• Title/Summary/Keyword: ${C_4}{A_3}$S

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현장실사를 통한 급식유헝별 위생관리실태 분석 (Analysis of Critical Control Points through Field Assessment of Sanitation Management Practices in Foodservice Establishments)

  • 곽동경;이경미;장혜자;강영재;홍완수;문혜경
    • 한국식품조리과학회지
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    • 제21권3호
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    • pp.290-300
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    • 2005
  • 본 연구에서는 우리나라 집단급식소를 HACCP 지정유무 및 급식 유형별로 분류하여 위생관리 실태를 평가하여 유형별 문제점을 파악하고 개선방안을 제시하였다. 평가내용은 총 105개 항목, 9개의 영역으로 개인위생, 식재료의 공급, 식품의 저장, 생식품과 조리된 식품의 분리취급, 배식, 세척과 소독, 쓰레기처리, 방충$\cdot$구서 대책, 시설$\cdot$설비 관리영역으로 구성되어 있다. 조사대상급식소는 급식유형에 따라 발생되는 문제점을 고려하기 위해 중$\cdot$고등학교급식소, 대학교급식소, 사업체급식소를 대상으로 이루어졌다. 본 연구의 결과를 하면 다음과 같다. 1. 서울, 경기, 경남지역의 집단급식소 20개소를 대상으로 이루어졌다. 중$\cdot$고등학교급식소 7곳과 대학교 급식소 4곳, 사업체 급식소 9곳을 대상으로 하였다. HACCP 지정급식소는 6곳으로 중 고등학교가 3곳, 사업체 3곳을 포함한다. 평균 중식수는 약 1,400식 정도의 규모이며, 평균 근무인원은 약 34명 정도로 나타났다. 조리원 1인당 맡고 있는 식수는 평균 103식 정도로 양호한 작업량을 보였다. 2. 전체 평균점수는 105점 만점에 72.3점을 보였고 평균 43.9항목$(65.5\%)$이 준수되었고 18.9항목$(30.0\%)$이 비준수로 집계되었다. HACCP 지정업체와 비지정업체간의 비교에서는 HACCP 지정업체가 모든 영역에서 비지정업체에 비해 위생관리가 잘 이루어지고 있었으며 특히 시설$\cdot$설비영역에서 많은 차이를 보였다. 3. 급식유형별 비교에서는 중$\cdot$고등학교급식소가 다른 급식유형에 비해 많은 영역이 잘 이루어지고 있었다. 특히 방충$\cdot$구서대책이나 세척과 소독, 생식품$\cdot$조리식품의 분리취급에서 위생적으로 관리되고 있었다. 반면 대학교 급식소는 위생관리가 제대로 수행되지 않는 유형으로 시급히 보완되어야 하겠다. 특히 대학교 급식소는 방충$\cdot$구서 대책, 쓰레기처리, 시설$\cdot$설비영역, 식재료영역의 이행 수준이 낮게 나타났다. 이상의 결과에서 급식소의 위생관리를 철저히 수행하기 위해서는 본 연구에서 사용된 위생관리 모니터링 도구를 이용하여 정기적으로 평가하는 동시에 그 결과를 종업원에게 알려주고, 교육$\cdot$훈련에 적극 활용하는 것이 필요하다. 집단급식소의 경우 인력의 유동이 심하고 시간제 조리원이 많아 교육의 효과를 보기 어려운 경우가 많지만 지속적인 교육과 조직문화 창달을 통해서 그 효과를 배가 시켜야 하겠다. 또한 식당 홀뿐 아니라 주방내의 작업환경의 개선을 통해서 좀 더 효율적으로 위생관리 될 수 있는 급식 시스템의 구축도 필요하겠다. 식중독예방을 위한 방안으로 본 연구에 사용된 것과 같은 체계적인 모니터링 도구를 활용한 지속적인 자가 진단과 개선 및 시정이 철저하게 이루어져야 할 것이다. 본 연구의 제한점은 훈련된 연구원이 직접 현장 점검하는 방법을 채택하여 경제적, 시간적 한계로 인해 샘플수가 적었다. 그러므로 우리나라 집단급식소의 수에 비해 적은 수의 급식소를 대상으로 하여 대표성이 다소 결여되었다. 따라서 우리나라 집단급식소의 위생관리 실태를 완전하게 파악하기 위해서는 더 많은 연구자들이 급식소의 위생관리 실태조사에 참여하고, 이를 데이터베이스화하여 객관적으로 평가하는 작업이 필요할 것으로 사료된다

