The Comparison to Physical Properties of Large Size Indium Zinc Oxide Transparent Conductive Layer |
Joung, Dae-Young
(Samsung Electronics, Co., Ltd., LCD Business, R&D Center)
Lee, Young-Joon (Samsung Electronics, Co., Ltd., LCD Business, R&D Center) Park, Joon-Yong (Samsung Electronics, Co., Ltd., LCD Business, TFT 3 Part(Mobile)) Yi, Jun-Sin (SungKyunKwan University, School of Information & Communication Engineering, Information & Communication Device Lab.) |
1 | T. C. Gorjanc, D. Leong, C. Py, D. Roth, Thin Solid Films, 413 (2002) 181 DOI ScienceOn |
2 | C. Y. Choe, D. Y. Ma, W. D. Park, G. M. Choe, K. W. Kim, Basic of Thin Film Technology, p. 173,188, Iljin, Seoul, (2001) 310 |
3 | C. H. Park, H. J. Lee, H. B. Kim, D. H. Kim, G. H. Lee, J. Kor. Inst. Surf. Eng., 38(5) (2005) 188 |
4 | H. M. Kim, S. K. Jeung, J. S. Ahn, Y. J. Kang, C. K. Je, Jpn. J. Appl. Phys., 42 (2003) 1 DOI |
5 | H. N. Cho, Yue Long Li, S. R. Min, C. W. Chung, J. Korean Ind. Eng. Chem., 17(6) (2006) 644 |
6 | J. Tashiro, A. Sasaki, S. Akiba, S. Satoh, T. Watanabe, H. Funakubo, M. Yoshimot, Thin Solid Films, 415, 272 (2002) DOI ScienceOn |
7 | K. Noda, H. Sato, H. Itaya, M. Yamada, Jpn. J. Appl. Phys., 42 (2003) 1 DOI |
8 | D. Vaufrey, M. B. Khalifa, M. P. Besland, J. Tardy, C. Sandu, M. G. Blanchin, J. A. Roger, Materials Science and Engineering, C21 (2002) 265 |
9 | K. H. Kim, S. H. Park, J. J. Kim, H. M. Kim, Saemuli, 46(4) (2003) 213 |
10 | J. S. Hong, J. K. Yoon, B. R. Rhee, S. H. Park, J. J. Kim, H. M. Kim, Sae Mulli, 48(4) (2004) 339 |
11 | S. H. Park, H. M. Kim, B. R. Rhee, E. Y. Gho, Jpn. J. Appl. Phys., 40 (2001) 1429 DOI |
12 | A. Kaijou, M. Ohyama, M. Shibata, K. Inoue, U. S. Patent No. 5, 972,527 (1999) |
13 | B. Shin, C. W. Chung, J. Korean Ind. Eng. Chem., 15(3) (2004) 300 |
14 | F. Zhu, K. Zhang, B. L. Low, S. F. Lim, S. J. Chua, Materials Science and Engineering, B85 (2001) 114 |
15 | A. C. Arias, L. S. Roman, T. Kugler, R. Toniolo, M. S. Meruvia, I. A. Hummelgen, Thin Solid Film, 371 (2000) 201 DOI ScienceOn |