• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2004년도 춘계학술대회 논문집 반도체 재료 센서 박막재료 전자세라믹스
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• pp.38-41
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• 2004

The oxidizer plays an important role in the metal chemical mechanical polishing(CMP) slurry. Currently, the oxidizer used in CMP slurry is nearly divided into several kinds such as $Fe(NO_3)_3$, $H_2O_2$, $KIO_3$, and $H_5IO_6$. It is generally known that oxidizer character of $H_2O_2$ is more effective than other oxidizers. In this work, we have been studied the characteristics for the $H_2O_2$ concentration of copper slurry, which can applicable in the recent semiconductor manufacturing process. Also, it plays an important role in the planarization of copper films using copper slurries during micro-electronic device fabrication. In this work, we confirmed that removal rate of Cu/TaN changed by $H_2O_2$ concentration on copper slurry. And we used $KMnO_4$ in the measurement method of $H_2O_2$. In analysis results, we confirmed that the difference of results is large. We thought that the difference was due to organic component existence. So in titration method of $H_2O_2$ concentration, we used $Na_2S_2O_3$ instead of $KMnO_4$ as solution. Consequently, using the titration method, we could calculate correct data reduced error. And $H_2O_2$ concentration has been adjusted to the target concentration of 0.1 wt%.

• Asian Journal of Atmospheric Environment
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• 제11권1호
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• pp.15-28
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• 2017

The adsorptive removal properties of synthetic A4 zeolite were investigated against a total of 16 offensive odors consisting of reduced sulfur compounds (RSCs), nitrogenous compounds (NCs), volatile fatty acids (VFAs), and phenols/indoles (PnI). Removal of these odors was measured using a laboratory-scale impinger-based adsorption setup containing 25 g of the zeolite bed (flow rate of $100mL\;min^{-1}$). The high est and lowest breakthrough (%) values were shown for PnIs and RSCs, respectively, and the maximum and minimum adsorption capacity (${\mu}g\;g^{-1}$) of the zeolite was observed for the RSCs (range of 0.77-3.4) and PnIs (0.06-0.104), respectively. As a result of sorptive removal by zeolite, a reduction in odor strength, measured as odor intensity (OI), was recorded from the minimum of approximately 0.7 OI units (indole [from 2.4 to 1.6]), skatole [2.2 to 1.4], and p-cresol [5.1 to 4.4]) to the maximum of approximately 4 OI units (methanethiol [11.4 to 7.5], n-valeric acid [10.4 to 6.5], i-butyric acid [7.9 to 4.4], and propionic acid [7.2 to 3.7]). Likewise, when removal was examined in terms of odor activity value (OAV), the extent of reduction was significant (i.e., 1000-fold) in the increasing order of amy acetate, i-butyric acid, phenol, propionic acid, and ammonia.

• 한국태양에너지학회:학술대회논문집
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• 한국태양에너지학회 2009년도 추계학술발표대회 논문집
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• pp.404-408
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• 2009

The liquid desiccant air-conditioning system has been proposed as an alternative to the conventional vapor compression cooling systems to control air humidity. The complete system of liquid desiccant air-conditioning system is consisted two main components those are humidifier (regeneration) and dehumidifier. Humidifier part is connected to the load when summer season which is the air condition is hot and humid have to be turned into comfort condition on human. This paper purpose is performances study of air flow rate effect on a structured packed tower on cooling and dehumidifier system using liquid lithium chloride as the desiccant. Experimental apparatus used in this present study is consisted of three components those are load chamber, packed tower and chiller. Load chamber’s volume is $40m^3$, and packed tower dimension is cubic with length 0.4m occupied with packed column. Totally, 15 experimental has done using 5 times repeat on each variable of air velocity that varying on 2m/s, 3m/s and 4m/s with other conditions are controlled. Air inlet initial temperature and relative humidity are set respectively on $30^{\circ}C$ and 52%, desiccant flow rate is 0.63 kg/s, desiccant temperature is $10^{\circ}C$ and desiccant concentration is 0.4. The result of this study shows that averagely, the moisture removal rate and the heat transfer rate are influenced by the air velocity. Higher air velocity will increase the heat transfer and decreasing the moisture removal rate. At adiabatic condition the air velocity of 2 m/s respectively is having the higher moisture removal rate acceleration then the air velocity of 3m/s and 4 m/s until the steady state condition.

• 한국대기환경학회지
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• 제16권4호
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• pp.373-380
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• 2000

A new type of photocatalyst plasma air purification filter for decomposition of some VOCs has been developed. The photocatalyst plasma air purification filter employs the pulsed discharge plasma as an energy source of TiO2. photocatalyst instead of UV light. In closed room(2m3) test removal efficiency of some VOCs was 80∼100% in 15∼24 hours. In the initial step of phptocatalyst plasma reaction. Acetone and Nitromethane etc were detected. But they were completely oxidized to CO2 and H2O.

