1 |
S. Kondo, K. Nanbu, J. Phys. D, 32 (1999) 1142
DOI
ScienceOn
|
2 |
T. A. van der Straaten, N. F. Cramer, I. S. Falconer, B. W. James, J. Phys. D 31 (1998) 177
DOI
ScienceOn
|
3 |
T. E. Sheridan, M. J. Goeckner, J. Goree, J. Vac. Sci. Technol., A 8 (1990) 30
DOI
|
4 |
T. A. van der Straaten, N. F. Cramer, I. S. Falconer, B. W. James, J. Phys. D 31 (1998) 191
DOI
ScienceOn
|
5 |
김곤호, 양성채, 플라즈마 일렉트로닉스, 교학사, 2006, p142
|
6 |
Sultana N. Nahar and J. M. Wadehra, Phy. Rev A, 35 (1987) 2051
DOI
|
7 |
양원균, 주정훈, 한국표면공학회지 40 (2007) 209
과학기술학회마을
DOI
|
8 |
M.-H. Lee, H.-C. Lee, C.-W. Chung, Appl. Phys. Lett, 91 (2007) 221505
DOI
ScienceOn
|
9 |
R. D. Arnell, P. J. Kelly, J. W. Bradley, Surf. Coat. Technol, 188-189 (2004) 158
DOI
ScienceOn
|
10 |
P. J. Kelly, P. S. Henderson, R. D. Arnell, J. Vac. Sci. Technol., A 18 (2000) 2890
DOI
ScienceOn
|