흰쥐에서 WGA-HRP와 pseudorabies virus를 이용한 정관의 신경로에 대한 연구 (Neural pathway innervating ductus Deferens of rats by pseudorabies virus and WGA-HRP)

  • 이창현;정옥봉;고병문;이봉희;김수명;김인식;양홍현
    • 대한수의학회지
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    • 제43권1호
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    • pp.11-24
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    • 2003
  • This experimental studies was to investigate the location of PNS and CNS labeled neurons following injection of 2% WGA-HRP and pseudorabies virus (PRY), Bartha strain, into the ductus deferens of rats. After survival times 4-5 days following injection of 2% WGA-HRP and PRV, the rats were perfused, and their brain, spinal cord, sympathetic ganglia and spinal ganglia were frozen sectioned ($30{\mu}m$). These sections were stained by HRP histochemical and PRY inummohistochemical staining methods, and observed with light microscope. The results were as follows ; 1. The location of sympathetic ganglia projecting to the ductus deferens were observed in pelvic ganglion, inferior mesenteric ganglion and L1-6 lwnbar sympathetic ganglia. 2. The location of spinal ganglia projecting to the ductus deferens were observed in T13-L6 spinal ganglia. 3. The PRY labeled neurons projecting to the ductus deferens were observed in lateral spinal nucleus, lamina I, II and X of cervical segments. In thoracic segments, PRY labeled neurons were observed in dorsomedial part of lamina I, II and III, and dorsolateral part of lamina IV and V. Densely labeled neurons were observed in intermediolateral nucleus. In first lumbar segment, labeled neurons were observed in intermediolateral nucleus and dorsal commisural nucleus. In sixth lumbar segment and sacral segments, dense labeled neurons were observed in sacral parasympathetic nuc., lamina IX and X. 4. In the medulla oblongata, PRV labeled neurons projecting to the ductus deferens were observed in the trigeminal spinal nuc., A1 noradrenalin cells/C1 adrenalin cells/caudoventrolateral reticular nuc., rostroventrolateral reticular nuc., area postrema, nuc. tractus solitarius, raphe obscurus nuc., raphe pallidus nuc., raphe magnus nuc., parapyramidal nuc., lateral reticular nuc., gigantocellular reticular nuc.. 5. In the pons, PRV labeled neurons projecting to the ductus deferens were ohserved in parabrachial nuc., Kolliker-Fuse nuc., locus cooruleus, subcooruleus nuc. and AS noradrenalin cells. 6. In midbrain, PRV labeled neurons projecting to the ductus deferens were observed in periaqueductal gray substance, substantia nigra and dorsal raphe nuc.. 7. In the diencephalon, PRV labeled neurons projecting to the ductus deferens were observed in paraventricular hypahalamic nuc., lateral hypothalamic nuc., retrochiasmatic nuc. and ventromedial hypothalamic nuc.. 8. In cerebrum, PRV labeled neurons projecting to the ductus deferens were observed in area 1 of parietal cortex. These results suggest that WGA-HRP labeled neurons of the spinal cord projecting to the rat ductus deferens might be the first-order neurons related to the viscero-somatic sensory and sympathetic postganglionic neurons, and PRV labeled neurons of the brain and spinal cord may be the second and third-order neurons response to the movement of smooth muscles in ductus deferens. These PRV labeled neurons may be central autonomic center related to the integration and modulation of reflex control linked to the sensory and motor system monitaing the internal environment. These observations provide evidence for previously unknown projections from ductus deferens to spinal cord and brain which may be play an important neuroanatornical basic evidence in the regulation of ductus deferens function.

연부 조직 육종의 수술 후 방사선 치료 결과 (Postoperative Radiation Therapy in the Soft-tissue Sarcoma)

