• 제목/요약/키워드: $AlCl_3$

검색결과 717건 처리시간 0.027초

Al(Cu 1%)막의 플라즈마 식각후 부식 억제를 위한 $SF_6$ 처리시 fluorine passivation 효과 (The Effects of Fluorine Passivation on $SF_6$ Treatment for Anti-corrosion after Al(Cu 1%) Plasma Etching)

  • 김창일;권광호;백규하;윤용선;김상기;남기수
    • 한국전기전자재료학회논문지
    • /
    • 제11권3호
    • /
    • pp.203-207
    • /
    • 1998
  • After etching Al-Cu alloy films using $SiCl_4/Cl_2/He/CHF_3$ plasma, a corrosion phenomenon on the metal surface has been studied with XPS (X-ray photoelectron spectroscopy) and SEM (Scanning electron microscopy). In Al-Cu alloy system, the corrosion occurs rapidly on the etched surface by residual chlorine atoms. To prevent the corrosion, the $SF_6$ plasma treatment subsequent to the etch has been carried out. A passivation layer is formed by fluorine-related compounds on etched Al-Cu alloy surface after $SF_6$ treatment, and the layer suppresses effectively the corrosion on the surface as the RF power of $SF_6$ treatment increases. The corrosion could be suppressed successfully with $SF_6$ treatment in the RF power of 150watts.

  • PDF

한국(韓國) 낙엽송재(落葉松材)의 목질(木質)세멘트판(板) 재질(材質)에 미치는 전처리(前處理) 및 첨가제(添加劑) 효과(效果) (Effects of Pretreatment and Chemical Additives on Wood Cement Board Qualities from Larix leptolepis Grown in Korea)

  • 박종영;이화형
    • 농업과학연구
    • /
    • 제9권1호
    • /
    • pp.250-259
    • /
    • 1982
  • 낙엽송(落葉松)은 몇가지의 세멘트경화장해물질(硬化障害物質)을 함유(含有)하고 있기 때문에 목질(木質)세멘트판(板)의 제조(製造)에 부적합(不適合)한 수종(樹種)으로 알려져 왔다. 따라서 본(本) 연구(硏究)는 국산(國産) 낙엽송재(落葉松材)의 플레이크를 이용(利用)한 목질(木質)세멘트판(板) 재질(材質)에 미치는 전처리(前處理) 및 첨가제(添加劑)의 효과(效果)를 구명(究明)하고자 실시(實施)되었다. 보드의 재질(材質)을 향상(向上)시키기 위(爲)하여 냉수처리(冷水處理) 및 0.1, 0.5, 2.0%NaOH 용액(溶液)에 원료(原料)flake를 전처리(前處理) 시켰으며, $CaCl_2$, $Al_2Cl_3$$Na_2SiO_4$ 등(等)의 첨가제(添加劑)를 목질(木質)-세멘트혼합시(混合時)에 첨가(添加)시켰다. 본(本) 연구(硏究)에서 얻어진 결과(結果)는 다음과 같다. 1. 0.1%처리(處理)에서의 휨강도(强度)와 박리강도(剝離强度)는 냉수처리(冷水處理)에 비(比)하여 현저(顯著)한 강도증가효과(强度增加效果)를 나타냈다. 2. 휨강도(强度)는 0.1% 이상(以上)의 NaOH처리(處理)와 3% $CaCl_2$ (세멘트 대비(對比)) 첨가조건(添加條件)에서 JIS A-5417의 $60kg/cm^3$ 규격(規格)을 만족(滿足)시켰으며, 각(各) 첨가제(添加劑)는 공(共)히 0.5% 처리농도(處理濃度)에서 최대치(最大値)를 나타냈다. 3. 박리강도(剝離强度)는 0.1% 이상(以上)의 NaOH 처리(處理)에서 $CaCl_2$$Al_2Cl_3$의 첨가(添加)로 강도증가효과(强度增加效果)를 보였다. 4. NaOH처리농도(處理濃度)가 증가(增加)됨에 따라 팽창률(膨脹率)이 감소(減少)하여 치수안정상태(安定狀態)를 나타낸다. 5. 0.1% 이상(以上)의 NaOH처리(處理)에서 $Al_2Cl_3$, $CaCl_2$ 등(等)의 염화물(鹽化物)을 첨가(添加)시켰을 때 9.0~10.5%의 함수율(含水率)을 평형상태(平衡狀態)로 유지(維持)하였다. 6. 비중(比重)은 휨강도(强度) 및 박리강도(剝離强度) 등(等)의 강도적(强度的) 성질(性質)과 밀접(密接)한 관계(關係)가 있는 것으로 나타났다.

