• 제목/요약/키워드: $MnO_{2}$

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Flip Chip의 Solder Bump 형성을 위한 Ni/Au 무전해 도금 공정 연구 (Ni/Au Electroless Plating for Solder Bump Formation in Flip Chip)

  • 조민교;오무형;이원해;박종완
    • 한국재료학회지
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    • 제6권7호
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    • pp.700-708
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    • 1996
  • Flip chip bonding에 무전해도금기술을 적용하여 solder bumper형성의 최적 조건을 규명하였다. 시편은 AI 패턴된 4 inch Si 웨이퍼를 사용하고, 활성화 처리시 zincate 용액을 사용하였으며, 무전해 도금은 Ni-P 도금액고 Au immersion 용액을 사용하였다. 활성화 물질의 AI 침식정도 및 Zn 석출 정도를 알아보기 위하여 EDS측정을 하였고, 각 공전에서의 표면형상을 알아보기 위해 SEM 분석을 하였다. 열처리 후 금도금층의 주 결정성장 방향은 XRD를 이용하여 측정하였다. 산처리에서 질산과 황산 중 질산에 의한 산화막제거 정도가 더 우수하게 나타났다. 활성화 처리시 zincate 용액을 희석시킬수록 입자 크기가 미세해 지고, 활성화 물질은 pH 13-13.5, 상온, 농도 15-25%의조건에서 크기가 작은 Zn 활성화 물질이 균일하게 분포하였다. Ni과 Auan전해도금 속도는 온도와 pH가 증가할수록 증가하였다. Ni 무전해 도금 조건은 pH 4.5, 온도 $90^{\circ}C$, 시간 20분이며, Au 무전해 도금조건은 pH7, 온도 $80^{\circ}C$, 시간 10분이었다. 상온에서 $400^{\circ}C$까지 30분동안 열처리 한 후 금도금막의 결정 방향은 pH 7, 온도 $80^{\circ}C$, 시간 10분이었다. 상온에서 $400^{\circ}C$까지 30분 동안 열처리 한 후 금도금막의 결정 방향은 pH 7에서 (111), pH 9에서는 (200)과 (111)이 주 peak로 나타났으며, 열처리에 의한 결정 방향의 변화는 없었다. 전체 공정에서 최종적인 표면 형상에 영향을 주는 단계는 활성화 처리로서 flip chip의 bonding layer형성에 가장 중요한 요소임을 알 수 있었다.보다 자생지(自生地)에서 높은 함량(含量)을 보였다. 5. 무기성분함양(無機成分含量)의 차이(差異)는 K의 경우(境遇) 자생지(自生地)에서 보다 재배지(栽培地)에서 평균적(平均的)으로 10배이상(倍以上) 정도(程度) 높은 함량(含量)의 차이(差異)를 보였으나 Mn, Zn, Na, Cu 등(等)은 일정(一定)한 경향(傾向)을 보이지 않는 것으로 나타났다. 6. 유리(遊離) 아미노산(酸)의 함량(含量)은 자생지(自生地은)보다 재배지(栽培地)에서 전반적(全般的)으로 높은 함량(含量)을 나타내었고, 특(特)히 Arginine은 다른 성분(成分)들과 비교(比較)해 볼 때 가장 높은 조성(組成)의 차이(差異)를 나타내었다. 7. 야생(野生)더덕과 재배(栽培)더덕의 정유성분수율(精油成分收率)은 자생지재배(自生地栽培)에서는 모두 0.004% 였고 재배지(栽培地)에서는 야생(野生)더덕이 0.005%였다. 8. 더덕의 재배장소(栽培場所)에 따른 향기성분(香氣成分)은 총(總) 21종(種)이었으며 自生地(自生地)에서 야생(野生)더덕은 16종(種), 재배(栽培)더덕은 18종(種)이었고, 재배지(栽培地)에서 야생(野生) 더덕은 14종(種), 재배(栽培)더덕은 20(種)이었다. 9. Trans-2-hexanol은 야생(野生)더덕의 자생지(自生地) 재배(栽培)에서 피이크 면적(面積) 당(當) 50.3%, 재배지(栽培地)에서 피이크 면적(面積) 당(當) 43.3%를 보였으며 amylalcohol, furfuryl acetate, 2-methoxy-4-vinyl phenol(MVP)는 재배(栽培)더덕에서만 확인(確認)되었다.는 KI, BMI와 유의적인 양의 상관관계를 보였고 (p<0.01), HCL-C은 비체중, BMI, LBM, TBM와 유의적인 음의 상관관계를 보였으며, (p<0.01), KI, SBP와도 음의 상관관계를 보였다. (p<0.05), LCL-C는 KI와 유의적이인 양의