  • 김연실;장홍석;윤세철;유미령;계철승;정수미;김훈교;강용구
    • Radiation Oncology Journal
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    • 제16권4호
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    • pp.485-495
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    • 1998
  • 목적 : 최근들어 연부 조직 육종의 치료방법이 광범위 구획절제에서 사지기능을 보존하는 제한적 수술과 방사선/항암화학요법의 다병용치료로 변환되고 있으며 광범위 수술과 유사한 치료성적을 거두고 있다. 저자들은 수술후 방사선 치료를 시행한 연부 조직 육종 환자를 대상으로 치료 결과 및 실패 양상을 알아보고 관련된 예후 인자를 분석하여 수술 후 방사선치료의 역할을 알아보고자 하였다. 대상 및 방법 : 대상환자는 1983년부터 1994년까지 치료한 60명이었고 모두 추적관찰이 가능했으며 평균 추적기간은 50개월이었다. 원발병소는 상$\cdot$하지가 35례(58$\%$)로 가장 많았고 체간 12례(20$\%$), 두경부 7례(12$\%$)였으며 병리학적 유형에 따른 구분은 악성섬유구종 14례(23$\%$), 지방육종이 10례(17$\%$), 악성신경섬유종 7례(12$\%$) 등 이었다. 전체환자중 6례를 제외하고는 조직학적등급의 분석이 가능했고 grade I, II, III가 각각 27례(45$\%$), 3례(5$\%$), 24례(40$\%$)였다. 수술적 절제는 19례(32$\%$)에서 광범위절제, 36례(50$\%$)에서 변연절제, 5례(8$\%$)에서 국소절제를 시행하였다. 방사선치료선량은 28.8-80Gy였고 25례에서 방사선치료와 함께 항암화학 요법을 병용하였다. 결과 : 최종분석 시 실패 양상은 국소재발이 20례(25$\%$), 원격전이 7례(12$\%$), 국소재발과 원격전이를 동반한 경우가 14례(23$\%$)였다. 원격전이한 환자는 구제치료와 상관 없이 모두 사망하였고 국소재발한 환자중 5명이 구제치료에 성공하여 무병생존하였다. 전체환자의 2년 및 5년 국소제어률은 68.0$\%$와 48.7$\%$로 비교적 저조한 결과를 보였다. 국소제어을에 영향을 미친 예후인자는 조직학적 유형, AJCC 병기, 조직학적 등급, 수술의 범위, 수술절연 침범 유무 및 잔존종양 정도, 림프절 전이 유무(p<0.05)였다. 전체 환자의 5년 생존률과 5년 무병생존률은 각각 60.4$\%$, 36.6$\%$였고 평균 생존기간은 89개월이었다 단변량 분석에 의한 생존률에 영향을 미친 예후인자로는 조직학적 유형, AJCC 병기, 림프절 전이 유무, 조직학적 등급, 수술절연 침범 유무와 잔존 종양 정도 였다. 결론 : 결론적으로 본 연구 결과 연부 조직 육종에서 제한적 수술과 수술 후 방사선치료로 비록 저조한 국소제어률을 보였으나 사지 절단 혹은 광범위 구획절제와 비교시 유사한 생존률을 얻었다.

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영상처리기법을 이용한 스톨 사육 모돈의 인공수정적기 예측 장치 개발 (Development of a Device for Estimating the Optimal Artificial Insemination Time of Individually Stalled Sows Using Image Processing)

  • 김동주;연성찬;장홍희
    • Journal of Animal Science and Technology
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    • 제49권5호
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    • pp.677-688
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    • 2007
  • The goal of this study was to develop an optimal artificial insemination time estimator(OAITE) for individually stalled sows using image processing and to evaluate the performance of the OAITE through field test. The OAITE consisted of a computer, a multiplexer, three CCD cameras and three LED lamps (950nm wavelength). The computer program used for the OAITE to quantify the lying and non-lying (sitting and standing) rates of sows in stalls was written in LabWindows/CVI. For the purpose of establishing references that would help estimate the optimal artificial insemination(AI) time for sows, the lying rate of the 50 Berkshire⨯Hampshire crossbred sows(parity: 2 to 7) was observed and recorded. The observation was made from the second day after the sows were moved into the stalls when they were artificially inseminated. The results of above process, which compared the lying rates of the day of estrus and the other days, showed that there were no significant differences at the following time bands: 00, 08, 09, 16, and 17(p>0.1). Thus, only the time bands other than these time bands were used to establish the references for determining the onset of the estrus. Based on the lying rates observed and the references established by the procedures above, the study assigned “0” to the lying rate of the non-estrus time band, “0.5” to the lying rate between the non-estrus and estrus time bands and “1” to the lying rate of the estrus time band. The authors of the study assumed that if the OAITE produced “0.5” or above more than 4 times in a row and if the results included “1” at least once, the estrus would have started. In addition, it was assumed that the optimal AI time for sows was between the 26th hour and the 34th hour after the beginning of estrus. The results of sows’ AI of the OAITE group(n=40 sows; AI=1 time) showed that the pregnancy rate was 92.5%, which was the same rate as the control group(n=40 sows; AI=2 times), and that the litter size did not differ between the control and the OAITE group. These data suggest that the OAITE might be effective and economic to estimate the optimal AI time of individually stalled sows.

