Enhancement of HF Gas Removal Efficiency of a Scrubber in Semiconductor Manufacturing Process by using ANCOVA Technique
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Kim, S.J.
(경희대학교)
Lee, M. (경희대학교) Xu, J. (경희대학교) Lim, S. (삼성엔지니어링) Lee, H. (삼성엔지니어링) Koo, J. (경희대학교 기계공학과) |
1 | 대기환경보전법, 법률 제11445호, 환경부. |
2 | H. Chein, S. G. Aggarwal and H. Wu, "Efficient control system for low-concentration inorganic gases from a process vent stream : Application of surfactants in spray and packed columns," Environmental Science & Technology. Technol., Vol. 38, No. 21, pp. 5766-5772. |
3 | 한방우, 김학준, 김용진, 한경수, "충진제의 종류에 따른 습식 스크러버의 가스상 물질 제거특성", 한국대기환경학회지, 23권, 6호, pp. 744-751. |
4 | E. Smet, P. Lens and H. Van Langenhove, "Treatment of waste gases contaminated with odorous sulfur compound," Critical Review in Environmental Science and Technology, Vol. 28, No. 1, pp. 89-117. |
5 | 유성연, 송 준, 권화길, 김광영, "분무형 공기정화시스템의 가스제거성능에 관한 연구", 대한설비공학회 2001 동계학술발표회 논문집 pp. 622-627. |
6 | 박영규, 김정인, "습식세정탑 내 악취가스 제거를 위한 복합흡수제의 효율 특성", 공업화학, 22권, 1호, pp. 48-55. |
7 | 이승일, 조기철, 신찬기, "배가스 중 NOx 및 SOx 제거용 자성유체 스크러버의 개발", 환경관리학회지, 5권, 2호, pp. 429-436. |
8 | 신찬기, 권명희, 전종수, 신대윤, "활성탄 사용에 따른 습식세정시설에서의 대기오염불질 제거효율 평가", 대한위생학회지, 18권, 2호, pp. 87-93. |
9 | H. Chein, S. Aggarwal, H, Wu, T. Chen and C. Huang, "Field Enhancements of Packed-bed Performance for low-concentration Acidic and Basic-Waste Gases from Semiconductor manufacturing Process", J. Air & Waste Mange. Assoc. Vol. 55, pp. 647-657. |
10 | J. P. Gerard and G. J. van Breukelen, "ANCOVA versus change from baseline had more power in randomized studies and more bias in nonrandomized studies", Journal of Clinical Epidemiology, Vol. 59, pp. 920-925. |
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