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http://dx.doi.org/10.13067/JKIECS.2012.7.5.1073

Nonlinear Phenomena in MEMS Device  

Kim, Ju-Wan (전남대학교 대학원 전기 및 반도체공학과)
Koo, Young-Duk (한국과학기술정보연구원)
Bae, Young-Chul (전남대학교 전기.전자통신.컴퓨터 공학부)
Publication Information
The Journal of the Korea institute of electronic communication sciences / v.7, no.5, 2012 , pp. 1073-1078 More about this Journal
Abstract
In this paper, we propose the MEMS system with Duffing equation to confirm nonlinear features in MEMS system. We also analyze nonlinear phenomena when adding the nonlinear term of another type. As a verification, we confirm chaotic motion by parameter variation through the time series, phase portrait and power spectrum.
Keywords
Chaos; Nonlinear Dynamics; MEMS; vibration signal; Duffing equation;
Citations & Related Records
Times Cited By KSCI : 4  (Citation Analysis)
연도 인용수 순위
1 배영철, "Duffing 방정식을 가진 MEMS에서의 카오스 현상", 한국전자통신학회논문지, 6권, 5 호, pp. 709-716, 2011.
2 K. Shaw, Z. Zhang, and N. MacDonald, ""SCREAM I: A single mask, single crystal silicon process for microelectromechanical structures", MEMS''93, pp. 155-160, 1993.
3 박나연, 손철수, 김원중, "모바일 센서 네트워크에서 효율적인 노드 위치 결정", 한국전자통신학회논문지, 5권, 4호, pp. 391-398, 2010.
4 강희훈, 이영종, 한완옥, "유비쿼터스 센서 네트 워크를 위한 에너지-효율적인 계층 구조 클러스터 기반 라우팅 기법", 한국전자통신학회논문지, 4권, 3호, pp. 243-246, 2009.
5 손영우, 배영철, "하드웨어 구현에 의한 카오스 어트렉터 생성용 Chua 회로에 관한 연구", 한국전자통신학회논문지, 5권, 2호, pp. 158-163, 2010.
6 손영우, 배영철, "L 성분이 없는 간략화 CHUA 회로 구현에 관한 연구", 한국전자통신학회논문지, 5권, 1호, pp. 17-22, 2010.
7 G. Duffing, Erzwungene Schwingungen bei Veranderlicher Eigen Frequenz und ihre Technische Bedeutung, Vieweg, Brauschweig, 1918.
8 J. M. T. Thompson and H. B. Stewart, Nonlinear Dynamics and Chaos , John Wiley, Singapore, 1988.
9 M Lakshmanan, K Murali, "Chaos in Nonlinear oscillators", World scientific, 1995.
10 S. Parthasarathy and M. Lakshmanan, J. Sound Vib. Vol. 137, pp. 523-526, 1990.   DOI   ScienceOn
11 A. H. Nayfeh and D. T. Mook, Nonlinear Oscillations. John Wiley, New York, 1979.
12 J. Guckenheimer and P. Holmes, Nonlinear Oscillations, Dynamical Systems, and Bifurcations of Vector Fields. New York, NY: Springer-Verlag, 1983.
13 F. C. Moon and P. Holmes, ""A magnetoelastic strange attractor,"" J. Sound Vib., Vol. 65, No. 2, pp. 285-296, 1979.
14 B. Ando, S. Baglio, C. Trigona, N. Dumas, L. Latorre and P.Nouet, "Nonlinear mechanism in MEMS devices for energy harvestion application", J. Micromech. Microeng, Vol. 20, 125020, 2010.   DOI   ScienceOn
15 S. G. Adams, ""Design of electrostatic actuators to tune MEMS,"" Ph.D. dissertation, Cornell Univ., Ithaca, NY, May 1996.
16 Yongmei Cindy Wang, Scott G. Adams, James S. Thorp, Noel C. MacDonald, Pete Hartwell, and Fred Bertsch, "Chaos in MEMS, Parameter Estimation and Its Potential Application", IEEE. trans. Circuit and System, Vol. 45, No. 10, pp. 1013-1020, 1998.   DOI