상호교류분석으로 본 간호학생의 자아상태와 스트레스 대처방법 및 건강상태에 관한 연구 (Study on Ego states in the view of Transactional analysis, Coping style and Health states of Nursing Students)

  • 원정숙;김정화
    • 동서간호학연구지
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    • 제7권1호
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    • pp.68-81
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    • 2002
  • The purpose of this study is to analyze the type of ego states and stress coping style on female college students who are in the course of nursing study. This study is performed in the view of Transactional Analysis and designed to scrutinize descriptive correlations between the type of ego states and stress coping style. The subject is consists of 144 freshmen and sophomore, 138 junior and senior students group, who are students of K nursing college located in Seoul. The sampling investigation period is on Sept. 14, 2002 to Oct. 26, 2002. The measuring instrument used for Transactional Analysis ego state is 50 items Ego-gram research paper devised by Dusay(1997). For studying coping style, Folkman & Lazarus's measurement(1984) was adopted, which is translated and modified by Han, and Oh,(1990). Health states is adopted by standardized health inspecting instrumental table (Cornell Medical Index:CMI) which is designed for Korean people by Ko and Park(1980) Statistic average and standard deviation were generated by using SPSS PC+, t=test and Pearson correlation. The results were as follows: 1) In the type of ego states on both groups indicated the arithmetic apex NP(maximum value), then the point A was high and the data made a down slope to point AC. In the comparison to type of ego states between two groups, only at point CP, the data value of upper year students represented higher than that of lower year ones by c(t=2.28, p=.023). 2) Stress coping style of whole students were highly and affirmatively dedicated to research. Especially hopeful aspect(t=.67, p=.05), relaxation of tension(t=-2.16, p=.03) made significant difference each other in the view of arithmetic calculation. 3) In view of nursing students' physical health states, there is significant difference in past history(t=2.50, p=.013) and in case of mental health states, there are considerable discrepancies between lower group(73.52) and upper group(75.11)(p<.05). In view of all field, state of tension(t=2.13, p=.048) has difference. 4) While verifying coping style in terms of ego states level between lower and upper students group, In type CP, high level ego states group indicated significant difference on stress coping style area than low leveled group and made such sequences as the central point of problem, In type NP, sequences such as the central point of problem, In type A, the central point of problem, In type FC, hopeful aspect and In type AC, hopeful aspect and indifference were derived significantly different (p<.05). 5) While verifying health state differences in the level of lower and upper ego states, In type FC, low level group(150.29) marked higher point than upper group(145.19), there is remarkable discrepancy and so did whole health state(p=.014), In type AC both mental state(p=.000) and whole health state (p=.015) showed differences. 6) When analyzing correlations between whole students' ego states, copying style and health state, all type of ego state showed differences(p<.001). In correlations between ego state and health state, in type FC physical state had an apex and there are inverse correlations among the other types. Especially, type FC showed inverse correlations with great discrepancies(p<.05). In mental state, type NP(${\gamma}=.198$, p<.001) and type A(${\gamma}=.166$, p<.05) represented straight correlations with remarkable differences. Especially, In type AC showed inverse correlations(${\gamma}=.282$, p<.001). In case of correlations between copying style and health state, indifference(${\gamma}=-.157$) and relaxation of tension(${\gamma}=-.158$) presented great difference(p<.05). In mental state, central point of problem and search for social support showed straight correlations with great discrepancies(p<.05), hopeful aspect and indifference showed inverse correlations with considerable differences(p<.001).

