The Effect of Sputtering Process Variables on the Properties of Pd Alloy Hydrogen Separation Membranes
![]() |
Han, Jae-Yun
(Department of Advanced Materials Engineering, Kyonggi University)
Joo, Sae-Rom (Department of SDM (Semiconductor Display Mechatronics), Kyonggi University) Lee, Jun-Hyong (Department of SDM (Semiconductor Display Mechatronics), Kyonggi University) Park, Dong-Gun (Research Technology Center, Umicore) Kim, Dong-Won (Department of Advanced Materials Engineering, Kyonggi University) |
1 | D. Wang, J. Tong, H. Xu, Y. Matsumara, Catal. Today, 93 (2004) 689. |
2 | D. G. Park, H. J. Kim, J. H. Kim, D. W. Kim, J. Kor. Inst. Surf. Eng., 45(4) (2012) 248. DOI ScienceOn |
3 | H.-B. Zhao, G.-X. Xing, G. V. Baron, Catal. Today, 56 (2000) 89. DOI ScienceOn |
4 | J. A. Thornton, J. Vac. Sci. Technol., 11 (1974) 666. DOI |
5 | R. Messier, A. P. Girl, R. A. Roy, J. Vac. Sci. Technol., A2 (1984) 500. |
6 | D. W. Kim, Y. J. Park, B. I. Woo, S. M. Kang, J. S. Park, Jpn. J. Appl. Phys. 40 (2010) 018003. |
7 | S. Uemiya, N. Sato, H. Ando, T. Matsuda, E. Kikuchi, Appl. Catal., 67 (1990) 223. DOI ScienceOn |
8 | J. C. Amphlett, K. A. M. Cerber, J. M. Davis, R. F. Mann, B. A. Peppley, O. M. Stokes, Int. J. Hydrogen Energy, 19 (1994) 131. DOI ScienceOn |
9 | K. A. Petersen, C. S. Nielsen, S. L. Jorgensen, Membrane Reforming for Hydrogen, Catal. Today 46 (1998) 193. DOI ScienceOn |
10 | Y. S. Cheng, K. L. Yeung, J. Membr. Sci., 158 (1999) 127. DOI ScienceOn |
11 | O. Hatlevik, S. K. Gade, M. K. Keeling, P. M. Thoen, J. D. Way, Sep. Purif. Technol., 73 (2010) 59. DOI ScienceOn |
12 | H. T. Hoang, H. D. Tong, F. C. Gielens, H. V. Jansen, M. C. Elwenspoek, Mat. Let., 58 (2004) 525. DOI ScienceOn |
13 | S. E. Nam, K. H. Lee, J. Membr. Sci., 170 (2000) 91. DOI ScienceOn |
14 | R. Bhandari, Y. H. Ma, J. Membr. Sci., 334 (2009) 50. DOI ScienceOn |
15 | C. S. Jun, K. H. J. Membr. Sci., 176 (2000) 121. DOI ScienceOn |
16 | G. Xomeritakis, Y. S. Lin, J. Membr. Sci., 133 (1997) 217. DOI ScienceOn |
17 | H. Gao, Y. S. Lin, Y. Li, B. Zhang, J. Membr. Sci., 265 (2005) 142. DOI ScienceOn |
18 | B. I. Woo, D. W. Kim, Kor. Inst. Surf. Eng., 42(5) (2009) 232. DOI ScienceOn |
19 | D. W. Kim, Y. J. Park, J. W. Moon, S. K. Ryi, J. S. Park, Thin Solid Films, 516 (2008) 3036. DOI ScienceOn |
20 | S. K. Ryi, J. S. Park, S. H. Kim, S. H. Cho, D. W. Kim, K. Y. Um, Sep. Purif. Technol., 50 (2006) 82. DOI ScienceOn |
21 | S. K. Ryi, J. S. Park, K. R. Hwang, C. B. Lee, S. W. Lee, Int. J. Hydrogen Energy, 34 (2011) 113776. |
22 | S. K. Ryi, J. S. Park, S. H. Kim, S. H. Cho, J. S. Park, D. W. Kim., J. Membr. Sci., 279 (2006) 439. DOI ScienceOn |
![]() |