Dielectric anomaly of strained $(Ba_{0.5}, Sr_{0.5}}TiO_3$ thin films epitaxially grown on Si substrate

Si 기판위에 성장된 에피텍셜 $(Ba_{0.5}, Sr_{0.5}}TiO_3$박막의 잔류응력에 따른 유전특성변화

  • Published : 2000.11.01