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한국인 및 가축(돼지)에 있어 Reovirus에 대한 HI 항체분석 (A Study of the HI Antibody of the Koreans and Swine to Reovirus)

  • 이연태;이종훈
    • 대한미생물학회지
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    • 제15권1호
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    • pp.77-84
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    • 1980
  • 본 연구는 한국인 및 한국 각지의 가축에 대한 reovirus 2형의 혈구응집저지항체의 분포를 알어보고저 실시된 연구이다. 사람의 피검물은 1979년 6월부터 12월까지 시내 종합병원에 래원한 신검대상자 총 614명과 한국각지의 가축(돼지) 총 877수를 대상으로 하였다. 돼지의 혈액은 1977년 6월부터 동년 9월까지 전국 25개 지역에서 채취했다. 이들에 대한 혈청을 분리하여 $-20^{\circ}C$에 보관하면서 실험하였고, 혈구응집저지시험은 Rosen(1960b, 1974)의 수기를 따랐다. 항원(Reovirus 2형)은 이호왕(1975) 교수로부터 분양받어 본 교실에서 HeLa 세포에 계대하여 혈구응집가를 확인하여 사용했다. 실험 결과는 다음과 같다. 1. 한국인 총 614명의 Reovirus 2형에 대한 10배 이상 HI항체 보유율은 73.29%로서 한국인이 높은 항체를 보유하고 있었다. 그리고 남녀비는 남자(76.47%)가 여자 (65.12%)보다 약간 높은 경향을 보였다. 2. 연령별로 본 한국인의 항체 보유율은 전 연령군에 고루게 분포되어 있었으나 41세에서 50세군이 85.71%로 약간 높았다. 3. 월별 항체보유율은 6월이 93.22%로 높았고, 10월이 47.62%로 낮았다. 4. 한편 한국의 25개 지역의 총 877수의 돼지에 분포된 항체보유율은 61.80%(542수)였다. 이를 도별로 구분한 바 서울이 83.37%로 가장 높았고, 가장 낮은 지역은 충남으로 40%였다. 5. 월별로 검출된 돼지의 항체보유율은 6월(63.21%)부터 9월(72.25%)까지 사이에 점차 증가되어 가는 경향을 보였다. 6. 사람과 돼지에 분포한 HI 항체가는 그림 2와 같이 대부분이 1:20이내에서 1:80이내에 분포하였으며 상호 차가 있었다. 이상의 실험결과를 토대로 볼때 한국자연계에는 Reovirus 2형이 광범하게 분포되어 있음을 알 수 있었으며, 한국인 및 가축(돼지)에 있어서 높은 항체가를 보유하고 있다는 사실을 새로히 알 수 있었다.

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30-40대(代) 남성(男性)의 사상체질별(四象體質別) 안면특징(顔面特徵)에 관(關)한 연구(硏究) (A Morphologic Study of Head and Face of Man in the Age 30 to 40 according to Sasang Constitution)

  • 정광희;고병희;송일병
    • 한국한의학연구원논문집
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    • 제6권1호
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    • pp.29-46
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    • 2000
  • The clinical application of constitutional Diagnosis is the most important part of Sasang constitutional medicine. It has been studied in various way. The study of morphologic characteristics on the head and face has been identified but didn't considered the Variations of age and sex. For the statistic analysis of the correlation between the sasang constitution and the shape of the face, the head-facial part of 182 cases(the group of throughout the age) and 69 cases(the group of age 30 to 40) were measured by Martin's measurement and analysis of a) the measurement value of height and the component ratio from the Gnathion to each part of face by constitution. b) the measurement value of depth and the component ratio from T-projected to each part of the face by constitution. c) the measurement value of breadth and component ratio between each parts of the facial breadth by constitution. d) the characteristics on each part of face by constitution. e) the result of discriminant analysis about the constitution Authors obtained the results from the study as follows: 1. Taeum-In group is characterized by the value of variables had a tendency to maximum value in throughout the age, the charateristics that the total group show is the shape of face is wide shape in horizontally and flat, the nasal breadth is wider than other constitutions, the lips is narrower than Soyang-In in horizontally and thick shape in vertically, and the biogonial breadth is more developed than other constitutions, so lower face is developed. The charateristics that only the age of 30 40 group show is that the lips is thicker than Soeum-IN. The projection of inter-eyebrows is more projected than Soyang-IN. 2. Soeum-IN group is characterized by the value of variables had a tendency to minimum value in throughout the age. The characteristics that the total group show is the lips is thiner than other constitutions, the breadth of eyes is wider than other constitutions, the difference between sellion and nasal breadth is to be little. The charateristics that only the age of 30 40 group show is that the ratio of upper face in physiognomic face is lager than Soyang-IN. 3. The total age group of Soyang-In is characterized by the shape of face is long in vertically and narrow in horizontally, the total eyebrow breadth and lips and philtrun is wider than other constitutions. The charateristics that only the age of 30 40 group is characterized by the projection of sellion is more projected than Taeum-IN. 4. The values which showed significance in both age group V76, V52, V54, V55, V57, V59, V64, V65, V67, V88, V89, V148, V150, V151, V155, V160, V161, V28, V50, V99, V102, V167, V169, V173, V175, V177, V181 are 27 in all. 5. The values which was significant in the age 30 to 40 group V77, V78, V79, V109, V140, V142, V143, V166, V174 are 9 in all.

