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반도체 제조장치 및 공정의 최신 동향
반도체 제조장치 및 공정의 최신 동향
김두형
(한국기계연구원 지능형정밀기계연구부)
황경현
(한국기계연구원 지능형정밀기계연구부)
Publication Information
ICROS
/
v.11, no.1
, 2005 , pp. 54-60
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Frequency : Quarterly
Publisher : Institute of Control, Robotics and Systems
KISTI Subject :
SCOPUS Subject :
Computer Science (miscellaneous)
,
Control and Systems Engineering
Web of Science Subject :
Automation &control Systems
,
Robotics
Keywords
Citations & Related Records
연도
인용수
순위
Reference
1
SEMICON Japan 2004 전시회 자료
2
한국반도체 연구조합, '반도체 나노공정분야 기술동향집', 2004. 8
Reference
Cited By KSCI
Reference
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Cited By WoS
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Cited By SCOPUS