Evaluation of the Impact Force on the Single Spray and Overlap Region of Twin Spray in Full Cone Type Swirl Nozzle |
Kim, T.H.
(부산대학교 기계공학부 대학원)
Sung,, Y.M. (부산대학교 기계공학부 대학원) Jeong, H.C. (부산대학교 기계공학부 대학원) Kim, D.J. (부산대학교 기계기술연구원) Choi, G.M. (부산대학교 기계공학부) |
1 | 정지원, 차건종, 김덕줄, "이중분무의 중첩영 역과 단일분무에서 액적의 거동 특성", 대 한기계학회논문집 B권, Vol. 24, No. 10, pp. 1300-1308, 2000. |
2 | 정지원, 김덕줄, "미세 가공 시스템에서 분무 특성이 에칭특서엥 미치는 영향에 관한 연 구," 대한기계학회논문집 B권, Vol. 28, No. 1, pp. 109-117, 2004. |
3 | 정홍철, 김동욱, 최경민, 김덕줄, "산업용 에칭노즐을 이용한 Invar합금판의 식각에 분사 각과 압력이 미치는 영향", 한국정밀공학회 지, Vol. 23, No. 8, pp. 47-53, 2006. |
4 | K. Abate, "Photochemical etching of metals", Metal Finishing, Vol. 98, No, 6, pp. 414-417, 2000. DOI |
5 | K. B. Sundarama, R. E. Sah, H. Baumann, K. Bal-achandran and R. M, Todi, "Wet etching studies of silicon nitride thin films deposited by electron cyclotron resonance (ECR) plasma enhanced chemical vapor deposition", Microelectronic Engineering, Vol. 70, pp. 109-114, 2003, DOI |
6 | D. M. Allen, "The principles and practice of photo chemical machining and photoetching", Adam Hilger, Bristol, 1986. |
7 | H. Takei, H. Kawamura and Y. Ohta, "Developement of a new HDP source for LCD etching process", Society for Information Display 98 DIGEST, 1998. |
8 | 김영진, 정지원, 최경민, 김덕줄, "노즐의 스월 러각과 형상비가 이중분무의 평균속도와 입 경의 크기에 미치는 영향", 대한기계학회논 문집 B권, Vol. 28, No. 11, pp. 1459-1466, 2004. |
9 | 조대진, 윤석주, 최태민, "이중분무 교차영역 에서의 액적유동특성의 통계학적 분석에 관 한 연구", 대한기계학회논문집, Vol. 28, No. 3, pp. 635-644, 1994. |
10 | 정지원, 김영진, 김덕줄, "이중분무에서 분무 특성과 에칭특성의 상호관계", 대한기계학회 논문집 B권, Vol. 28, No. 4, pp. 449-455, 2004. |
11 | 정영호, 김호영, 이동조, "스월 노즐의 구조 변화가 분무 특성에 미치는 영향", 제 38회 KOSCO SYMPOSIUM 논문집, 2009, pp. 95-100. |
12 | 정지원, 김덕줄, "습식 에칭공정에서 노즐 형 상에 따른 분무특성 분석을 통한 에칭특성의 향상에 관한 연구", 대한기계학회논문집 B권, Vol. 28, No. 7, pp. 842-849. 2004. |
13 | A. J. Yule and I. R. Widger, "Swirl atomizers operating at high water pressure", International Journal of Mechanical Sciences, Vol. 38, No. 8-9, pp. 981-999, 1996. DOI |