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바나나 첨가량을 달리한 당화 바나나죽의 품질특성 및 항산화효과 (Quality Characteristics and Antioxidant Properties of Saccharified Banana Gruels)

  • 김진숙;김자영;김기창;김경미;강명화
    • 한국식품영양과학회지
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    • 제42권7호
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    • pp.1071-1078
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    • 2013
  • 본 연구에서는 탄수화물 주원료에 과일을 넣어 호화 및 가열과정을 거쳐 새로운 맛과 영양, 항산화능 효과가 향상되는 당화 과일죽의 조리법을 기본으로 한다. 죽의 기본 원료인 쌀가루에 당화과정을 거쳐 생성된 쌀 당화액(rice mash)과 남녀노소 누구나 수용성이 높은 과일 바나나를 0~45%를 넣고 제조한 당화 바나나죽의 품질 특성과 항산화성을 조사하였다. 바나나 첨가량을 0, 15, 30 및 45% 수준으로 첨가한 당화 바나나죽의 수분, 조회분, 조지방 및 조섬유는 그 첨가량에 따라 증가하는 경향이었다. 바나나의 첨가수준을 0~45%로 달리하여 제조한 당화 바나나죽의 pH는 6.58~5.23 범위로 바나나 첨가량이 많아질수록 유의적으로 감소된 반면(P<0.05), 총산도는 0.03~0.13 범위로 증가되었으나 유의적이지 않았다. 당화 바나나죽의 당도는 바나나 0~45% 첨가 수준에 따라 10.80~14.20으로 증가되었으나 유의적 차이는 없었다. 바나나를 0~45% 수준으로 첨가한 당화 바나나죽의 점도는 2683.3~1920.0 cP로서 바나나 첨가량이 많아질수록 상대적으로 점도가 낮아지는 경향이었다. 당화 바나나죽의 L값은 바나나 0~45% 첨가수준에 따라 75.69~49.82로 감소된 반면(P<0.05), a값과 b값은 각각 0.17~4.10, 9.09~10.47로 증가하였다(P<0.05). 바나나를 15~45% 수준으로 첨가한 당화 바나나죽의 유리당은 glucose, fructose, maltose, sucrose가 검출되었고, 총 유리당 함량도 바나나 첨가량에 따라 증가하는 경향이었다(P<0.05). 관능적 특성 조사 결과에서 바나나 15~45% 첨가구(BA15, BA30, BA45)는 바나나 무첨가구(BA0)보다 색, 향, 맛, 입안에서의 느낌, 조직감 및 전반적인 기호도가 좋았는데, 특히 바나나 30% 첨가구는 바나나 45% 첨가구와는 달리 맛 특성에서 유의적으로 높은 점수를 보였다(P<0.05). 바나나를 0~45% 수준으로 첨가한 당화 바나나죽의 total polyphenol 함량, DPPH 소거능 및 ABTS 라디칼 소거 활성은 바나나 첨가량에 따라 증가되는 경향이었다. 이상으로 물 대신에 쌀 당화액을 조리수로 이용한 당화 바나나죽은 탄수화물 중심인 쌀에 영양과 향미가 좋은 완숙 바나나를 최대 45% 수준까지 첨가하여 죽을 제조할 경우, 유리당, 당도, 관능적 특성 및 항산화능력이 향상되었다. 다만 관능적 특성상에는 최대 30% 수준에서 전체적 기호도가 좋았음을 확인하였으므로 향후 바나나를 비롯한 새로운 과일죽 제품개발에 기초자료로서 활용되기를 기대한다.

