001

It is difficult to accurately predict each flow rate of landfill gas and leachate extracted from many of wells, which have been completed into a waste landfill containing gas and water. However it may be approximately predicted if we can define only relative fluid permeability of gas and leachate flowing through landfill porous media. Therefore numerical simulation using multi-phase flow equations makes use of ei s input data of the relative permeability which is measured and calculated in laboratory environment like in-situ, and consequently we can quantitatively obtain each flow rate of gas and leachate from collection wells. These series of technologies can provide with the important informations to determine the success or failure of landfill gas energy and landfill stabilization. This paper analyses the characteristics of landfill gas collection by six classes of case studies for none described landfill.

• Journal of Korean Ophthalmic Optics Society
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• v.11 no.2
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• pp.143-149
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• 2006

The purpose of this study is synthesizing silicone polymer which is used the material of contact lens and solving the problems of water content and light transmittance for gas permeable contact lens. We used NVP, MMA, HEMA monomer for polymerization and EGDMA as cross linking regent. Also, we polymerized with a several formulation arrangement for the best condition as contact lens. After that. we measured water content and light transmittance by each sample which was polymerized. We polymerized the silicone polymer which is simultaneously pursued by the transparent and water content of the material and measured their physical nature of each sample on this study.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2000.02a
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• pp.107-107
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• 2000

최근 반도체 소자의 고집적화 및 대용량화의 경향에 다라 MOSFET 소자 제작에 이동되는 게이트 산화막의 두께가 수 nm 정도까지 점점 얇아지는 추세이고 Giga-DRAM급 차세대 UNSI소자를 제작하기 위해 5nm이하의 게이트 절연막이 요구된다. 이런 절연막의 두께감소는 게이트 정전용량을 증가시켜 트랜지스터의 속도를 빠르게 하며, 동시에 저전압동작을 가능하게 하기 때문에 게이트 산화막의 두께는 MOS공정세대가 진행되어감에 따라 계속 감소할 것이다. 따라서 절연막 두께는 소자의 동작 특성을 결정하는 중요한 요소이므로 이에 대한 정확한 평가 방법의 확보는 공정 control 측면에서 필수적이다. 그러나, 절연막의 두께가 작아지면서 게이트 산화막과 crystalline siliconrksm이 계면효과가 박막의 두께에 심각한 영향을 주기 때문에 정확한 두께 계측이 어렵고 계측방법에 따라서 두께 계측의 차이가 난다. 따라서 차세대 반도체 소자의 개발 및 양산 체계를 확립하기 위해서는 산화막의 두께가 10nm보다 작은 1nm-5nm 수준의 박막 시료에 대한 두께 계측 방법이 확립이 되어야 한다. 따라서, 본 연구에서는 습식 산화 공정으로 제작된 3nm-7nm 의 게이트 절연막을 현재까지 알려진 다양한 두께 평가방법을 비교 연구하였다. 절연막을 MEIS (Medim Energy Ion Scattering), 0.015nm의 고감도를 가지는 SE (Spectroscopic Ellipsometry), XPS, 고분해능 전자현미경 (TEM)을 이용하여 측정 비교하였다. 또한 polysilicon gate를 가지는 MOS capacitor를 제작하여 소자의 Capacitance-Voltage 및 Current-Voltage를 측정하여 절연막 두께를 계산하여 가장 좋은 두께 계측 방법을 찾고자 한다.다. 마이크로스트립 링 공진기는 링의 원주길이가 전자기파 파장길이의 정수배가 되면 공진이 일어나는 구조이다. Fused quartz를 기판으로 하여 증착압력을 변수로 하여 TiO2 박막을 증착하였다. 그리고 그 위에 은 (silver)을 사용하여 링 패턴을 형성하였다. 이와 같이 공진기를 제작하여 network analyzer (HP 8510C)로 마이크로파 대역에서의 공진특서을 측정하였다. 공진특성으로부터 전체 품질계수와 유효유전율, 그리고 TiO2 박막의 품질계수를 얻어내었다. 측정결과 rutile에서 anatase로 박막의 상이 변할수록 유전율은 감소하고 유전손실은 증가하는 결과를 나타내었다.의 성장률이 둔화됨을 볼 수 있다. 또한 Silane 가스량이 적어지는 영역에서는 가스량의 감소에 의해 성장속도가 둔화됨을 볼 수 있다. 또한 Silane 가스량이 적어지는 영역에서는 가스량의 감소에 의해 성장속도가 줄어들어 성장률이 Silane가스량에 의해 지배됨을 볼 수 있다. UV-VIS spectrophotometer에 의한 비정질 SiC 박막의 투과도와 파장과의 관계에 있어 유리를 기판으로 사용했으므로 유리의투과도를 감안했으며, 유리에 대한 상대적인 비율 관계로 투과도를 나타냈었다. 또한 비저질 SiC 박막의 흡수계수는 Ellipsometry에 의해 측정된 Δ과 Ψ값을 이용하여 시뮬레이션한 결과로 비정질 SiC 박막의 두께를 이용하여 구하였다. 또한 Tauc Plot을 통해 박막의 optical band gap을 2.6~3.7eV로 조절할 수 있었다. 20$0^{\circ}C$이상으로 증가시켜도 광투과율은 큰 변화를 나타내지 않았다.부터 전분-지질복합제의 형성 촉진이 시사되었다.이것으로 인하여 호화억제에 의한 노화 방지효과가 기대되었지만 실제로 빵의 노화는 현저히 진행되었다

