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http://dx.doi.org/10.4313/JKEM.2009.22.5.373

Electrical and Optical Properties of GZO Thin Films using Substrate Bias Voltage for Solar Cell  

Kwon, Soon-Il (충주대학교 전자공학과)
Lee, Seok-Jin (충주대학교 전자공학과)
Park, Seung-Bum (충주대학교 전자공학과)
Jung, Tae-Hwan (충주대학교 전자공학과)
Lim, Dong-Gun (충주대학교 전자공학과)
Park, Jea-Hwan (충주대학교 전자공학과)
Choi, Won-Seok (한밭대학교 전기공학과)
Park, Moon-Gi (LG 디스플레이)
Yang, Kea-Joon (충주대학교 전자공학과)
Publication Information
Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers / v.22, no.5, 2009 , pp. 373-376 More about this Journal
Abstract
In this paper we report upon an investigation into the effect of DC bias voltage on the electrical and optical properties of Gallium doped zinc oxide (GZO) film. GZO films were deposited on glass substrate without substrate temperature by RF magnetron sputtering from a ZnO target mixed with 5 wt% $Ga_{2}O_{3}$. we investigated sample properties of bias voltage change in 0 to -60 V. We were able to achieve as low as $5.89{\times}10^{-4}{\Omega}cm$ and transmittance over 88 %. without substrate heating.
Keywords
RF magnetron sputtering; GZO films; Electrical and optical properties; DC bias voltage;
Citations & Related Records
Times Cited By KSCI : 1  (Citation Analysis)
연도 인용수 순위
1 김영기, 박정후, '불평형 마그네트론스파트링에 의한 ac-PDP용 ITO 박막의 전기적.광학적 특성에 관한 연구', 부산대학교 생산기술연구소 논문집, 59권, p. 99, 2000
2 H. L. Hartnagel, A. L. Dawar, A. K. Jain, and C. Jagadish, 'Semiconducting Transparent', Thi. Fil. Ins. of Phy. Pub., p. 152, 1995
3 황득규, 방규현, 명재민, 'ZnO계 소자 연구 동향', 전기전자재료, 15권, 6호, p. 35, 2002
4 이종무, 임근빈, 'RF전력과 산소 유량비에 따른 투명전극용 AZO박막의 특성 비교', 대한금속.재료학회지, 43권, 12호, p. 810, 2005
5 박용육, 윤석진, 최지원, 김현재, 정형진, 박창엽, 'RF 마그네트론 반응성 스퍼터링으로 제작된 ZnO/Glass 박막 특성', 전기전자재료학회논문지, 11권, 10호, p. 833, 1998