1 |
N. Savvides, J. Appl. Phys., 59 (1986) 4133
DOI
|
2 |
J. A. Thornton, A. S. Perfold, Thin Film Process, edited by J.L. Vossen and W. Kern, Academic Press, (1978) 75
|
3 |
W. D. Sproul, M. E. Graham, M. S. Wong, P. J. Rudnik, Surf. Coat. Technol., 61 (1993) 139
DOI
ScienceOn
|
4 |
김미선, 홍성필, 김현구, 한국표면공학회 추계학술발표회 초록집, (2007) 164
|
5 |
B. A. Banks, S. K. Rutledge, J. Vac. Sci. Technol., 21 (1982) 807
DOI
|
6 |
W. D. Davis, H. C. Miller, J. Appl. Phys., 40 (1969) 2212
DOI
|
7 |
J. A. Thornton, J. Vac. Sci. Technol., 46 (1997) 267
|
8 |
S. Schiller, U. Heisig, K. Goedicke, Thin Solid Films, 40 (1977) 327
DOI
ScienceOn
|
9 |
G. J. Vadentop, M. Kawasaki, K. Kobayashi, G. A. Somorjai, J. Vac. Sci. Technol., A9 (1991) 1157
|
10 |
W. D. Munz, Surf. Coat. Technol., 48 (1991) 81
DOI
ScienceOn
|
11 |
C. B. Collins, F. Davanloo, E. M. Juengerman, W. R. Osborn, D. R. Jander, Appl. Phys. Lett., 54 (1989) 216
DOI
|