1 |
M. Ohring, The Materials Science of Thin Films, Academic Press (1992)
|
2 |
J. H. Kim and P. H. Holloway, Appl. Phys. Lett. 84, 2070 (2004)
DOI
ScienceOn
|
3 |
L. E. Shea, R. K. Datta, and J. J. Brown, Jr., J. Electrochem. Soc. 141, 1950 (1994)
DOI
ScienceOn
|
4 |
J. M. Kim, W. B. Choi, N. S. Lee, and J. E. Jung, Diamond and Related Materials 3, 1184 (2000)
|
5 |
P. H. Holloway, T. A. Trottier, B. Abrams, C. Kondoleon, S. L. Jones, J. S. Sebastian, W. J. Thomes, and H. Swart, J. Vac. Sci. Technol. B 17, 758 (1999)
DOI
|
6 |
I. J. Hsieh, M. S. Feng, K. T. Kuo, and P. Lin, J. Electrochem. Soc. 141, 1617 (1994)
DOI
ScienceOn
|
7 |
Y. E. Lee, D. P. Norton, and J. D. Budai, Appl. Phys. Lett. 74, 3155 (1999)
DOI
|
8 |
T. Minami, Y. Kuroi, and S. Takata, J. Vac. Sci. Technol. A 14, 1736 (1996)
DOI
ScienceOn
|