Al(Cu 1%)막의 플라즈마 식각후 부식 억제를 위한 $SF_6$ 처리시 fluorine passivation 효과
(The Effects of Fluorine Passivation on $SF_6$ Treatment for Anti-corrosion after Al(Cu 1%) Plasma Etching)
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- 한국전기전자재료학회논문지
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- 제11권3호
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- pp.203-207
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- 1998