• 유기물자원화
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• 제26권4호
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• pp.45-51
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• 2018

본 연구는 도심지 거리 하수 악취 물질인 황화수소($H_2S$)를 제거하기 위해 맨홀에 설치해 악취를 제거하는 맨홀필터 악취제거장치의 적용 가능성을 확인하고자 하였다. 첫번째로 맨홀필터에 들어 있는 첨착활성탄의 황화수소($H_2S$) 흡착 성능 평가 결과 황화수소 제거율이 약 99.8%를 나타냈다. 두 번째로 악취제거장치 성능평가를 위해 서울특별시 대표적인 악취 발생 맨홀 4지점에서 성능을 평가한 결과, 대표적인 악취 유발물질인 황화수소($H_2S$)를 97% 이상 제거하는 것으로 확인되었다. 본 성능 평가 연구결과를 통해 맨홀필터 악취제거장치는 하수관거 맨홀에서 발생되는 악취를 제거하는 장치로써 적용 가능성이 충분한 것으로 판단된다.

• 대한환경공학회지
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• 제33권5호
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• pp.314-324
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• 2011

하수를 이용해서 배양된 조류는 바이오디젤 생산에 유용한 자원이다. 그러나 실제 하수에서 조류의 영양염류 신진대사와 하수 세균과의 상호작용에 관한 연구는 미흡하다. 본 연구에서는 하수로 배양되는 대표적 조류균주인 Ankistrodesmus gracilis SAG 278-2에 의한 하수 내 질소, 인 제거 거동을 평가하였고, 조류와 상호작용하는 하수 내의 세균 군집을 분석하였다. 하수 슬러지 세균 군집과 비교하였을 때, 조류-세균 복합 군집은 하수 내보다 높은 영양염류 제거를 보였다. 16S rRNA 유전자 분석 결과, 조류-세균 군집에서 조류가 성장함에 따라 Unclassified Alcaligenaceae 세균이 선택적으로 우점됨을 알 수 있었고, 조류에 의해서 선택적으로 우점화된 하수세균은 자연 수질 환경에서 조류와 공생적으로 상호작용 하는 것으로 알려진 Alcaligenes faecalis subsp. 5659-H와 계통학적으로 가까운 것으로 밝혀졌다. 본 연구의 결과, 하수 내의 높은 영양염류 제거를 보이는 조류-세균 복합 군집에서의 조류의 성장 및 신진대사가 특정 세균의 분포에 영향을 주는 것을 알 수 있었다.

• 한국지반환경공학회 논문집
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• 제10권6호
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• pp.61-68
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• 2009

본 연구에서는 팽창질석을 이용하여 중금속 흡착 제거능을 평가 하고자 하였다. 먼저 XRF를 사용하여 질석의 화학적 조성을 분석하였고, 시료중의 중금속 농도분석은 ICP-AES를 사용하여 이루어졌다. 수용액 상의 중금속 제거 특성을 살펴보기 위해 Batch kinetic test와 batch sorption test가 실시되었으며 그 결과, 시료용액의 pH가 증가하는 양상을 보이다가 약 5시간 경과 후 pH가 평형상태에 도달함을 알 수 있었다. 그리고 $3mg\;L^{-1}$의 초기농도로 실시된 실험에서 평형농도(1680분 후)에서의 제거율이 각각 Pb: 98.54%, Cd: 96.82%, Cu: 96.08%, Zn: 96.71%, Cr: 36.23%로 크롬을 제외한 모든 중금속 성분이 90% 이상의 높은 제거율을 나타내어 선별적이지만 중금속이 효과적으로 제거됨을 확인 할 수 있었다. 최종적으로 batch sorption test를 통해 얻은 결과를 각각 Freundlich와 Langmuir 등온흡착식에 대입한 결과 두 가지 등온흡착식 모두에서 흡착용량이 Pb>Cd>Cu>Zn>Cr의 순서로 나타났으며, Langmuir model을 통해 알아낸 최대흡착용량(Qmax)은 Pb $725.4mg\;kg^{-1}$, Cd $568.8mg\;kg^{-1}$, Zn $540.2mg\;kg^{-1}$, Cu $457.2mg\;kg^{-1}$ Cr $0.9mg\;kg^{-1}$로 나타나 크롬을 제외한 나머지 중금속에 대한 높은 흡착 제거능을 보임으로써 흡착제로써의 적용이 가능하다는 결론을 얻을 수 있었다.

