• 제목/요약/키워드: $Cl_{2}O_{2}$

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$BCl_3/Cl_2/Ar$ 고밀도 플라즈마에 의한 $(Ba, Sr)TiO_3$ 박막의 식각 메커니즘 연구 (A Study on the Etching Mechanism of $(Ba, Sr)TiO_3$ thin Film by High Density $BCl_3/Cl_2/Ar$ Plasma)

  • 김승범;김창일
    • 대한전자공학회논문지SD
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    • 제37권11호
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    • pp.18-24
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    • 2000
  • (Ba,Sr)$TiO_3$ 박막은 ULSI-DRAM 즉 1-4 Gbit급 DRAM용 셀(cell) 커패시터의 새로운 유전물질로 각광받고 있다. 본 연구에서는 ICP 장비에서 $BCl_3/Cl_2/Ar$ 플라즈마로 (Ba,Sr)$TiO_3$ 박막을 식각하였다. 이때 RF power/dc bias voltage는 600W/-250V, 반응로의 압력은 10mTorr 이었다. $Cl_2/(Cl_2+Ar)$은 0.2로 고정하였고, $BCl_3$ 가스를 첨가하면서 (Ba,Sr)$TiO_3$ 박막을 식각하였다. $BCl_3$ 가스를 10% 첨가하였을 때, $480{\AA}/min$으로 (Ba,Sr)$TiO_3$ 박막은 가장 높은 식각 속도를 나타내었다. $Cl_2/Ar$가스에 $BCl_3$의 첨가 비에 따른 Cl, BCl 및 B의 라디칼 밀도를 optical emission spectroscopy(OES)에 의해 구하였다. $BCl_3$를 10% 첨가하였을 때 Cl의 라디칼 밀도가 가장 높았다. (Ba,Sr)$TiO_3$ 박막의 표면반응을 규명하기 위하여 XPS 분석을 수행한 결과 이온 bombardment 식각이 Ba-O 결합을 파괴하고 Ba와 Cl의 결합형태인 $BaCl_2$을 제거하기 위하여 필요하다. Sr과 Cl의 결합의 양은 많지 않고, Sr은 주로 물리적인 스퍼터링에 의하여 제거된다. Ti와 Cl은 화학적으로 반응하여 $TiCl_4$ 결합형태로 용이하게 제거된다. 식각후 단면사진을 SEM을 통해 본 결과 식각단면이 약 65~70$^{\circ}$ 정도였다.

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Guanine, Adenine 및 Uracil 염기를 갖는 팔라듐 (IV) 착물의 합성과 그 성질 (Synthesis and Characterization of Palladium (IV) Complexes with Guanine, Adenine, and Uracil Base)

  • 오상오;정덕영;김희선
    • 대한화학회지
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    • 제36권5호
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    • pp.679-684
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    • 1992
  • $trans-[Pd(en)_2Cl_2](ClO_4)-2$ (en = ethylenediamine)와 purine 염기인 Guanine, Adenine 또는 pyrimidine 염기인 Uracil anion을 반응시켜 새로운 팔라듐(IV) 착물을 얻었다. 착물의 중심금속과 각 리간드의 조성비는 $C{\cdot}H{\cdot}N$ 원소 분석으로써 확인하였으며 리간드의 배위자리 등 착물의 구조는 적외선 흡수 스펙트럼 및 $^1H-NMR,\; ^{13}C-NMR$로써 조사하였다. Guanine 또는 Adenine 착물을 purine계 염기가 N7 자리에 배위되었고 출발물질로부터 하나의 en 리간드가 이탈하고 두 $ClO_4^-$가 배위된 $[Pd(en)L_2(ClO_4)_2](ClO_4)_2{\cdot}(en)$ (L = Guanine, Adenine) 구조이다. Uracil 착물은 en과 $ClO_4^-$의 이동없이 Uracil anion의 N1 자리가 배위된 $[Pd(en)_2(Urac)_2](ClO_4)_2$ (Urac = Uracil anion) 구조의 착물로 추정되었다.

