Activation of Stripper Solution by Plasma and Hardness/Modulus of Elasticity Change of the Surface
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Kim, Soo-In
(Department of Nano & Electronic Physics, Kookmin University)
Kim, Hyun-Woo (Korea Science Academy) Noh, Seong-Cheol (Korea Science Academy) Yoon, Duk-Jin (Korea Science Academy) Chang, Hong-Jun (Korea Science Academy) Lee, Jong-Rim (Korea Science Academy) Lee, Chang-Woo (Department of Nano & Electronic Physics, Kookmin University) |
1 | 김수인, 이창우, 한국진공학회지 제17권 6호, 544(2008) DOI ScienceOn |
2 | 김재현, 이학주, 한승우, 최병익, 좌성훈, 이창승, 대한기계학회 춘계학술대회 논문집, 60(2005) |
3 | 김수인, 이창우, 한국진공학회지 제17권 2호, 113(2007) 과학기술학회마을 ScienceOn |
4 | 김봉섭, 윤존도, 신소재 연구, 14, 83(2002) |
5 | 고성현, 이대웅, 지상은, 박현철, 이건흥, 황운봉, 대한기계학회 춘계학술대회 논문집, 144(2004) |
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