$HfO_2/Si$시스템의 계면산화막 및 고유전박막의 특성연구 (Properties of the interfacial oxide and high-k dielectrics in $HfO_2/Si$ system)

  • 남서은;남석우;유정호;고대홍
    • 한국결정학회:학술대회논문집
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    • 한국결정학회 2002년도 정기총회 및 추계학술연구발표회
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    • pp.45-47
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    • 2002
  • 반도체 소자의 고집적화 및 고속화가 요구됨에 따라 MOSFET 구조의 게이트 절연막으로 사용되고 있는 SiO₂ 박막의 두께를 감소시키려는 노력이 이루어지고 있다. 0.1㎛ 이하의 소자를 위해서는 15Å 이하의 두께를 갖는 SiO₂가 요구된다. 하지만 두께감소는 절연체의 두께와 지수적인 관계가 있는 누설전류를 증가시킨다[1-3]. 따라서 같은 게이트 개패시턴스를 유지하면서 누설전류를 감소시키기 위해서는 높은 유전상수를 갖는 두꺼운 박막이 요구되는 것이다. 그러므로 약 25정도의 높은 유전상수를 갖고 5.2~7.8 eV 정도의 비교적 높은 bandgap을 갖으며, 실리콘과 열역학적으로 안정한 물질로 알려진 HfO2[4-5]가 최근 큰 관심을 끌고 있다. 본 연구에서는 HfO₂ 박막을 실제 소자에 적용하기 위하여 전극 및 열처리에 따른 HfO₂ 박막의 미세구조 및 전기적 특성에 관한 연구를 수행하였다. 이를 위해, HfO₂ 박막을 reactive DC magnetron sputtering 방법으로 증착하고, XRD, TEM, XPS를 사용하여 ZrO₂ 박막의 미세구조를 관찰하였으며, MOS 캐패시터 구조의 C-V 및 I-V 특성을 측정하여 HfO₂ 박막의 전기적 특성을 관찰하였다. HfO₂ 타겟을 스퍼터링하면 Ar 스퍼터링에 의해 에너지를 가진 산소가 기판에 스퍼터링되어 Si 기판과 반응하기 때문에 HfO₂ 박막 형성과 더불어 Si 기판이 산화된다[6]. 그래서 HfO₂같은 금속 산화물 타겟 대신에 순수 금속인 Hf 타겟을 사용하고 반응성 기체로 O₂를 유입시켜 타겟이나 시편위에서 high-k 산화물을 만들면 SiO/sub X/ 계면층을 제어할 수 있다. 이때 저유전율을 갖는 계면층은 증착과 열처리 과정에서 형성되고 특히 500℃ 이상에서 high-k/Si를 열처리하면 계면 SiO₂층은 증가하는 데, 이것은 산소가 HfO₂의 high-k 박막층을 뚫고 확산하여 Si 기판을 급속히 산화시키기 때문이다. 본 방법은 증착에 앞서 Si 표면을 희석된 HF를 이용해 자연 산화막과 오염원을 제거한 후 Hf 금속층과 HfO₂ 박막을 직류 스퍼터링으로 증착하였다. 우선 Hf 긍속층이 Ar 가스 만의 분위기에서 증착되고 난 후 공기중에 노출되지 않고 연속으로 Ar/O₂ 가스 혼합 분위기에서 반응 스퍼터링 방법으로 HfO₂를 형성하였다. 일반적으로 Si 기판의 표면 위에 자연적으로 생기는 비정질 자연 산화막의 두께는 10~15Å이다. 그러나 Hf을 증착한 후 단면 TEM으로 HfO₂/Si 계면을 관찰하면 자연 산화막이 Hf 환원으로 제거되기 때문에 비정질 SiO₂ 층은 관찰되지 않았다. 본 실험에서는 HfO2의 두께를 고정하고 Hf층의 두께를 변수로 한 게이트 stack의 물리적 특성을 살펴보았다. 선증착되는 Hf 금속층을 0, 10, 25Å의 두께 (TEM 기준으로 한 실제 물리적 두께) 로 증착시키고 미세구조를 관찰하였다. Fig. 1(a)에서 볼 수 있듯이 Hf 금속층의 두께가 0Å일때 13Å의 HfO₂를 반응성 스퍼터링 방법으로 증착하면 HfO₂와 Si 기판 사이에는 25Å의 계면층이 생기며, 이것은 Ar/O₂의 혼합 분위기에서의 스퍼터링으로 인한 Si-rich 산화막 또는 SiO₂ 박막일 것이다. Hf 금속층의 두께를 증가시키면 계면층의 성장은 억제되는데 25Å의 Hf 금속을 증착시키면 HfO₂ 계면층은 10Å미만으로 관찰된다. 그러므로 Hf 금속층이 충분히 얇으면 플라즈마내 산소 라디칼, 이온, 그리고 분자가 HfO₂ 층을 뚫고 Si 기판으로 확산되어 SiO₂의 계면층을 성장시키고 Hf 금속층이 두꺼우면 SiO/sub X/ 계면층을 환원시키면서 Si 기판으로의 산소의 확산은 막기 때문에 계면층의 성장은 억제된다. 따라서 HfO₂/Hf(Variable)/Si 계에서 HfO₂ 박막이 Si 기판위에 직접 증착되면, 순수 HfO₂ 박막의 두께보다 높은 CET값을 보이고 Hf 금속층의 두께를 증가시키면 CET는 급격하게 감소한다. 그러므로 HfO₂/Hf 박막의 유효 유전율은 단순 반응성 스퍼터링에 의해 형성된 HfO₂ 박막의 유전율보다 크다. Fig. 2에서 볼 수 있듯이 Hf 금속층이 너무 얇으면 계면층의 두께가 두꺼워 지고 Hf 금속층이 두꺼우면 HfO₂층의 물리적 두께가 두꺼워지므로 CET나 EOT 곡선은 U자 형태를 그린다. Fig. 3에서 Hf 10초 (THf=25Å) 에서 정전 용량이 최대가 되고 CET가 20Å 이상일 때는 high-k 두께를 제어해야 하지만 20Å 미만의 두께를 유지하려면 계면층의 두께를 제어해야 한다.