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Li2O-Al2O3-SiO2-B2O3 구조의 무기합성매질을 이용한 LiCl-KCl 공융염 내 희토류 핵종(Nd)의 분리 및 고화에 관한 기초연구 (A Basic Study on Capture and Solidification of Rare Earth Nuclide (Nd) in LiCl-KCl Eutectic Salt Using an Inorganic Composite With Li2O-Al2O3-SiO2-B2O3 System)

  • 김나영;은희철;박환서;안도희
    • 방사성폐기물학회지
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    • 제15권1호
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    • pp.83-90
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    • 2017
  • 사용후핵연료 파이로프로세싱에서는 방사성 희토류 염화물($RECl_3$)을 함유한 LiCl-KCl 공융염폐기물이 발생되며, 핫셀시설에서 운영을 목적으로 단순한 형태의 공융염폐기물 처리공정을 개발하는 것이 필요하다. 본 연구에서는, LiCl-KCl 공융염폐기물 내 희토류 핵종 분리/고화공정의 단순화를 목적으로 $Li_2O-Al_2O_3-SiO_2-B_2O_3$계의 무기합성매질을 이용하여 LiCl-KCl 공융염 내 희토류 핵종(Nd)을 분리한 후 분리생성물을 바로 고화하는 시험을 실시하였다. 공융염 내 희토류 염화물($NdCl_3$) 대비 0.67의 무게비에 해당하는 무기합성매질의 양으로도 Nd 핵종을 98wt% 이상 분리할 수 있었고, 이 때 얻은 희토류 핵종 포집생성물은 약 50wt% 수준의 희토류 산화물 함량을 보유하고 있었으며, 이 포집생성물을 화학적 내구성이 우수한 단일상의 균질한 유리고화체로 제조할 수 있었다. 이 결과들은 LiCl-KCl 공융염폐기물 내 희토류 핵종의 분리/고화공정을 단순화하기 위한 방안수립에 활용될 수 있을 것이다.

이리듐(Ⅰ) 착물과 아크릴로니트릴의 반응 및 이리듐(Ⅰ)-아크릴로니트릴 착물에 의한 아크릴로니트릴의 중합반응 (Reactions of Iridium(Ⅰ) Complexes with Acrylonitrile and Polymerization of Acrylonitrile with Iridium(Ⅰ)-Acrylonitrile Complex)

  • 김상하;진종식
    • 대한화학회지
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    • 제27권5호
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    • pp.340-344
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    • 1983
  • 이리듐(Ⅰ)-아크릴로니트릴 착물 Ir(Cl$O_4$)(AN)(CO)$(Ph_3P)_2$(AN = C$H_2$=CHCN, $Ph_3$P = $(C_6H_5)_3$P)와 [Ir(AN)(CO)$(Ph_3P)_2]ClO_4$는 각각 $Cl^-$과 반응하여 IrCl(AN)(CO)$(Ph_3P)_2$를 생성하며 [Ir(AN)(CO)$(Ph_3P)_2]ClO_4$는 AN이 과량으로 존재하지 않는 용액에서 AN을 해리시키고 Ir(Cl$O_4)(CO)(Ph_3P)_2$가 된다. 한편 Ir(Cl$O_4)(CO)(Ph_3P)_2$$Cl^-$과 반응하여 IrCl(CO)$(Ph_3P)_2$를 생성한다. Ir$(ClO_4)(AN)(CO)(Ph_3P)_2$에 의한 AN 중합반응은 아래와 같이 진행되는 것으로 제시되었다. 즉 이리듐(알켄일)(수소)형 착물, [(CO)$(Ph_3P)_2$Ir(-CH=CHCN)(H)$(CH_2=CHCN)]ClO_4$을 거쳐 이리듐(알킬)(알켄일)형 착물이 형성된 다음 이리듐과 탄소 결합 사이에 AN이 계속적으로 삽입된 다음 환원성제거반응에 의해서 AN의 중합체가 생성된다.

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몰리브덴(Ⅲ)과 바나듐(Ⅲ) 이핵 착물의 합성과 특성 (제5보) (Synthesis and Characterization of Dinuclear Mo(Ⅲ) and V(Ⅲ) Complexes (Ⅴ))

  • 오상오;류은영
    • 대한화학회지
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    • 제39권7호
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    • pp.530-537
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    • 1995
  • $MCl_z(M=Mo;\;z=5,\;M=V;\;z=3)$과 N, P 주개 리간드를 acetonitrile 용매에서 반응시켜 중성 착물 $MCl_3(phda)(MeCN)]과 \; [MCl_3(PPh_3)_2(MeCN)](M=Mo,\;V)$을 합성하였다. Acetone 용액에서 이들 중성 착물과 AgClO_4$를 반응시켜 양이온 착물 $MCl_{3-n}L_2(MeCN)(S)_n](ClO_4)_n$(n=1,2:s=solvent)을 얻었다. 염소가 연결된 $[(MeCN)(phda)ClM({\mu}-Cl)_2M'Cl(PPh_3)_2(MeCN)](ClO_4)_2$ 및 pyrazine이 연결된 $[(MeCN)(phda)Cl_2M({\mu}-pyz)M'Cl_2(PPh_3)_2(MeCN)](ClO_4)_2$형의 호모(M=M'), 헤테로 $(M{\neq}M')$ 이핵 착물을 합성하였다. 합성한 착물들은 원소분석과 적외선, $^1H,\;^13C$ 핵자기 공명 및 전자 흡수스펙트럼을 이용하여 그 특성을 조사하였다.

