Coupled flow-structure Analyses on the Roots Type Vacuum Pumps in Semiconductor Fabrication Facility
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Lee, Chan
(수원대학교)
Kil, Hyun Gwon (수원대학교) Kim, Gang Chun (수원대학교) Kim, Jun Gon (수원대학교) Sim, Jae Up ((주)엘오티베큠) Yoon, Il Joong ((주)엘오티베큠) |
1 | 황태성, 2008, "기초진공기술," 보문당. |
2 | 노명근, 황태경, 박제우, 2008, "스크류형 건식 진공펌프 기술 현황 및 응용," 학국진공학회지, 제17권 제4호, pp. 291-301. |
3 | 이상윤, 노명근, 김병옥, 이안성, 2010, "반도체/디스플레이 공정급 건식진공펌프 개발 개요," 한국진공학회지, 제19권 제4호, pp. 265-274. 과학기술학회마을 DOI ScienceOn |
4 | 이찬, 2012, "반도체 공정용 진공펌프계통해석 및 WH4400, WS1001의 유동/구조 해석," 엘오티베큠 최종보고서. |
5 | TEMAZ, www.fmclithium.com. |
6 | Monnier,d.m Nuta, I., chatillon, C., Gros-Jean, M. and Blanquet, E., 2009, "Gaseous Phase Study of the Zrorgano-Metallic ALD Precursor TEMAZ by Mass Spectrometry," Journal of Electochemical Society, Vol. 156, no. 1, pp. 71-75. |
7 | Fluent User's Guide, 1998. |
8 | 최봉수, 2009, "FLUENT Dynamic Mesh Method를 이용한 유압식 쇼크 업소버 해석," 유체기계저널, 제12권 제3호, pp. 75-78 과학기술학회마을 DOI ScienceOn |
9 | Kapil, S. and Jayesh, M., "Remeshing Stratege for the dynamic Mesh model in FLUENT," Fluent Inc. |
10 | Ashish, M. J., David I. B., James, D. F., John, A. L. and Joseph, C. M., 2006, "Clearance Analysis and Leakage Flow CFD Model of a Two-Lobe Multi-Recompression Heater," Internationl Journal of Rotating Machinert, Vol. 2006, Article ID 79084, pp. 1-10. |
11 | 이찬, 길현권, 노명근 2011, "루츠식 진공 펌프의 유동 및 부산물 입자 궤적에 대한 해석," 유체기계저널, 제14권 제5호, pp. 18-23. 과학기술학회마을 DOI ScienceOn |
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