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토양중(土壤中) 비소(砒素)의 행동(行動)과 수도(水稻)의 비소흡수(砒素吸收)에 의(依)한 피해생리(被害生理) 생태(生態)에 관(關)한 연구(硏究);Ⅲ.물관리(管理)가 수도의 비소흡수(砒素吸收) 및 생육(生育)에 미치는 영향(影響) (Behaviors of Arsenic in Paddy Soils and Effects of Absorbed Arsenic on Physiological and Ecological Characteristics of Rice Plant lll. Effect of Water Management on As Uptake and the Growth of Rice Plant at As Added Soil)

  • 이민효;임수길
    • 한국환경농학회지
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    • 제6권1호
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    • pp.1-6
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    • 1987
  • 물관리 방법(方法)에 따른 수도(水稻)의 비소흡수(砒素吸收) 및 생육(生育)에 미치는 영향(影響)을 구명(究明)하기 위해 토양(土壤)에 비소(砒素)의 농도(濃度)를 달리하고 물관리(管理)를 상시담수(常時湛水)와 이앙후(移秧後) 10일(日)부터 간단관수(間斷灌水)하여 시험(試驗)한 결과(結果)는 다음과 같다. 1) 수도체(水稻體)의 비소흡수(砒素吸收)는 토양중(土壤中) 비소처리구(砒素處理區) 모두 상시담수구(常時湛水區)에 비(比)해 간단관수구(間斷灌水區)에서 뿌리 및 경엽중(莖葉中) 비소함량(砒素含量)이 크게 억제(抑制)되었고 수도(水稻)의 생육(生育)도 상시담수구(常時湛水區)에 비(比)해 간단관수구(間斷灌水區)에서 그 피해(被害)가 크게 경감(輕減)되었다. 2) 토양중(土壤中) 비소농도(砒素濃度)가 증가(增加)할수록 경엽(莖葉) 및 뿌리 중(中) 무기성분함량(無機成分含量)은 크게 감소(減少)하는 경향(傾向)이나 질소함량(窒素含量)은 증가(增加)되었으며, 간단관수구(間斷灌水區)에 비(比)해 상시담수구(常時湛水區)에서 이들 무기양분함량(無機養分含量)은 더 높았다. 3) 토양중(土壤中) 비소농도(砒素濃度)가 증가(增加)함에 따라 토양(土壤) pH는 증가(增加)하는 경향(傾向)이나 토양(土壤) Eh는 별(別)차이가 없었으며, 상시담수구(常時湛水區)에서는 간단담수구(間斷灌水區)에 비(比)해 토양(土壤) pH는 높아지나, 토양 Eh는 낮아졌다. 4) 물관리(管理)에 의(依)한 토양중(土壤中) 비소형태별(砒素形態別) 분포(分布)는 토양중(土壤中) 비소농도(砒素濃度)가 높아짐에 따라 상시담수구(常時湛水區)에서는 수용성비소(水溶性砒素)(Ws-As)와 Ca-As가 증가(增加)하는 경향(傾向)이나 간단관수구(間斷灌水區)에서는 별다른 경향(傾向)이 없었다.

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