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Synthesis and Characterization of Various Di-N-Functionalized Tetraaza Macrocyclic Copper(II) Complexes

  • Kang, Shin-Geol;Kim, Na-Hee;Lee, Rae-Eun;Jeong, Jong-Hwa
    • Bulletin of the Korean Chemical Society
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    • 제28권10호
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    • pp.1781-1786
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    • 2007
  • Two copper(II) complexes, [CuL3](ClO4)2 bearing one N-CH2CH2CONH2 group as well as one N-CH2CH2CN group and [CuL4](ClO4)2 bearing two N-CH2CH2CONH2 groups, have been prepared by the selective hydrolysis of [CuL2](ClO4)2 (L2 = C-meso-1,8-bis(cyanoethyl)-5,5,7,12,12,14-hexamethyl-1,4,8,11-tetraazacyclotetradecane). The complex [CuL5](ClO4)2 bearing one N-CH2CH2C(=NH)OCH3 and one N-CH2CH2CN groups has been prepared as the major product from the reaction of [CuL2](ClO4)2 with methanol in the presence of triethylamine. In acidic aqueous solution, the N-CH2CH2C(=NH)OCH3 group of [CuL5](ClO4)2 undergoes hydrolysis to yield [CuL6](ClO4)2 bearing both N-CH2CH2COOCH3 and N-CH2CH2CN groups. The crystal structure of [CuL5](ClO4)2 shows that the complex has a slightly distorted square-pyramidal coordination polyhedron with an apical Cu-N (N-CH2CH2C(=NH)OCH3 group) bond. The apical Cu-N bond distance (2.269(3) A) is ca. 0.06 A longer than the apical Cu-O (N-CH2CH2CONH2 group) bond of [CuL4](ClO4)2. The pendant amide group of [CuL3](ClO4)2 is involved in coordination. The carboxylic ester group of [CuL6](ClO4)2 is also coordinated to the metal ion in various solvents but is removed from the coordination sphere in the solid state.

다양한 환경조건(NaClO2 농도, 상대습도, 온도, 시간)에 따른 이산화염소 기체의 발생량 변화 (Effect of various environmental factors such as concentration of NaClO2, relative humidity, temperature, and time on the production of gaseous chlorine dioxide)

  • 이정민;이남택;류지훈
    • 한국식품과학회지
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    • 제51권4호
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    • pp.404-409
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    • 2019
  • 본 연구는 염산(hydrochloric acid; HCl)과 아염소산나트륨(sodium chlorite; $NaClO_2$)을 이용해 이산화염소 기체를 발생시키기 위한 최적조건을 확립하기 위해 수행되었다. 먼저 HCl (1 N)에 다양한 농도의 $NaClO_2$ ($50,000-500,000{\mu}g/mL$)를 반응시킨 결과, $100,000{\mu}g/mL$ 농도의 $NaClO_2$를 포함하는 이산화염소 용액으로부터 가장 고농도(695 mg/L)의 이산화염소 기체가 생성되었다. 이후 진행되는 실험은 이산화염소 용액(1 N HCl+$100,000{\mu}g/mL$ $NaClO_2$)을 사용하여 이산화염소 기체를 발생시켰다. 다음으로 상대습도(43, 85, 100%) 또는 온도(4, 12, $25^{\circ}C$)가 이산화염소 기체의 발생에 미치는 영향을 확인한 결과, 상대습도가 감소함에 따라 온도는 높아짐에 따라 이산화염소 기체 발생 농도도 높아짐을 확인하였다. 마지막으로 이산화염소 용액의 용량과 이산화염소 기체 생성량 사이의 관계식을 도출하였다. 본 연구의 결과는 향후 이산화염소 기체를 이용하여 식품 및 식품 접촉 표면을 살균하기 위한 프로그램을 개발하는데 있어서 유용한 정보를 제공할 것이다.

유도결합 C1$_2$/CF$_4$/Ar 플라즈마를 이용한 CeO$_2$ 박막 식각후 표면반응 (Surface Reactions after the Etching of CeO$_2$ Thin films using Inductively Coupled C1$_2$/CF$_4$/Ar Plasmas)