  • PDF

NaCl과 Na$_2$SO$_4$에 의한 SiC 고온 부식에 미치는 Alumina 첨가량의 영향 (Effect of Alumina Content on the Hot Corrosion of SiC by NaCl and Na2SO4)

  • 이수영;고재웅;김해두
    • 한국세라믹학회지
    • /
    • 제28권8호
    • /
    • pp.626-634
    • /
    • 1991
  • The specimens for the corrosion test were made by hot-pressing of SiC power with 2 wt% Nl2O3 and 10wt% Al2O3 additions at 200$0^{\circ}C$ and 205$0^{\circ}C$. The specimens were corroded in 37 mole% NaCl and 63 mole% Na2SO4 salt mixture at 100$0^{\circ}C$ up to 60 min. SiO2 layer was formed on SiC and then this oxide layer was dissolved by Na2O ion in the salt mixture. The rate of corrosion of the specimen containing 10 wt% Al2O3 was slower than that of the specimen containing 2 wt% Al2O3. This is due to the presence of continuous grain boundary phase in the specimen containing 10 wt% Al2O3. The oxidation of SiC produced gas bubbles at the SiC-SiO2 interface. The rate of corrosion follows a linear rate law up to 50 min. and then was accelerated. This acceleration is due to the disruption oxide layer by the gas evolution at SiC-SiO2 interface. Pitting corrosion has found at open pores and grain boundaries.

  • PDF

Polysulfone으로 Al(OH)3를 고정화한 PSf-Al(OH)3 비드에 의한 불소 이온의 제거 특성 (Removal Characteristics of Fluoride Ions by PSf-Al(OH)3 Beads Immobilized Al(OH)3 with Polysulfone)

  • 전진우;이민규
    • 청정기술
    • /
    • 제20권1호
    • /
    • pp.51-56
    • /
    • 2014
  • 본 연구에서는 폴리술폰(polysulfone, PSf)으로 알루미늄 수산화물(aluminum hydroxide, $Al(OH)_3$)을 고정화한 PSf-$Al(OH)_3$ 비드를 제조하였다. 제조한 PSf-$Al(OH)_3$ 비드에 의한 불소 이온 제거실험은 회분식으로 수행하였으며, pH, 초기농도, 공존이온과 같은 변수들의 영향을 살펴보았다. Langmuir 등온식으로 구한 불소 이온의 최대 제거량은 52.4 mg/g이었으며, 최적 pH 범위는 4~10이었다. PSf-$Al(OH)_3$ 비드에 의한 불소 이온의 제거과정은 전 단계에서 외부물질전달이 나중 단계에서 내부확산이 지배인 것을 알 수 있었다. 또한 PSf-$Al(OH)_3$에 의한 불소 이온의 제거에서 $HCO_3{^-}$, $SO{_4}^{2-}$, $NO_3{^-}$, $Cl^-$와 같은 공존 음이온들은 불소 이온의 제거에 방해를 하는 것으로 나타났다.

평판형 고밀도 유도결합 B$Cl_3$ 플라즈마를 이용한 AlGaAs와 InGaP의 건식식각 (Dry Etching of AlGaAs and InGaP in a Planar Inductively Coupled B$Cl_3$ Plasma)

  • 백인규;임완태;유승열;이제원;전민현;박원욱;조관식
    • 한국표면공학회지
    • /
    • 제36권4호
    • /
    • pp.334-338
    • /
    • 2003
  • $BCl_3$고밀도 평판형 유도결합 플라즈마(High Density Planar Inductively Coupled Plasma)를 이용하여 AlGaAs와 InGaP의 건식식각에 대하여 연구하였다. 본 실험에서는 ICP 소스파워(0∼500 W), RIE 척 파워(0-150 W), 공정압력(5∼15 mTorr)의 변화에 따른 AlGaAs와 InGaP의 식각률, 식각단면 그리고 표면 거칠기 등을 분석 하였다. 또, 공정 중 OES(Optical Emission Spectroscopy)를 이용하여 in-situ로 플라즈마를 관찰하였다. $BCl_3$ 유도결합 플라즈마를 이용한 AlGaAs의 식각결과는 우수한 수직측벽도와(>87$^{\circ}$) 깨끗하고 평탄한 표면(RMS roughness = 0.57 nm)을 얻을 수 있었다. 반면, InGaP의 경우에는 식각 후 표면이 다소 거칠어진 것을 확인할 수 있었다. 모든 공정조건에서 AlGaAs의 식각률이 InGaP보다 더 높았다. 이는 $BCl_3$ 유도결합 플라즈마를 이용하여 InGaP을 식각하는 동안 $InCl_{x}$ 라는 휘발성이 낮은 식각부산물이 형성되어 나타난 결과이다. ICP 소스파워와 RIE 척파워가 증가하면 AlGaAs와 InGaP모두 식각률이 증가하였지만, 공정압력의 증가는 식각률의 감소를 가져왔다. 그리고 OES peak세기는 공정압력과 ICP 소스파워의 변화에 따라서는 크게 변화하였지만 RIE 척파워에 따라서는 거의 영향을 받지 않았다.

