• 제목/요약/키워드: $SiO_2/K_2CO_3$

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RF 마그네트론 스퍼터링을 이용한 Bismuth Telluride 박막의 제조와 그 열전 특성 연구 (Preparation of Bismuth Telluride Thin Films using RF magnetron sputtering and Study on Their Thermoelectric Properties)

  • 김동호;이건환
    • 한국진공학회지
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    • 제14권4호
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    • pp.215-221
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    • 2005
  • 비스무스와 텔루리움 타겟을 co-sputtering하여 열전특성을 지닌 비스무스 텔루라이드($Bi_2Te_3$) 박막을 제조하고, 증착온도에 따른 표면형상, 결정성, 그리고 전기적 특성의 변화를 조사하였다. 표면온도가 $290^{\circ}C$ 이상일 때, 박막의 표면에서 육각형상의 결정이 뚜렷이 관찰되었으며, X선 회절분석을 통하여 높은 증착온도에서 박막의 주된 구성물질이 rhombohedral 구조의 $Bi_2Te_3$ 결정상에서 hexagonal 구조의 BiTe 결정상으로 변하는 것을 확인하였다. 높은 증착온도에서 제조된 박막의 조성이 $Bi_2Te_3$의 화학양론비에서 벗어남으로 구조적 변화와 함께 전기적 특성도 변한다는 사실을 알 수 있었다. 제조된 비스무스 텔루라이드 박막의 열전특성을 파악하기 위해 제벡계수(Seebeck coefficient)를 측정하였다. 모든 시편이 n타입의 열전박막임을 확인하였으며, 증착온도 약 $225^{\circ}C$에서 열전특성의 최적값 (제벡계수: -55 $\mu$V/$K^{2}$, 열전성능인자: $3\times10^{-4}$ W/$k^{2}$m)이 얻어졌다. 그 이상의 온도에서 나타나는 열전 특성의 저하는 텔루리움의 증발에 따른 $Bi_{2}$$Te_{3}$ 열전박막의 텔루리움 함량 부족과 그에 따른 BiTe 결정상의 발생으로 이해된다.

초임계이산화탄소를 이용한 플라즈마 손상된 다공성 저유전 막질의 복원 (Repair of Plasma Damaged Low-k Film in Supercritical Carbon Dioxide)

  • 정재목;임권택
    • 청정기술
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    • 제16권3호
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    • pp.191-197
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    • 2010
  • 초임계이산화탄소에서 실릴화제를 사용하여 반응시간, 압력, 온도를 변화하며 플라스마에 의해 손상된 다공성 p-SiOCH 필름의 실릴화 보수반응을 진행하였다. FT-IR 분석 결과 $3150{\sim}3560cm^{-1}$ 영역의 $SiOH/H_2O$ 특성밴드의 감소는 다소 확인할 수 있었지만, 메틸화 peak의 변화치는 관찰하기 어려웠다. 그러나 실릴화에 따른 표면 소수성은 빠른 반응시간 내에 복원되었다. 내부 복원반응을 효과적으로 유도하기 위하여 열 전처리 공정을 상압 또는 진공 조건에서 진행하였으며, 전처리에 따라 표면 접촉각이 약간 상승하였고, 뒤이은 초임계 실릴화반응으로 표면 소수성이 완전히 복원되는 것을 관찰하였다. 플라스마 손상과정에서 표면 내부 메틸기의 감소가 나타나지만 실릴화 보수반응에 따라 메틸기의 복원은 눈에 띄게 나타나지 않음을 FT-IR, spectroscopic ellipsometry 와 secondary ion mass spectroscopy의 분석결과를 통하여 확인하였다. 막질에 대한 Ti 증착 후 glow discharge spectrometry로 내부 Ti 원소를 분석한 결과, 초임계 실릴화반응을 통하여 손상된 p-SiOCH막질의 열린 기공의 봉인효과가 나타나는 것을 확인하였다.

