The control of the structure and properties of tetrahedral amorphous carbon films prepared by Filtered Vacuum Arc |
이철승
(연세대학교 세라믹공학과)
신진국 (전자부품연구원 나노응용기술사업단) 김종국 (한국기계연구소 박막공정그룹) 이광렬 (한국과학기술연구원 미래기술연구본부) 윤기현 (연세대학교 세라믹 공학과) |
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