Browse > Article

반도체용 세라믹 히터의 산업 및 기술 동향  

An, Deok-Won ((주)미코, 기술연구소)
Park, Myeong-Ha ((주)미코, 기술연구소)
Publication Information
Ceramist / v.20, no.4, 2017 , pp. 6-14 More about this Journal
Keywords
Citations & Related Records
Times Cited By KSCI : 1  (Citation Analysis)
연도 인용수 순위
1 "세계반도체 장비산업 현황 및 산업발전을 위한 제언", 한국산업기술평가관리원 (2015)
2 "반도체 장비", 한국과학기술정보연구원
3 "반도체산업의 수급구조 변화와 발전과제", 한국무역보험공사 (2014).
4 이종희, "한국 반도체산업 발전과정과 장비산업 경쟁력 분석", 경기대학교 (2012)
5 "중소기업기술로드맵", 중소기업청 (2013).
6 임흥주, "CVD/ALD 기술의 소개 및 시장 동향", (주)IPS
7 "반도체 공정변화", 메리츠종금증권, (2013)
8 "반도체 산업", NH투자증권 (2015).
9 이성민, 김도경, "반도체 산업용 AlN 소재 개발," 세라미스트 12[1] 18-25 (2009).
10 이성민, 오윤석, 김대민, "엔진니어링 세라믹 소재의 내플라즈마성 및 식각기구," 세라미스트 15[5] 47-55 (2012).
11 S. A. Jang and G.M. Choi, "Electrical Conduction in Aluminum Nitride," J. Am. Ceram. Soc. 76[4] 957-60 (1993).   DOI
12 J. Iwasawa, R. Nishimizu, M. Tokita, M. Kiyohara and K. Uematsu, "Plasma-Resistant Dense Yttrium Oxide Film Prepared by Aerosol Deposition Process," J. Am. Ceram. Soc. 90[8] 2327-32 (2007).   DOI
13 D.M. Kim, S. Y. Yoon, K. B. Kim, H. S. Kim, Y. S. Oh, and S. M. Lee, "Plasma Resistance of Yttria Deposition by EB-PVD Method(in Korea)," J. Kor. Ceram. Soc. 45[11] 707-12 (2008)   DOI