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맥류의 도복에 관여하는 유용형질의 분석에 관한 연구 (Analytical Studies on The Useful Characters Affecting The Lodging Resistance of Wheat and Barley Varieties)

  • 조장환
    • 한국작물학회지
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    • 제11권
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    • pp.105-117
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    • 1972
  • 본연구는 맥류의 도복에 관여하는 주요형질의 상호관계를 구명함과 아울러 주요 대소맥 품종의 내도복성정도를 분류하고, 내도복성 품종 선발의 기준을 인정하여 보고자 한 것이며, 그 결과를 요약하면 다음과 같다. 1. 포장도복과 도복지수는 고도의 정의 상관(대맥 r=0.44-0.67 소맥 r=0.46-0.68)이 있으며 지상부 Bending moment에 간자체의 정도를 가미한 지수로서 도복저항성 검정에 가장 유효하다. 2. 간의 Bending stiffness를 표시하는 좌절시 Bending moment와 단면 2차 moment와는 정의 높은 상관(대백 r=0.59, 소맥 r=0.46-0.53)을 보였다. 3. 간의 Bending stiffness(좌절시 Bending moment 단면 2차 moment)와 간에의 건물집적량을 표시하는 단위간건물중과는 높은 정의 상관 (대맥 r=0.35-1.40, 소맥 r=0.33-0.76)을 보였다. 4. 도복지수와 단위간건물중 (대맥 r=-0.51~-0.70, 소맥 r=-0.65~-0.83) 좌절시 Bending moment (대맥 r=-0.29~-0.69, 소맥 r=-0.54~-0.89)과는 특히 높은 부의 상관을 보였으며, 소맥의 경우는 좌절하중, 단면 2차 moment, 단면계수와는 높은 부의 상관을 보였다. 5. 간외경은 간내경보다 간의 물리적 특성과 상관이 높으며 좌절하중 (대맥 r=0.42-0.56, 소맥 r=0.39-0.44), 좌절시 Bending moment (대맥 r=0.40-0.41, 소맥 r=0.38-0.49), 단면 2차 moment (대맥 r=0.56-0.97, 소맥 r=0.0.28-0.28), 단면계수(소맥 r=0.22-0.96)와는 정의 높은 상관이 있었고, 간벽후와 물리적특성과도 정의 상관을 보였다. 6. 간장은 포장도복과는 품종군에 따라서는 정의 상관은 보이나, 간의 강도를 고려한다면 내도복저항성품종 선발의 지표로서 이용하기는 어려울 것으로 보인다. 7. 대소맥의 많은 품종의 내도복성 정도를 분류한 결과, 한국품종중 대맥은 내도복저항성품종이 많고, 대맥은 내도복성인 품종의 분포가 대맥보다 적었으나, 일본품종들을 대소맥 모두 내도복저항성인 품종이 많았다. 8. 내도복저항성인 품종의 선발을 위하여는 도복지수가 대맥 1.67 소맥 1.76 정도 이하인 것은 고도의 저항성이 있었다.

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