TiN/W 플러그 구조 위에 제작된 Ir/$IrO_2$ /PZT/Pt/$IrO_2$ /Ir 강유전체 커패시터의 전기적 특성
(Electrical Properties of Integrated Ir/$IrO_2$ /PZT/Pt/$IrO_2$ /Ir Ferroelectric Capacitor on TiN/W Plug Structure)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2006년도 하계학술대회 논문집 Vol.7
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- pp.321-322
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- 2006