• 한국지하수토양환경학회:학술대회논문집
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• 한국지하수토양환경학회 2000년도 창립총회 및 춘계학술발표회
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• pp.108-111
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• 2000

FeS/FeS$_2$ minerals have been known to be potentially useful reductant to the removal of common organic contaminants in groundwater and soil. This research is aimed at improving our understanding of factors affecting the pathways and rates of reductive transformation of Hexachloroethane by catalytical iron minerals in natural system. Hexachloroethane is reduced by FeS/FeS$_2$ minerals under anaerobic condition to tetrachloroethylene and trichloroethylene with pentachloroethyl radical as the intermediate products. The kinetics of reductive transformations of the Hexachloroethane have been investigated in aqueous solution containing FeS, FeS$_2$. The proposed reduction mechanism for the adsorbed nitrobenzene involves the electron donor-acceptor complex as a precursor to electron transfer. The adsorbed Hexachloroethane undergo a series of electron transfer, proton transfer and dehydration to achieve complete reduction. It can be concluded that the reductive transformation reaction takes place at surface of iron-bearing minerals and is dependent on surface area and pH. Nitrobenzene reduction kinetics is affected by reductant type, surface area, pH, the surface site density, and the surface charge. FeS/FeS$_2$-mediated reductive dechlorination may be an important transformation pathway in natural systems.

• 공업화학
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• 제16권6호
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• pp.737-741
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• 2005

본 연구에서는 제조한 MCM-41에 Cu의 함량에 따른 NO의 전환율을 고찰하였다. MCM-41은 실리카 원으로 colloid silica를 사용하였고, template로 cetyltrimethylammonium chloride (CTMACl)를 사용하여 수열 합성하였으며, Cu/MCM-41은 Cu(II) acetylacetonate를 사용해서 Cu의 농도를 5, 10, 20 그리고 40%로 변화시켜 제조하였다. 표면 특성은 pH, FT-IR로 분석하였고, 육방배열의 1차원 기공 구조는 XRD로 고찰하였다. $N_2/77K$ 등온흡착 특성은 BET식과 t-plot을 이용하여 확인하였으며, NO 제거 효율은 가스크로마토그래프를 이용하여 측정하였다. 실험 결과, Si-OH와 Si-O-Si의 stretching vibration peak가 관찰되었으며, (100), (110), (200) 그리고 (210)의 육방배열의 1차원 구조를 확인하였다. Cu 금속이 도입된 MCM-41은 Cu 도입량이 증가할수록 비표면적과 미세기공부피는 감소한 반면에 NO 제거 효율은 증가하였다. 결과적으로 Cu/MCM-41의 Cu의 함량이 증가함에 따라 전체 촉매작용 반응과 NO 제거율이 증가하였다.

• KSBB Journal
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• 제11권1호
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• pp.15-21
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• 1996

히아루론산 정제과정 중 불순물인 핵산과 단백질 을 제거하기 위하여 여러 가지 균체제거 실험을 수 행한 결과 여과에 의한 방법이 히아루론산 용액 중 의 단백질과 핵산이 가장 잘 제거되었다. 보다 효과 적요로 핵산과 단백질을 제거하기 위하여 활성탄과 규조토를 첨가하여 여과하였다. 여과시 히아루론산 의 회수율과 핵산 및 단백질 제거율을 살펴 본 결과 활성탄 농도 0.6%와 규조토 농도 1.0% 첨가하는 경우를 최적 여과조건으로 선정하였다. 에탄올 첨가 는 에단융과 히아루론산 용액을 동시에 첨가하는 경우에 히아루론산의 회수율과 핵산 및 단백질 제거율 이 가장 좋았다. 에탄올에 의한 히아루론산의 침전 시 최적조건을 찾기 위해 pH와 전도도를 변화 시키 는 실험을 수행하였다. pH와 전도도에 따른 핵산과 단백질의 제거 정도는 큰 차이를 보이지 않았고 에 탄올에 의한 히아루론산의 침전은 pH 7. 전도도 100mS(l.OM NaCI 정도에 해당)에서 최적이었으며, 이때 히아루론산의 회수율은 약 85% 정도이였 다. 에탄올 침전과 여과 과정에서 히아루론산 용액 중의 단백질은 거의 제거되었으나, 핵산은 완전히 제거되지 않았다. 핵산을 완전히 제거하기 위하여 Duolite A 7 수지를 통과시킨 결과 pH 7, 전도도 4 40mS 부근에서 핵산제거율이 65%로 가장 좋았다. 히아루론산 용액 내의 잔존 핵산은 hydroxy-apatite 0.2%를 처리하여 거의 제거 할수 있어 그 결과 불 순물인 핵산과 단백질이 각각 0.02%. 0.01 % 이하 인 의료용 히아루론산을 만들 수 있었다.