실리콘과 탄소 동시 스퍼터링에 의한 실리콘 양자점 초격자 박막 제조 및 특성 분석 (Fabrication and Characterization of Si Quantum Dots in a Superlattice by Si/C Co-Sputtering)

  • 김현종;문지현;조준식;박상현;윤경훈;송진수;오병성;이정철
    • 한국재료학회지
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    • 제20권6호
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    • pp.289-293
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    • 2010
  • Silicon quantum dots (Si QDs) in a superlattice for high efficiency tandem solar cells were fabricated by magnetron rf sputtering and their characteristics were investigated. SiC/$Si_{1-x}C_x$ superlattices were deposited by co-sputtering of Si and C targets and annealed at $1000^{\circ}C$ for 20 minutes in a nitrogen atmosphere. The Si QDs in Si-rich layers were verified by transmission electron microscopy (TEM) and X-ray diffraction. The size of the QDs was observed to be 3-6 nm through high resolution TEM. Some crystal Si and -SiC peaks were clearly observed in the grazing incident X-ray diffractogram. Raman spectroscopy in the annealed sample showed a sharp peak at $516\;cm^{-1}$ which is an indication of Si QDs. Based on the Raman shift the size of the QD was estimated to be 4-6 nm. The volume fraction of Si crystals was calculated to be about 33%. The change of the FT-IR absorption spectrum from a Gaussian shape to a Lorentzian shape also confirmed the phase transition from an amorphous phase before annealing to a crystalline phase after annealing. The optical absorption coefficient also decreased, but the optical band gap increased from 1.5 eV to 2.1 eV after annealing. Therefore, it is expected that the optical energy gap of the QDs can be controlled with growth and annealing conditions.

단일입자분석법을 이용한 지하상가에서 채취한 실내입자의 특성분석 (Single-particle Characterization of Aerosol Samples Collected at an Underground Shopping Area)

  • 강선이;황희진;박유명;강수진;김혜경;노철언
    • 한국대기환경학회지
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    • 제24권5호
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    • pp.594-603
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    • 2008
  • A single particle analytical technique, named low-Z particle electron probe X-ray microanalysis, was applied to characterize four samples collected at an underground shopping area connected to Dongdeamun subway station, in January and May 2006. Based on the analysis of their chemical compositions of the samples, many distinctive particle types are identified and the major chemical species are observed to be soil-derived particles, iron-containing particles. sulfates. nitrates, and carbonaceous particles. which are encountered both in coarse and fine fractions. Carbonaceous particles exist in carbon-rich and organic. Soil derived particles such as aluminosilicates, AlSi/C, $CaCO_3\;and\;SiO_2$ are more frequently encountered in spring samples than winter samples. Nitrate- and sulfate-con taming particles are more frequently encountered in winter samples, and those nitrate- and sulfate-containing particles mostly exist in the chemical forms of $Ca(CO_3,\;NO_3),\;Ca(NO_3,\;SO_4),\;(Na,\;Mg)NO_3\;and\;(Mg,\;Na)(NO_3,\;SO_4)$. Fe-containing particles which came from nearby subway platform are in the range of about 10% relative abundances for all the samples. It is observed that nitrate- and sulfate-containing particles and carbonaceous particles are much more frequently encountered in indoor aerosol samples than in outdoor aerosols, implying that $NO_x,\;SO_x$, and VOCs at the underground shopping area were more partitioned into aerosol phase.