SiO2-Al2O3-P2O5 무기복합체를 이용한 LiCl-KCl 방사성 폐기물의 안정화/고형화: Part 1. LiCl-KCl의 탈염화 반응거동 및 고형화특성 (Stabilization/Solidification of Radioactive LiCl-KCl Waste Salt by Using SiO2-Al2O3-P2O5 (SAP) inorganic composite: Part 1. Dechlorination Behavior of LiCl-KCl and Characteristics of Consolidation)

  • 조인학;박환서;안수나;김인태;조용준
    • 방사성폐기물학회지
    • /
    • 제10권1호
    • /
    • pp.45-53
    • /
    • 2012
  • 사용후 핵연료내 우라늄 및 초우란원소를 회수하는 파이로프로세싱 공정에서 배출되는 금속염화물계 방사성 폐기물은 높은 휘발특성과 붕규산계 유리와의 낮은 상용성으로 인해 고화처리가 쉽지 않은 폐기물이다. 이를 위해, 본 연구에서는 고화처리의 한 방법으로 탈염화 반응을 통한 고화체제조 개념을 채택하였다. 솔젤법을 이용하여 탈염화물질, $SiO_2-Al_2O_3-P_2O_5$ (SAP)을 합성하였으며 이를 이용하여 탈염화 반응거동 반응생성물의 고형화 특성을 조사하였다. LiCl계 폐기물과 달리, LiCl-KCl폐기물의 반응은 두 개의 온도범위에서 반응이 진행되며, $400^{\circ}C$의 경우에는 LiCl이, 약 $700^{\circ}C$에서는 KCl이 주로 반응하는 것으로 확인되었다. 여러 가지 반응실험을 통하여 LiCl-KCl의 탈염화 반응에 가장 적합한 물질은 SAP 1071 (Si/Al/P=1/0.75/1 in molar)인 것으로 확인되었다. 4가지 종류의 고형화 실험을 통하여 고화체의 bulk shape과 densification은 SAP/Salt의 비에 영향 받는 것을 확인하였다. 제조된 고형화 시료는 Product Consistency Test-A법을 이용하여 기본적인 내구성을 평가하였다. 본 연구는 $SiO_2$, $Al_2O_3$, $P_2O_5$로 이루어진 탈염화 물질을 이용하여 반응특성과 고형화 특성에 대한 기본적인 정보를 제공하였으며, 이와 같은 실험을 통하여, 본 연구에서 제안된 탈염화 고화처리방법이 휘발특성이 높고 기존 유리매질과 상용성이 낮은 금속염화물계 폐기물에 적용이 가능함을 확인하였다.

$In_2O_3$계 반도성 가스감지재료의 조성변화에 따른 감도특성 (Sensitivity Characteristics on the Composition Change of the Gas Sensing Materials based on $In_2O_3$ Semiconductor.)

  • 정형진;유광수
    • 한국세라믹학회지
    • /
    • 제22권4호
    • /
    • pp.54-60
    • /
    • 1985
  • Gas sensing materials for detecting flammable gases such as $CH_4$, $C_3H_8$ and n-$C_4H_{10}$ were developed by util-izing $In_2O_3$ as the principal sensing material. The sensing materials were formulated by mixing $In_2O_3$ powder with one or two other chemicals such as $SnO_2$, $Y_2O_3$ and $Al_2O_3$ with a small addition of $PdCl_2$ as a catalyst. Sample of sensor were fabricated by coating each of the mixtures on a ceramic tube impregnating ethylsili-cate and firing at 75$0^{\circ}C$ Each material mixture was evaluated by measuring and comparing gas sensitivity(resistance in air/resistance with gas) to flammable gases such as $CH_4$, $C_3H-8$ and n-$C_4H_{10}$. It was found that among fifteen compositions tested three compositions as follows show the highest gas sensitivity and thus are very feasible for commercialization as the gas sensors ; o49.5 $In_2O_3$+50 Al2O3_0.5 PdCl2(wt%) o $20In_2O_3+29$ $SnO_2+50$ $Al_2O_3+1$ $PdCl_2$(wt%) o40 $In_2O_3$+9 $Y_2O_3+50$ $Al_2O_3+1$ $PdCl_2$(wt%)

