Fabrication of Single Crystal Silicon Micro-Tensile Test Specimens and Thin Film Aluminum Markers for Measuring Tensile Strain Using MEMS Processes |
박준식
(전자부품연구원 나노메카트로닉스 연구센터)
전창성 (전자부품연구원 나노메카트로닉스 연구센) 박광범 (전자부품연구원 나노메카트로닉스 연구센) 윤대원 (전자부품연구원 나노메카트로닉스 연구센) 이형욱 (한국생산기술연구원 생산공정기술본) 이낙규 (한국생산기술연구원 생산공정기술본) 이상목 (한국생산기술연구원 생산공정기술본) 나경환 (한국생산기술연구원 생산공정기술본) 최현석 (한양대학교 기계공학과) |
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A new technique for measuring the mechanical properties of thin films
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DOI ScienceOn |
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Micro tensile-test system fabricated on a single crystal silicon chip
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Mechanical characterization of sub-micrometer DLC films by AFM tensile testing for surface modification in MEMS
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Applications of the interferometric strain /displacement gage
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Measurements of mechanical properties of microfabricated thin films
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Specimen size effect on tensile strength of surface -micromachined polycrystalline silicon thin films
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DOI ScienceOn |