ECR-PEMOCVD법을 이용한 $Ba_{x}Sr_{1-x}TiO_3$ 박막의 제조 및 특성평가 (Preparation and Characterization of $Ba_{x}Sr_{1-x}TiO_3$ thin films Using ECR-FEMOCVD)

• 이준성;송한욱;전병혁;노광수;곽동화;유병곤
• • 한국재료학회:학술대회논문집
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  • 한국재료학회 1995년도 추계 학술발표 강연 및 논문개요집
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  • pp.95-95
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  • 1995
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Si기판위에 에피텍셜 성장된 $(Ba_{0.5}, Sr_{0.5})TiO_3$박막의 C-V특성 (Capacitace-Voltage properties of strained ($(Ba_{0.5}, Sr_{0.5})TiO_3$ thin films epitaxially grown on Si substrate)

• 전성진;신상훈;이재찬;노용한
• • 한국재료학회:학술대회논문집
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  • 한국재료학회 2001년도 춘계학술발표강연 및 논문개요집
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  • pp.93-93
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  • 2001
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GaAs 집적소자용 $(Ba_{0.5},Sr_{0.5})TiO_{3}$ MIM capacitor 연구 (Preparation and Electrical Properties of $(Ba_{0.5},Sr_{0.5})TiO_{3}$ MIM capacitor for GaAs MMICs)

• 고정덕;김동식;정우철;이재신
• • 한국재료학회:학술대회논문집
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  • 한국재료학회 1995년도 추계 학술발표 강연 및 논문개요집
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  • pp.19-20
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  • 1995
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Sol-Gel로 제조한 $Ba_{0.5}Sr_{0.5}TiO_3$ 박막의 배향성 차이에 따른 유전특성 변화 (The Orientaion and Dielectric properties of $Ba_{0.5}Sr_{0.5}TiO_3$ Thin Films Prepared by Sol-Gel Process)

• 윤기현;손지훈;박지훈
• • 한국세라믹학회:학술대회논문집
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  • 한국세라믹학회 2000년도 춘계총회,특별강연,심포지움,연구발표회
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  • pp.133.2-133.2
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  • 2000
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($(Ba_{1-X}Sr_X)TiO_3$ 후막 유전체의 소결 온도와 유전 특성에 관한 연구 (Sintering temperature and Electrical properties of $(Ba_{1-X}Sr_X)TiO_3$ Thick films Dielectric substance)

• 전소현;윤존도;김인성;송재성
• • 한국재료학회:학술대회논문집
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  • 한국재료학회 2005년도 춘계학술발표대회 및 제8회 신소재 심포지엄 논문개요집
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  • pp.152-152
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  • 2005
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에피성장 ($Ba_{0.5}Sr_{0.5}$)$TiO_3$ 박막의 누설 전류 메커니즘에 미치는 두께 영향 (Thickness Dependence of Leakage Current Behavior in Epitaxially Grown ($Ba_{0.5}Sr_{0.5}$)$TiO_3$Thin Films)

• 안건호;백성기;김상섭
• • 한국재료학회:학술대회논문집
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  • 한국재료학회 2001년도 추계 학술발표강연 및 논문개요집
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  • pp.78-78
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  • 2001
• PDF

Si 기판위에 성장된 에피텍셜 $(Ba_{0.5}, Sr_{0.5}}TiO_3$박막의 잔류응력에 따른 유전특성변화 (Dielectric anomaly of strained $(Ba_{0.5}, Sr_{0.5}}TiO_3$ thin films epitaxially grown on Si substrate)

• 전성진;이재찬
• • 한국재료학회:학술대회논문집
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  • 한국재료학회 2000년도 추계학술발표강연 및 논문개요집
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  • pp.41-41
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  • 2000
• PDF

Self-seed layer 층을 이용한 $Ba_{0.66}Sr_{0.34}TiO_3$ 박막의 증착온도에 따른 전기적 특성 (Electrical Properties of $Ba_{0.66}Sr_{0.34}TiO_3$ Thin Films with Substrate Temperature Deposited on Self-seed Layer)

• 박철호;윤지언;송경환;손영국
• • 한국세라믹학회:학술대회논문집
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  • 한국세라믹학회 2003년도 추계총회 및 연구발표회 초록집
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  • pp.96.1-96
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  • 2003
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산소 분위기 열처리에 따른 ($Ba_{0.5}Sr_{0.5}$)$TiO_3$박막의 전기적 특성과 미세조직에 관한 연구 (Microstructure and Electrical properties of ($Ba_{0.5}Sr_{0.5}$)$TiO_3$Thin Films Annealed in Oxygen Atmosphere)

• 배현수;오상호;박찬경
• • 한국재료학회:학술대회논문집
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  • 한국재료학회 1998년도 추계학술발표강연 및 논문개요집
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  • pp.60-60
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  • 1998
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On-axis와 off-axis 방식 rf 마그네트론 스퍼터링법으로 증착된 (Ba,Sr)$TiO_3$ 축전박막에서의 전기적 물성에 대한 스트레스 영향 (Stress Effects on Electrical Properties of (Ba,Sr) $TiO_3$ Thin Film Capacitors Prepared by On- and Off-Axis Radio Frequency Magnetron Sputtering)

• 박우영;안건호;황철성
• • 한국재료학회:학술대회논문집
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  • 한국재료학회 2002년도 추계학술발표강연 및 논문개요집
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  • pp.57-57
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  • 2002
• PDF

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