Contamination Control by UV in Giga-Grade Semiconductor Processes
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Yu, Gyeong-Hun
(한국생산기술연구원 에어로졸 필터연구실)
Kim, Yong-Jin (한국기계연구원 열유체시스템 연구부) |
| 1 | Fujii, T., Suzuki, T. and Sakamoto, K., '光觸媒とUV/光電子法によるガスと微粒子の同時除去,' 空氣淸淨, 제35권, 제3호, 日本空氣淸淨協會, pp. 51-58, 1997 |
| 2 | Yokoyama, S., et al., 'Effect of UV/Photoelectron and Photocatalyst Cleaning on the Reliability of Thin Gate Oxides,' Proc. of the 14th International Symposium on Contamination Control, pp. 210-214, 1998 |
| 3 | 藤井 敏昭 et al., 'クリ-ンル-ム環境における汚染物の制御,' クリ-ンテクノロジ一, 9月號, pp. 38-44 |
| 4 | 藤井 敏昭 et al., 'UV/光電子法による局所空簡の超淸淨化,' クリ-ンテクノロジ一, 7月號, pp. 63-67, 1995 |
| 5 | Suzuki, M. and Saiki, A., 'エアロゾルと表面汚染物の分析技術,' 空氣淸淨, 第32卷, 第3號, 日本空氣淸淨協會, pp. 1-6, 1994 |
| 6 | Adachi, M. and Fujii, T., 'UV/光電子荷電-粒子捕集ユニットによる大容量ウェハストッカ-の粒子除去過程,' 第17回 空氣淸淨とコンタミネ-ションコントロ-ル硏究大會, pp. 259-260, 1999 |
| 7 | 藤井 敏昭 et al., 'クリ-ンル-ム環境たおける汚染物の制御-UV/光電子法たよるガスと粒子の同時除去,' クリ-ンテクノロヅ一, Vol. 9, pp. 38-44, 1997 |
| 8 | 한국공기청정연구조합, GIGA급 Ultra 클린룸 시스템 개발, 산업자원부 중기거점기술개발 연구기획 보고서, 1999 |
| 9 | 板本和彦, 井上渟, 石谷治, 河野仁志, 'UV/光觸媒を用いた揮發性有機物の分解,' 第15回 空氣淸淨とコンタミネ-ションコントロ-ル硏究大會, pp. 305-308, 1998 |
| 10 | 河野仁志, 田村혜, 板本和彦, '光化學反應と觸媒を利用したガス汚染物質の除去に關する硏究,' 第15回 空氣淸淨とコンタミネ-ションコントロ-ル硏究大會, pp. 325-328, 1998 |
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