1 |
C. Schaefer and J. Szczyrbowski : Surf. Coat. Technol., 93 (1997) 37.
DOI
|
2 |
S. Park, K. S. Lee and A. S. Reddy : Solid State Sci., 13 (2011) 1984.
DOI
|
3 |
유호탁 : 열적안정성이 우수한 저방사 다층박막의 전기광학적 특성연구, 공주대학교 석사학위논문 (2014).
|
4 |
R. C. Ross : Solar Energy Mater., 21 (1990) 25.
DOI
|
5 |
S. Kim, J. Jeon and D. Kim : J. Kor. Soc. Heat Treat., 28 (2015) 63.
DOI
|
6 |
H. Tang, K. Prasad and F. Levy : J. Appl. Phys., 75 (1994) 2042.
DOI
|
7 |
홍현주 : RF 마그네트론 스퍼터에 의한 박막의 특성연구, 울산대학교 석사학위논문 (2007).
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8 |
이학민 : Co-sputter로 제작된 IGZO 박막특성과 진공열처리에 따른 특성변화, 울산대학교 석사학위논문 (2013).
|
9 |
S. Kim, S. Kim, S. Kim, J. Jeon and D. Kim : J. Kor. Inst. Surf. Eng., 47 (2014) 81.
DOI
|
10 |
G. B. Smith, G. A. Niklasson and C. G. Granqvist : J. Appl. Phys., 59 (1986) 581.
|
11 |
J. R. DeVore : J. Opt. Soc. Am., 41 (1951) 419.
DOI
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