Tolerance analysis of Multi-Configurative Microscopic System for Inspecting the Wire-Bonding Status of Semiconductor Chips |
Ryu, Jae-Myung
(Optics & Digital Imaging Division, Samsung Techwin Co., LTD)
Kim, Jae-Bum (Optics & Digital Imaging Division, Samsung Techwin Co., LTD) Kang, Geon-Mo (Optics & Digital Imaging Division, Samsung Techwin Co., LTD) Jung, Jin-Ho (R&D center, Prooptics.) Baek, Seung-Sun (Dept. of Ocular Optics, Daejeon Health Sciences College2 dong) Jo, Jae-Heung (Dept. of Applied Optics and Electromagnetics, Hannam University) |
1 | 정진호, '줌 렌즈계의 근축설계와 궤적해석,' 경남대학교 박사학위논문(1994) |
2 | 전영세, 김형수, 이종웅, 박성찬, '등가렌즈를 이용한 2매 접합렌즈계의 설계,' 한국광학회지, 제9권 5호, pp. 282-290, 1998 |
3 | 이종웅, 김건수, '등가렌즈 변환의 일반화와 일반화된 등가렌즈의 3차수차식,' 한국광학회지, 제7권 4호, pp. 305-313, 1996 |
4 | P. L. Ruben, 'Aberrations Arising from Decentrations and Tilts,' JOSA 54(1), pp. 45-52 (1964) DOI |
5 | K. Yamaji, Design of Zoom Lenses, in Progress in optics VI, edited by E. Wolf(North-Holland, Amsterdam, 1971), Chap. 4 |
6 | 정진호, 정해빈, 이상수, '촛점거리, 뒷초점거리, 앞초점거리를 만족하는 근축광학적 렌즈설계,' 새물리 27(6), pp. 576-582, (1987) |
7 | 高野栄一, レンズデザインガイド(寫眞工業出版社, 日本, 1996), 2章 |
8 | P. Mouroulis and J. Macdonald, Geometrical Optics and Optical Design (Oxford University Press, New York, 1997), Chap. 7 |
9 | 이종웅, 박성찬, '렌즈군의 일반화된 등가렌즈 변환,' 한국광학회지, 제9권 4호, pp. 251-257, 1998 |
10 | M. Herzberger, Modern Geometrical Optics(Interscience Publisher, New York, 1958), Chap. 9 |
11 | 류재명, 조재흥, 임천석, 정진호, 전영세, 이강배, '줌 구조를 이용하여 물체거리가 변해도 상면과 배율이 고정되는 현미경 광학계의 설계,' 한국광학회지, 제14권 6호, pp. 613-622, 2003 |