Compensation of Systematic Error of Various Schemes for Measuring Pumping Speed

Standard devices and procedures for measuring the pumping speed, one of the most important parameters indicating the operation performance of the vacuum pump, have been developed and widely utilized. Though the standard system has a firm theoretical basis, it is, sometimes, inevitable to alter something in the system for a practical purpose compared with ideal conditions, which may lead to a large measurement error. In this paper, characteristics and systematic errors of various ideal or practical schemes for measuring the pumping speed are analyzed, and compensation terms are proposed.

진공펌프 배기속도 측정방식에 따른 구조적 오차 및 보정

진공펌프의 운전성능을 나타내는 가장 중요한 지표 중의 하나인 배기속도 측정에 관해서는 많은 연구를 통해 정립된 이론에 따라 표준장치와 측정절차에 대한 규격이 만들어지고 널리 활용되고 있다. 그러나 실제 펌프 배기속도 측정 시 이상적인 조건에 비해 변형이 불가피할 때가 있고 그 영향을 간과하면 큰 측정오차를 유발할 수 있다. 본 논문에서는 배기속도를 측정하기 위한 이상적인 또는 실용적인 다양한 방안들이 가지는 물리적 특징과 구조적 오차에 대해 분석하고 보정 식들을 제시했다.