질소 가스 분위기에서 증착된 실리콘 질화막의 전기적, 광학적 특성 분석
(Electrical and Optical Characteristic Analysis of Silicon Nitride Film Deposited by $N_2$ Ambient)
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- 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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- 한국신재생에너지학회 2009년도 추계학술대회 논문집
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- pp.384-384
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- 2009