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2007.04a
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• pp.159-160
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• 2007

본 연구에서는 Si 타겟과 반응성 마그네트론 스퍼터링법을 적용하여 $SiO_xN_y$ 박막을 PET 필름상에 증착하였다. PET 필름상에 밀착력 증진 및 기판 표면 거칠기 제어를 위해 이온빔을 이용한 플라즈마 전처리를 수행하였다. 플라즈마 전처리 조건과 질소 가스 유량비에 따른 $SiO_xN_y$ 박막의 광학적 특성과 수분의 투습성에 대한 영향을 관찰하였다. 광학적 투과율은 전처리 및 조성비에 관계없이 95% 이상의 높은 광투과율을 보여주었다. 수분에 대한 투습 특성은 플라즈마 전처리 조건에 따라 다소 향상됨을 확인하였고, 질소 유량비가 증가함에 따라 투습 특성이 향상되었다.

• Polymer(Korea)
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• v.24 no.5
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• pp.621-628
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• 2000

Microporous polypropylene (PP) membranes have the high chemical and corrosion resistance, the good mechanical properties and the thermal stability under high temperatures, but its application is restricted within narrow limits due to hydrophobicity of membranes. In order to impart permanent hydrophilicity to the PP microfiltration membrane, the radiation-induced graft of 2-hydroxyethyl methacrylate (HEMA) and acrylic acid (AAc) containing hydrophilic functional group onto the membrane has been studied. The effect of graft conditions such as reaction time, total radiation dose, reaction temperatures, acid compositions on graft yield was investigated. Modified PP membranes were shown to cause an increase in the gas flux. Oil emulsion permeation flux of both original PP membrane and modified PP membrane was examined.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2003.07c
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• pp.1618-1619
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• 2003

개방형 스페이서(barrier)가 적용된 가스 절연개폐장치(GIS)에 외장형 부분방전(PD) 센서를 적용 하고 센서장착부, 인근 스페이서 또는 부싱으로 유입되는 광대역 잡음신호의 투과율을 10 - 2000 MHz의 극초단파 영역에서 측정하였다. 또한 간단한 금속 차폐체에 의한 잡음신호의 감쇄효과도 측정 하였다. 스페이서 또는 부싱을 통하여 인근센서에 유입되는 잡음의 크기는 차폐시와 대비하여 약 25 dB 증가하였다.