Characteristics of IGZO Films Formed by Room Temperature with Thermal Annealing Temperature |
Lee, Seok-Ryeol
(LG Display Laboratory)
Lee, Kyong-Taik (LG Display Laboratory) Kim, Jae-Yeal (LG Display Laboratory) Yang, Myoung-Su (LG Display Laboratory) Kang, In-Byeong (LG Display Laboratory) Lee, Ho-Seong (School of Materials Science and Engineering, Kyungpook National University) |
1 | M. R. Moon, S. W. Na. et al., Surf. Interface Anal, 44 (2012) 1431. DOI ScienceOn |
2 | D. H. Kang, H. Lim. et al., Appl. Phys. Lett. 90 (2007) 192101. DOI ScienceOn |
3 | H. Hosono., J. Non-cryst. Solids., 532 (2006) 851. |
4 | K. Nomura, A. Takagi. et al., Jpn. J. Appl. Phys., 45 (2006) 4303. DOI |
5 | W. T. Chen, S. Y. Lo. et al., IEEE Electron Dev. Lett., 32 (2011) 1552. DOI ScienceOn |
6 | J. S. Park, J. K. Jeong. et al., Appl. Phys. Lett., 92 (2008) 072104. DOI ScienceOn |
7 | K. Ide, Y. Kikuchi. et al., Thin Solid Films, 520 (2012) 3787. DOI ScienceOn |
8 | S. H. Bae, I. H. Yoo. et al., J. Kor. Ceram. Soc. 47 (2010) 329. DOI |
9 | C. C. Lo, T. E. Hsieh. et al., ESC Transactions. 28 (2010) 131. |
10 | D. H. Tahir, E, K. Lee. et al., Surf. Interface Anal, 42 (2010) 906. DOI ScienceOn |
11 | Y. S. Lee, Z. M. Dai. et al., Ceramics International 385 (2012) S595. |
12 | C. H. Wu, K. M. Chang. et al., ECS Transactions 45 (2012) 189. |
13 | M. S. Kim, D. Y. Kim. et al., J. KIEEME 23 (2010) 961 |
14 | H. S. Jeon, S. W. Na, et al., J. Electrochem. Soc., 158 (2011) 158. |
15 | M. J. Gader, T. L. Alford. et al., Appl. Phys. Lett., 99 (2011) 051901. DOI ScienceOn |
16 | T. T. Trinh, V. D. Nguyen. et al., Semicond. Sci. Technol. 26 (2011) 085012. DOI ScienceOn |
17 | B. D. Ahn, H. S. Shin. et al., Jpn. J. Appl. Phys., 48 (2009) 03B019. |
18 | H. S. Shin, B. D. Ahn. et al., J. Inform. Display, 12 (2011) 209. DOI |
19 | H. Yabuta, M. Sano. et al., Appl. Phys. Lett., 89 (2006) 112123. DOI ScienceOn |