Stainless steel 기판에서 제조된 CIGS 박막 태양전지의 ZnO 확산 방지막을 이용한 deep level defect 감소 연구

  • 김재웅;김혜진;김기림;김진혁;정채환
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2016년도 제50회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.393-393
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    • 2016
  • Cu(In,Ga)Se2 (CIGS) 박막 태양전지는 높은 효율과 낮은 제조비용, 높은 신뢰성으로 인해 박막 태양전지 중 가장 각광받고 있다. 특히 유리기판 대신 가볍고 유연한 철강소재나 플라스틱 소재를 이용하여 발전분야 외에 건물일체형, 수송용, 휴대용등 다양한 분야에 적용이 가능하다. 이러한 유연 기판을 이용한 CIGS 태양전지의 개발을 위해서는 기판의 특성에 따른 다양한 공정개발이 선행되어야 한다. Stainless steel과 같은 철강기판의 경우 Fe, Ni, Cr등의 불순물이 확산되어 흡수층의 특성을 저하시켜 효율을 감소시킨다. 따라서 이러한 철강 기판의 경우 불순물의 확산을 방지하는 확산방지막이 필수적이다. 이러한 유연기판의 특성을 고려하여 본 연구에서는 기존의 두껍고 추가 장비가 요구되는 SiOx나 Al2O3 대신 200nm 이하의 ZnO 박막을 이용하여 확산방지막을 제조하였다. 유연기판으로 STS 430 stainless steel을 이용하였다. 먼저 stainless steel 기판을 이용하여 기판에 의한 흡수층의 특성을 분석하였으며 ZnO 확산 방지막의 유무 및 두께에 따른 흡수층 및 소자의 특성을 분석하였다. 이때 확산 방지막은 기존 TCO 공정에서 사용되는 i-ZnO를 사용하였으며 RF sputter를 이용하여 50~200nm로 두께를 달리하며 특성 비교를 실시하였다. 효율은 확산방지막을 적용하지 않았을 때 약 5.9%에서 확산 방지막 적용시 약 10.7%로 증가하였다. 그 후 기판으로부터 확산되는 불순물의 유입에 의한 결함을 분석하기 위해 DLTS를 이용하여 소자 특성을 분석하였다. 온도는 80~300K으로 가변하며 측정을 실시하였으며 그 후 계산을 통해 activation energy와 capture cross section 값을 구하였다. DLTS 분석 결과 Ni이 CIGS 흡수층으로 확산되어 NiCu anti-site를 형성하여 태양전지의 효율을 감소시키는 것을 확인하였다. 모든 흡수층은 Co-Evaporation 방법을 이용하여 제조하였으며 제조된 흡수층은 SEM, XRF, XRD, GD-OES, PL, Raman등을 이용하여 분석하였으며 그 외 일반적인 방법을 이용하여 Mo, CdS, TCO, Al grid를 제조하였다. AR 코팅은 제외 하였으며 제조된 소자는 솔라 시뮬레이터를 이용하여 효율 특성 분석을 실시하였으며 Q.E. 분석을 실시하였다.

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EFFECT OF ION BEAM ASSISTED CLEANING ON ADHESION OF ALUMINIUM TO POLYMER SUBSTRATE OF PC AND PMMA

  • Kwon, Sik-Chol;Lee, Gun-Hwan;Lee, Chuel-Yong;Gob, Han-Bum;Lim, Jun-Seop;Goh, Sung-Jin
    • 한국표면공학회지
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    • 제32권3호
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    • pp.428-432
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    • 1999
  • As metallic surface has its unique lustrous appearance and optical reflectance in visible range of light, the metallization of plastic surface has been an essential drive toward weight reduction for fuel economy and decorations in transportation industry and has been put into practiced from wet chemical-electrochemial to dry vacuum process in view of an environmental effect. Electron-beam metallization was used in this work with an aim at improving the scratchproof surface hardness of plastic substrate with metallic finish character. Thin film of Al ($1000\AA$) and $SiO_2$($7000\AA$) were metallized on substrate of PC and PMMA and the films were evaluated by pencil test for surface hardness and by cross-cut tape test for adhesion. The ion beam treatment improved around twice as hard as non-treat surface. The ion beam is effect on its hardness and adhesion to surface hardened PC substrate.

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백혈구제거 혈액성 충진액이 체외순환 후 심폐부종에 미치는 영향 (Effects of Leukocyte Depleted Priming Solution on Cardiopulmonary Edema by Extracorporeal Circulation)