  • PDF

3.5 중량% NaCl 용액에서 쌍선 아크 용사 공정으로 증착된 Al-Zn 코팅의 부식 성능에 대한 기공 밀봉제로서의 헥사메타인산나트륨의 영향 (Effect of sodium hexa-meta phosphate as pore-sealing agent on the corrosion performance of Al-Zn coating deposited by twin-wire arc thermal spray process in 3.5 wt.% NaCl solution)

  • 지텐드라 쿠마 싱;잔낫;이한승
    • 한국건축시공학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국건축시공학회 2022년도 가을 학술논문 발표대회
    • /
    • pp.81-82
    • /
    • 2022
  • Al and Zn are used to protect the steel structures from corrosion. In the present studies, 15Al-85Zn alloy wires has been used for the deposition of coating by arc thermal spray process. Moreover, this process of coating exhibited severe defects formation, therefore, this coating was post-treated with different concentrations i.e. 0.05, 0.1 and 0.5M sodium hexa meta phosphate (Na6[(PO3)6]: SHMP) to fill to defects of deposited coatings and assessed their corrosion resistance in 3.5 wt.% NaCl solution with exposure periods. After the treatment, the porosity of the coating reduced significantly by formation of composite oxide films onto the coating surface. Initially, 0.5 M SHMP treated coating exhibited highest in total impedance due to significant reduction of porosity but once the exposure periods are extended, the composite oxides are dissolved, thus, total impedance is decreased.

  • PDF

염분환경하 콘크리트 경화체의 내구성에 미치는 혼합재의 영향 (I) 시멘트 경화체중에서의 Cl-이온의 확산 (Effect of Blending Materials on the Durability of Concrete (I) Diffusion of Cl-ions through Hardened Cement Paste)

  • 김남중;최상흘;정재동;한기성
    • 한국콘크리트학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국콘크리트학회 1991년도 가을 학술발표회 논문집
    • /
    • pp.11-14
    • /
    • 1991
  • Apparent diffusion coefficients of Cl-ions through hardened cement paste(HCP), which were partly substituted blending materials, were determined. Also, pore solution was extracted from HCP which were immersed in NaCl solution, and Cl- concentration of the solution were analyzed. Partly substitution of pozzolanic materials considerably reduced the diffusion rate for Cl-ions and Cl- concentration of pore solution. Binding capacity of Cl- is related to the content of Al2O3 and pozzolanic reactivity.

  • PDF

트레드밀 운동 및 환경강화가 알츠하이머 질환 동물 모델의 인지기능, 근 기능 및 밀착연접 단백질 수준에 미치는 영향 (The Effect of Treadmill Exercise and Environmental Enrichment on Cognitive Function, Muscle Function, and Levels of tight junction protein in an Alzheimer's Disease Animal Model)

  • 엄현섭;정종환;김태경;전유정;조준용;구정훈
    • 한국응용과학기술학회지
    • /
    • 제41권1호
    • /
    • pp.58-68
    • /
    • 2024
  • 본 연구의 목적은 알츠하이머질환(Alzheimer's disease: AD) 동물 모델을 대상으로 트레드밀 운동(Treadmill exercise: TE)과 환경강화(environmental enrichment: EE) 처치가 인지기능, 근 기능, 및 밀착연접 단백질 발현에 미치는 영향을 확인하는데 있다. AD 동물 모델을 제작하기 위해 aluminum chloride(AlCl3)를 90일간(40mg/kg/하루) 투여 하였으며 동시에 TE(10-12m/min, 40-60min/day) 혹은 EE에 노출시켰다. 그 결과 AlCl3 투여에 의한 인지기능 저하와 근 기능 감소가 TE와 EE에 의해 완화된 것으로 나타났다. 또한, TE와 EE는 AD 질환에서 나타나는 β-amyloid(Aβ), alpha-synuclein 및 tumor necrosis factor-α(TNF-α) 단백질의 발현 증가를 감소시킨 것으로 나타났다. 게다가 TE와 EE는 AlCl3 투여에 의해 감소된 밀착연접 단백질(Occludin, Claudin-5 및 ZO-1)의 발현을 통계적으로 유의하게 증가시킨 것으로 나타났다. 마지막으로 Aβ 단백질과 밀착연접 단백질과의 상관분석을 실시한 결과 부적 상관관계(Occludin: r=-0.853, p=0.001; Claudin-5 : r=-0.352, p=0.915; ZO-1 : r=-0.424, p=0.0390)로 나타났다. 따라서 이를 종합해 보면 TE 혹은 EE 처치는 AD에 나타나는 병리학적 특징들을 일부 완화시켜 인지기능과 근 기능을 일부 개선 시킬 수 있는 효과적인 운동 방법이라고 생각된다.