  • 이병기;김남훈;장윤성;김경섭;김창일;장의구
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제9권2호
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    • pp.27-31
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    • 2002
  • 본 연구에서는 ICP 식각장비에서 700 W의 RF전력과 -200 vo1t의 dc 바이어스 전압 및 15 mTorr의 반응로 압력에서 $Ar/CF_2$ 혼합가스에 $C1_2$가스를 첨가하면서 $CeO_2$ 박막을 식각하였다 최대식각 속도는 10%의 $C1_2$ 가스를 첨가하였을 시에 250 $\AA$/min이었고, 이 조건에서 SBT에 대한 식각 선택비는 0.4이었다. XPS를 이용하여 식각된 $CeO_2$ 박막의 표면반응을 검토하였다. Ce 피크는 대부분 $CeO_2$또는 $Ce_2O_3$형태로 Ce-O 결합상태임을 관찰할 수 있었다. 대부분의 Cl 피크는 CeClx 또는 $Ce_x/O_yCl_z$ 형태로 Ce 원자와 결합하고 있었다

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이산화염소의 해산어류 병원세균 살균효과 (Disinfection Effect of Chlorine Dioxide on Pathogenic Bacteria from Marine Fish)

  • 박경희;오명주;김흥윤
    • 한국양식학회지
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    • 제16권2호
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    • pp.118-123
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    • 2003
  • 이산화염소($ClO_2$) 처리에 의한 어병 세균의 살균 효과를 조사하기 위하여 감염어 유래 분리주인 Vibrio anguillarum, Edwardsiella tarda, Streptococcus sp. 및 Streptococcus sp.를 대상으로$ClO_2$유효 농도 0.455, 0.246 및 0.129 ppm에 30초, 1분, 3분, 5분 및 10분간 처리하여 ClO$_2$의 살균효과를 조사하였다. V. anguillarum과 E. tarda는 ClO$_2$ 0.246 ppm에서, 30초 이 상의 처리에 의하여 세균의 증식이 완전히 저해되었다. 그러나 상대적으로 저농도인 0.129 ppm에서는 5분 이상의 염소처리 조건이 필요하였다. Streptococcus sp.는 실험에 사용된 어병 세균 중 $ClO_2$의 살균능이 가장 낮은 것으로 나타났다. 0.455 ppm에서 Streptococcus sp.는 30초 반응 후 그 증식이 완전히 저해되었고, 0.246 ppm과 0.129 ppm의 ClO$_2$에서는 각각 배양 3시간, 8시간 이후부터 그 생잔에 의한 증식이 확인되어졌다. Streptococcus sp.는 본 실험에서 설정한 최저농도인 0.129 ppm 에 30초간의 반응으로 균이 사멸됨으로서 실험에 사용된 세균 중 ClO$_2$에 가장 민감한 것으로 나타났다. 그러므로 Streptococcus sp. 는 0.455 ppm, V. anguillarum과 E. tarda는 0.246 ppm, Streptococcus sp. 는 0.129 ppm의$ClO_2$농도로 30초 전후로 처리하는 조건이 가장 효과적임을 본 연구를 통해 확인할 수 있었다.

In Vitro and In Vivo Inhibitory Effects of Gaseous Chlorine Dioxide Against Diaporthe batatas Isolated from Stored Sweetpotato

  • Lee, Ye Ji;Jeong, Jin-Ju;Jin, Hyunjung;Kim, Wook;Yu, Gyeong-Dan;Kim, Ki Deok
    • The Plant Pathology Journal
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    • 제35권1호
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    • pp.77-83
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    • 2019
  • Chlorine dioxide ($ClO_2$) can be used as an alternative disinfectant for controlling fungal contamination during postharvest storage. In this study, we tested the in vitro and in vivo inhibitory effects of gaseous $ClO_2$ against Diaporthe batatas SP-d1, the causal agent of sweetpotato dry rot. In in vitro tests, spore suspensions of SP-d1 spread on acidified potato dextrose agar were treated with various $ClO_2$ concentrations (1-20 ppm) for 0-60 min. Fungal growth was significantly inhibited at 1 ppm of $ClO_2$ treatment for 30 min, and completely inhibited at 20 ppm. In in vivo tests, spore suspensions were drop-inoculated onto sweetpotato slices, followed by $ClO_2$ treatment with different concentrations and durations. Lesion diameters were not significantly different between the tested $ClO_2$ concentrations; however, lesion diameters significantly decreased upon increasing the exposure time. Similarly, fungal populations decreased at the tested $ClO_2$ concentrations over time. However, the sliced tissue itself hardened after 60-min $ClO_2$ treatments, especially at 20 ppm of $ClO_2$. When sweetpotato roots were dip-inoculated in spore suspensions for 10 min prior to treatment with 20 and 40 ppm of $ClO_2$ for 0-60 min, fungal populations decreased with increasing $ClO_2$ concentrations. Taken together, these results showed that gaseous $ClO_2$ could significantly inhibit D. batatas growth and dry rot development in sweetpotato. Overall, gaseous $ClO_2$ could be used to control this fungal disease during the postharvest storage of sweetpotato.