1 |
E. Meeks, P. Ho, Thin Solid Films, 365 (2000) 334.
DOI
ScienceOn
|
2 |
D. C. Kwon, N. S. Yoon, J. H. Hahn, J. W. Shon, Cur. Appl. Phys., 9 (2009) 546.
DOI
ScienceOn
|
3 |
W. G. Lee, D. C. Kwon, N .S. Yoon, J. Kor. Vac. Soc., 18 (2009) 426.
DOI
ScienceOn
|
4 |
D. Bose, T. R. Govindan, M. Meyyappan, J. Elec. Soc., 146 (1999) 2705.
DOI
|
5 |
J. Joo, J. Kor. Vac. Sci., 18(3) (2009) 164.
|
6 |
E. Keiter, M. Kushner, IEEE Trans Plasma Sci., 27(2) (1999) 62.
DOI
ScienceOn
|
7 |
E. Meeks, R. S. Larson, P. Ho, Chris Apblett, S. Han, E. Edelberg, E. Adyl, J. Vac. Sci. A, 16 (1998) 544.
|