• 제목/요약/키워드: $Pb(Zr,Ti)O_{3}$ 세라믹 박막

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R.F. Magnetron Sputtering으로 다양한 Interlayer 층위에 형성시킨 PZT 박막의 미세구조와 강유전 특성 (Microstructure and Ferroelectric Properties of PZT Thin Films Deposited on various Interlayers by R.F. Magnetron Sputtering)

  • 박철호;최덕영;손영국
    • 한국세라믹학회지
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    • 제39권8호
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    • pp.742-749
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    • 2002

  • R. F. magnetron sputtering법을 이용하여 Pt/Ti/$SiO_2$/Si 기판 위에 $Pb_{1.1}Zr_{0.53}Ti_{0.47}O_3$ target을 사용하여 박막을 제조하였다. Interlayer(PbO, $TiO_2$, PbO/$TiO_2$)층을 삽입함으로써 박막의 결정성을 향상시켰고, 박막의 기판온도도 상당히 낮출 수 있었다. 순수한 PZT에 비하여 interlayer를 삽입한 PZT는 높은 유전상수과 낮은 유전손실 및 높은 누설전류를 가지는 우수한 전기적 특성을 나타내었다. 이러한 PZT 박막과 interlayer 층은 증착온도에서 서로 반응하여 하나의 고용체를 이루지 않고, 각각 독립적인 층으로 존재함을 XPS 분석을 통해 확인하였다. 여러 interlayer중 특히 PbO/$TiO_2$는 우수한 유전특성(${\varepsilon}_r$=414.94, tan${\delta}$=0.0241, Pr=22${\mu}C/cm^2$)을 나타내었고 가장 효과적인 seed로써의 역할을 하였다.

  • https://doi.org/10.4191/KCERS.2002.39.8.742 인용 PDF KSCI

저온도포열분해에 의해 제조된 Pb(Zr, Ti)O$_3$ 박막의 에피탁시와 결정화도에 미치는 전열처리 시간의 영향 (Effect of Prefiring Time on Epitaxy and crystallinity of Pb(Zr, Ti)O$_3$ Thin Films in Low Temperature Pyrolysis)

  • 황규석;이형민;김병훈
    • 한국세라믹학회지
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    • 제35권9호
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    • pp.969-973
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    • 1998

  • Pb(Zr, Ti)O3 (PZT) (Zr:Ti= 52: 48) thin films were prepared on MgO(100) substrates by dipping-py-rolysis process using metal naphthenates as starting materials. Thin films were fabricated by spin coating technique and the precursor films were prefired at 20$0^{\circ}C$ in air for 0.5, 1, 2, 3, and 24 h followed by final heat treatment at 75$0^{\circ}C$ for 30min. Film prefired for 24 h lost orientational properties and pole figure analysis showed the lost of the epitaxial relationship between the films and substrate while highly a/c-axis oriented thin films were obtained for the samples prefired for 1, 2, and 3h.

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나노 데이터 스토로지 시스템의 적용을 위한 펄스 레이저 증착법에 의해 $SrRuO_3/SrTiO_3(100)$ 기판 위에 증착된 $Pb(Zr_{0.2}Ti_{0.8})O_3$ 박막의 이종에피탁셜 성장 (Heteroepitaxial Growth of $Pb(Zr_{0.2}Ti_{0.8})O_3$ Thin Films on $SrRuO_3/SrTiO_3(100)$ Substrates by Pulsed Laser Deposition for Nano-Data Storage Application)

  • 이우성;최규정;윤순길
    • 한국세라믹학회:학술대회논문집
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    • 한국세라믹학회 2004년도 추계총회 및 연구발표회 초록집
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    • pp.79.2-79.2
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    • 2004

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