1 |
Nosang V. Myung, D.-Y. Park, B.-Y. Yoo, Paulo T. A. Sumodjo, J. Mag. Mag. Materials, 265 (2003) 189
DOI
ScienceOn
|
2 |
L. S. Stephens, K. W. Kelly, S. S. Simhadri, A. B. McCandless, E. I. Meletis, J. Microelectromechan. Syst., 10 (2001) 347
DOI
ScienceOn
|
3 |
T. Itoh, K. Kataoka, T. Suga, Sens. Actuators A, 97-98 (2002) 462-467
DOI
ScienceOn
|
4 |
K. C. Chan, W. K. Chan, N. S. Qu, J. Mater. Proc. Technol., 89-90 (1999) 447
DOI
ScienceOn
|
5 |
C. N. Chinnasamy, A. Narayanasamy, N. Ponpandian, K. Chat-topadhyay, M. Saravanakumar, Mater. Sci. Eng., A304-306 (2001) 408
|
6 |
K. P. Wong, K. C. Chan, T. M. Yue, Surf. Coat. Technol., 115 (1999) 132
DOI
ScienceOn
|
7 |
H. Majjad, S. Basrour, P. Delobelle, M. Schmidt, Sensors & Actuators, 74 (1999) 148
DOI
ScienceOn
|
8 |
D. L. Grimmett, Ph.D. Thesis, University of California Los Angeles, Los Angeles, California, U.S.A. (1998)
|
9 |
Y.-M. Yeh, G. C. Tu, T.-H. Fang, J. Alloys. Comp., 372 (2004) 224
DOI
ScienceOn
|
10 |
D. J. Nagel, M. E. Zaghloul, IEEE Circuit Dev., 17 (2001) 14
|
11 |
C. Cheung, G. Palumbo, U. Erb, Scripta Metall. et Mater., 31 (1994) 735
DOI
ScienceOn
|
12 |
S. P. Backstrom, C. Riekel, S. Abel, H. Lehr, H. R. Wenk, J. Appl. Cryst., 29 (1996) 118
DOI
|
13 |
H. Q. Li, F. Ebrahimi, Acta Materialia, 51 (2003) 3905
DOI
ScienceOn
|
14 |
G. G. Stoney, Proc. R. Soc. London A, 82 (1909) 172
DOI
|
15 |
F. E. Rasmussen, J. T. Ravnkilde, P. T. Tang, O. Hansen, S. Bouwstra, Sens. Actuators A, 92 (2001) 242
DOI
ScienceOn
|
16 |
K. Kataoka, S. Kawamura, T. Itoh, K. Ishikawa, H. Honma, T. Suga, Sens. Actuators A, 103 (2003) 116
DOI
ScienceOn
|
17 |
S. D. Leith, D. T. Schwartz, J. Microelectromechan Syst., 8 (1999) 384
DOI
ScienceOn
|
18 |
M. C. Chou, H. Yang, S. H. Yeh, Microsyst. Technol., 7 (2001) 36
DOI
ScienceOn
|
19 |
S. Roth, L. Dellman, G. A. Racine, N. F. Derooji, J. Micromech. Microeng., 9 (1999) 105
DOI
ScienceOn
|
20 |
J. Tabakovic, S. Riemer, V. Inturi, P. Jallen, A. Thayer, J. Electrochem. Soc., 147 (2000) 219
DOI
ScienceOn
|
21 |
A. M. EI-Sheruk, J. Shirokoff, U. Erb, J. Alloys. Comp., 389 (2005) 140
DOI
ScienceOn
|
22 |
Y. N. Sadana, Z. H. Zhang, Surf. Coat. Technol., 38 (1989) 299
DOI
ScienceOn
|