RIE induced damage recovery on trench surface
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이주욱
(한국전자통신연구원 기반기술연구소)
김상기 (한국전자통신연구원 기반기술연구소) 배윤규 (한국전자통신연구원 기반기술연구소) 구진근 (한국전자통신연구원 기반기술연구소) |
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