1 |
Y. H. Jung, E. S. Lee, K. H. Kim, J. Kor. Inst. Surf. Eng., 38 (2005) 150.
|
2 |
Z. C. Jin, I. Harmberg, C. G. Granqvist, Thin Solid Films, 64 (1988) 381.
|
3 |
P. K. Song, Y. Shigesato, I. Yasui, D. C. Paine, Jpn. J. Appl. Phys., 37 (1998) 1870.
DOI
|
4 |
J. E. A. van den Meerakker, P. C. Baarslag, W. Walrave, T. J. Vink, Thin Solid Films, 266 (1995) 152.
DOI
ScienceOn
|
5 |
E. Nishimura, M. Ando, K. Onisawa, Jpn. J. Appl. Phys., 35 (1996) 2788.
DOI
|
6 |
D. C. Paine, T. Whitson, D. Janiac, Jpn. J. Appl. Phy., 85 (1999) 8445.
DOI
|
7 |
P. K. Song, H. Akao, M. Kamei, Y. Shigesato, Jpn. J. Appl. Phys., 38 (1999) 5224.
DOI
|
8 |
S. I. Kim, S. H. Cho, P. K. Song, J. Kor. Phys. Soc., 54 (2009) 1297.
DOI
|
9 |
Y. M. Kang, S. H. Kwon, J. H. Choi, Y. J. Cho, P. K. Song, Thin Solid Films, 518 (2010) 3081.
DOI
|
10 |
D. Y. Lee, J. R. Lee, P. K. Song, Surf. Coat.
Technol., 202 (2008) 5718.
DOI
|
11 |
T. S. Kim, C. H. Choi, T. S. Jeong and K. H. Shim, J. Kor. Phys. Soc., 51 (2004) 534.
|
12 |
C. Guillen, J. Herrero, Vacuum, 80 (2006) 615.
DOI
ScienceOn
|
13 |
Y. Shigesato, D. C. Paine, Appl. Phys. Lett., 62 (1993) 1268.
DOI
|