  • 김시훈;김영두;진웅;조건현
    • Journal of Chest Surgery
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    • 제34권9호
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    • pp.704-710
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    • 2001
  • 심장수술을 위한 심정지 기간 중에 우리 몸의 혈액순환을 대신하는 인공심폐기에 의한 체외순환은 생명유지를 위하여 필수적인 과정이다. 그러나 혈액이 정상적인 혈관 이외의 부위에 노출됨으로서 발생하는 전신성 염증반응과 활성화된 백혈구는 치명적인 심폐부종을 초래하기도 한다. 저자는 이러한 위험을 줄이는 방법을 모색하고자, 인공심폐기를 구성하고 있는 산화기 및 회로르 채우는 충진액을 백혈구를 제거한 혈액성 충진액과 백혈구를 제거하지 않은 혈액성 충진액 및 비혈액성 충진액으로 구분하여 각각 체외순환을 시행한 후에 충진액내의 동종혈액의 백혈구가 심폐부종에 미치는 영향을 비교 관찰하였다. 대상 및 방법: 실험군은 15마리의 한국산 잡견을 충진액의 성분에 다라 비혈액성 정질용액, 백혈구를 제거하지 않은 동종혈액성 충진액, 백혈구를 제거한 동종혈액성 충진액을 사용한 군으로 각각 다섯 마리씩 세 군으로 나누었다. 세 군 모두에서 2시간의 체외순환 및 연속된 4시간의 마취유지 경과후에 폐조직 일부와 심근조직 일부를 적출하여 습건중량비를 비교하고, 동맥혈 가스분압과 동맥혈 이산화탄소분압 및 동맥혈 이산화탄소분압과 호기말 이산화탄소분압의 차이를 관찰하여 각 군간의 폐 환기능을 비교하였다. 결과: 1. 각 군간의 동맥혈 산소분압 및 이산화탄소분압의 유의한 차이는 없었다. 2. Pa$CO_2$-Et$CO_2$값으로 판단한 폐 환기능의 정도는 비혈액성 충진액을 사용한 군과 혈액성 충진액을 사용한 군 사이의 유의한 차이가 없었으나, 백혈구 제거군이 백혈구를 제거하지 않은 군보다 좋은 결과를 보였다(P<0.05). 3. 심근 및 폐조직의 습건중량비(Wet/Dry weight ratio)는 비혈액성 충진액을 사용한 군과 백혈구를 제거하지 않은 동종혈액성 충진액을 사용한 군간의 차이는 없었으나, 백혈구 제거군이 다른 두 군보다 유의하게 적게 나타났다. 결론: 위와 같은 실험 결과를 통하여 백혈구를 제거한 동종혈액을 사용한 충진액이 체외순환 후 나타나는 폐 환기능의 변화 및 심폐부종의 발생을 경감시키는데 효과가 있음을 관찰할 수 있었다.

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Manufacture of Cement-Bonded Particleboards from Korean Pine and Larch by Curing of Supercritical CO2 Fluid

  • Suh, Jin-Suk;Hermawan, Dede;Kawai, Shuichi
    • Journal of the Korean Wood Science and Technology
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    • 제28권4호
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    • pp.41-50
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    • 2000
  • Cement-bonded particleboard is being used as outdoor siding material all over the world, because this composite particularly bears a light weight, high resistance against fire, decay, and crack by cyclic freezing and thawing, anti-shock property, and strength enhancement. Construction systems are currently changing into a frame-building style and wooden houses are being constructed with prefabrication type. Therefore, they require a more durability at outdoor-exposed sides. In this study, the cement hydration property for Korean pine particle, Japanese larch particle and face- and middle layer particles (designated as PB particle below) used in Korean particleboard-manufacturing company was investigated, and the rapid manufacturing characteristics of cement-bonded particleboard by supercritical $CO_2$ curing was evaluated. Korean pine flour showed a good hydration property, however, larch flour showed a bad one. PB particle had a better hydration property than larch flour. The addition of $Na_2SiO_3$ indicated a negative effect on hydration, however, $MgCl_2$ had a positive one. Curing by supercritical $CO_2$ fluid gave a conspicuous enhancement in the performances of cement-bonded particleboards compared to conventional curing. $MgCl_2$ 3%-added PB particle had the highest properties, and $MgCl_2$ 1%-added Korean pine particle had the second class with the conditions of cement/wood ratio of 2.7, a small fraction-screened particle and supercritical curing. On the contrary, the composition of non-hammermilled or large fraction-screened particle at cement/wood ratio of 2.2 was poorer. Also, the feasibility for actual use of 3%-added, small PB particle-screened fraction was greatest of all the conventional curing treatments. Relative superiority of supercritical curing vs. conventional curing at dimensional stability was not so apparent as in strength properties. Through the thermogravimetric analysis, it was ascertained that the peak of a component $CaCO_3$ was highest, and the two weak peaks of calcium silicate hydrate and ettringite and $Ca(OH)_2$ were present in supercritical treatment. Accordingly, it was inferred that the increased formation of carbonates in board contributes to strength enhancement.

