on-axis 스퍼터링 방법에 의한 $YBa_2Cu_3O_{7-y}$ 초전도 박막 제조
(Preparation of $YBa_2Cu_3O_{7-y}$ Superconducting Thin Films by on-axis Sputtering)
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- 한국진공학회지
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- 제4권2호
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- pp.172-176
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- 1995