• 제목/요약/키워드: $^{111}In$

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Al 박막의 underlayer로서의 Ionized Physical Vapor Deposition (I-PVD) Ti 또는 I-PVD Ti/Metal-Organic Chemical Vapor Deposition TiN (Ti Prepared by ionized physical vapor deposition (I-PVD) and TiN prepared by metal-organic chemical vapor deposition(MOCVD) as underlayers of aluminum TiN)

  • 이원준;나사균
    • 한국진공학회지
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    • 제9권4호
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    • pp.394-399
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    • 2000
  • Underlayer의 종류 및 두께가 Al 박막의 texture 및 면저항 변화에 미치는 영향을 연구하였다. Al의 underlayer로는 ionized physical vapor deposition(I-PVD)에 의해 제조된 Ti와 I-PVD Ti 위에 metalorganic chemical vapor deposition(MOCVD)에 의해 제조된 TiN을 적층한 구조가 사용되었으며, 각각에 대해 두께를 변화시키면서 Al 박막의 배향성, 면저항을 조사하고, $400^{\circ}C$, $N_2$분리기에서 열처리하면서 면저항의 변화를 조사하였다. I-PVD Ti만을 Al의 underlayer로 사용한 경우, Ti두께가 5 nm이어도 Al 박막이 우수한 <111> 배향성을 나타내었으나, Al-Ti반응 때문에 열처리 후 Al 배선의 면저항이 크게 상승하였다. I-PVD 와 Al 사이에 MOCVD TiN을 적용함에 의해 Al <111> 배향성의 큰 저하없이 Al-Ti 반응에 의한 면저항의 증가를 억제할 수 있었으며, MOCVD TiN의 두께가 4 nm 이하일 때 특히 우수한 Al <111> 배향성을 나타내었다.

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C49 $TiSi_2$상의 에피구조 및 상안정성 (Phase stability and epitaxy of C49 $TiSi_2$ on Si(111))

  • 전형탁
    • 한국재료학회지
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    • 제4권2호
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    • pp.136-142
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    • 1994
  • 초청장 Si(111)기탄상에 초고진공 챔버에서 Ti을 증착하여 $TiSi_{2}$를 에피층으로 성장시켰다. 재구성된 (reconstructed) Di(111)표면에 상온에서 50$\AA$ 두께의 Ti을 증착한 후 $100^{\circ}C$간격으로 $800^{\circ}C$까지 열처리 하였다. $TiSi_{2}$박막의 구조는 전자회절 패턴 분석을 통하여 준안정상인 C49상임을 확인하였다. SEM 사진은 세가지 형태의 island를 보이고 있다. 각 island 는 단결정이며 그 구조는 서로 다른 결정학적 방향을 갖는 에피구조이다. 이러한 TiSi$_{2}$ island[112]C49 TiSi$_{2}$/[110]Si, (021) C49 $TiSi_{2}$/(111)Si의 방향관계를 가지고 있다.

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RESPONSES OF DAMPED HARMONIC OSCILLATORS TO EXCITATIONS OBEYING POISSON DISTRIBUTIONS

  • Lee, Hyoung-In;Mok, Jinsik
    • Journal of applied mathematics & informatics
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    • 제31권1_2호
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    • pp.111-118
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    • 2013
  • External excitations are employed to investigate properties of optical media, with measurement data often analyzed via linear response theory. In this respect, external forcing is modeled here by well-known Poisson and negative-binomial distributions. Ensuing dynamics is examined with a special attention to the relative decay rates of damped harmonic oscillators to such external forcing, along with its relationship to other physical phenomena.

A Study of the Formation Process of the Fabric Drapes

  • Mizutani, Chiyomi;Baba, Takeichirou;Amano, Toshihiko
    • 한국섬유공학회:학술대회논문집
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    • 한국섬유공학회 2003년도 The Korea-Japan Joint Symposium
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    • pp.111-111
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    • 2003
  • In our experiments using a new apparatus, the drape formation process was found to consist of three stages, seeds generation, their development and the final stabilizing stages. A new parameter R evaluating the shape of the drape was defined in terms of the vertical projection of the drape. Both drape coefficient and R-parameter are expected to be useful for analyzing the formation process of the fabric drape quantitatively.

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THE COMBINATION OF MICRONUCLEUS ASSAY AND FISH TECHNIQUE FOR THE EVALUATION OF GENOTOXICITY OF 1, 2, 4-BENZENETRIOL

  • Chung, Hai-Won;Kang, Su-Jin;Kim, Su-Young
    • 한국독성학회:학술대회논문집
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    • 한국독성학회 2001년도 International Symposium on Signal transduction in Toxicology
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    • pp.111-111
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    • 2001
  • The cytokinesis-block micronucleus assay have been emerged as one of the preferred method for assessing chromosome damage. Micronucleus are small, extranuclear bodies that are formed in mitosis from acentric chromosomal fragments or chromosome that are not included in each daughter nuclei.(omitted)

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REAL n-DIMENSIONAL QR-SUBMANIFOLDS OF MAXIMAL QR-DIMENSION IMMERSED IN QP(n+p)/4

  • Kim, Hyang-Sook;Kwon, Jung-Hwan;Pak, Jin-Suk
    • 대한수학회논문집
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    • 제24권1호
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    • pp.111-125
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    • 2009
  • The purpose of this paper is to study n-dimensional QR-submanifolds of (p-1) QR-dimension immersed in a quaternionic projective space $QP^{(n+p)/4}$ of constant Q-sectional curvature 4 and especially to determine such submanifolds under the additional condition concerning with shape operator.