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Cytotoxicity of Neolignans from Magnolia obovata Fruits

  • Seo, Kyeong-Hwa;Lee, Dae-Young;Jeong, Rak-Hun;Yoo, Ki-Hyun;Chung, In-Sik;Kim, Geum-Soog;Seo, Woo-Duck;Kang, Hee-Cheol;Ahn, Eun-Mi;Baek, Nam-In
    • Journal of Applied Biological Chemistry
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    • 제56권3호
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    • pp.179-181
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    • 2013
  • Repeated $SiO_2$ and octadecyl silica gel (ODS) column chromatographies of the EtOAc fraction from Magnolia obovata fruits, 10 neolignans, named magnolol (1), honokiol (2), isoobovatol (3), isomagnolol (4), obovatol (5), obovatal (6), 9-methoxyobovatol (7), magnobovatol (8), obovaaldehyde (9), and 2-hydroxyobovaaldehyde (10) were isolated and identified. All isolated compounds were evaluated for in vitro cytotoxicity against seven human cancer cell lines.

충주(忠州)-월악산(月岳山)-제천(提川) 화강암류(花崗岩類)의 암석화학적(岩石化學的) 연구(硏究) (Petrochemistry of the Granitic Rocks in the Chungju, Wolaksan and Jecheon Granite Batholiths)

  • 김규한;신윤수
    • 자원환경지질
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    • 제23권2호
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    • pp.245-259
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    • 1990
  • Petrochemical analyses of granitic rocks including trace element, REE and oxygen isotope were carried out to understand petrogenesis of plutonic rocks from the Chungju, Wolaksan and Jecheon granite batholiths, which might be related with tungsten-base metal-fluorite mineralization in the Hwanggangri metallogenic province. Different geochemical characteristics such as major and trace elements were found between Jurassic Daebo granitic rocks (Chungju, Jecheon, Wonju, and Boeun granitic rocks) and Cretaceous Bulgugsa granitic rocks (Wolaksan, Muamsa and Sokrisan granitic rocks). Cretaceous granitoids are characterized by high $SiO_2$and $K_2O$ contents and low $TiO_2$, $Al_2O_3$, MgO and CaO contents. They also have relatively high contents of trace elements(Zn, V, Co, Cr, Sr, and Ba) in comparison with the Jurassic granitoids. (Eu)/($Eu^*$) and $(La/Lu)_{CN}$ ratios of Jurassic plutons vary from 0.78 to 1.13 and from 26.02 to 30.5, respectively, while the ratios of Cretaceous ones range from 0.22 to 0.28 and from 4.42 to 14.2, respectively. The REE patterns of the Cretaceous and Jurassic granitic rocks have quite different Eu anomalies: large negative Eu anomaly in the former, and mild or absent Eu anomaly in the latter. The large Eu negative of Cretaceous granitic rocks are interpreted as a differentiated product of fractional crystallization of granitic magma deduced by Rayleigh fractionation model(Tsusue et al., 1987). Oxygen isotopic compositions of quartz for Daebo and Bulgugsa granitic rocks range from 9.98 to 10.51‰ and from 8.26 to 9.56‰, respectively. The Daebo granitic rocks enriched in $^{18}0$ suggest that the magma be undergone different partial melting processes from the Bulgugsa ones. Of the Bulgugsa granitoids, Wolaksan and Sokrisan mass have different contents of trace elements and ${\delta}\;^{18}0$ values of the silicate minerals, which indicate that they are not from the identical source of magma. Many mineral deposits are distributed in and/or near the Wolaksan and Muamsa granitic rocks, but a few mineral deposits are found in and near the Chungju and Jecheon granite batholiths. It might be depend on geochemisty of the related igneous rocks which have low contents of Ba, Sr, Co, V, Cr, Ni, Zn and high contents of Nb and Y, and on lithology of country rocks such as cabonate and noncarbonate rocks.

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