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Y. Hoshi, H.-O. Kato, and K. Funatsu, 'Structure and electrical properties of ITO thin films deposited at high rate by facing target sputtering', Thin Solid Films, Vol. 445, No. 2, p. 245, 2003
DOI
ScienceOn
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2 |
김지환, 조도현, 손선영, 김화민, 김종재, '플렉서블 디스플레이용 저온공정을 갖는 대향타겟식 스퍼터링 장치를 이용한 가스 차단막의 특성', 전기전자재료학회논문지, 22권, 5호, p. 425, 2009
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ScienceOn
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3 |
L.-N. He and J. Xu, 'Properties of amorphous films prepared by reactive RF magnetron sputtering method', Vacuum, Vol. 68, No. 2, p. 197, 2003
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ScienceOn
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4 |
J. Shim, H. G. Yoon, S.-H. Na, I. Kim, and S. Kwak, 'Silicon oxynitride gas barrier coatings on poly(ether sulfone) by plasma- enhanced chemical vapor deposition', Surf. Coat. Tech., Vol. 202, No. 13, p. 2844, 2008
DOI
ScienceOn
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5 |
Permatran-W , Model 3/33 Operator's Manual, MOCON, Inc
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김광호, 이주원, 김영철, 주병권, 김재경, '유기 EL 보호층으로 적용하기 위한 무기 복합 박막의 투습율 특성 연구', 전기전자재료학회논문지, 17권, 4호, p. 432, 2004
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S. Takada, 'Relation between optical property and crystallinity of ZnO thin films prepared by RF magnetron sputtering', J. Appl. Phys., Vol. 73, No. 10, p. 4739, 1993
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ScienceOn
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W. T. Li, R. Boswell, M. Samoc, A. Samoc, and R. P. Wang, 'The effect of defects on the optical nonlinearity of thermally poled thin films', Thin Solid Films, Vol. 516, No. 30, p. 5474, 2008
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ScienceOn
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A. G. Erlat, B. M. Heny, J. J. Ingram, D. B. Moutain, A. McGuigan, R. P. Howson, C. R. M. Grovenor, G. A. D. Briggs, and Y. Tsukahara, 'Characterization of aluminum oxynitride gas barrier films', Thin Solid Films, Vol. 388, No. 1-2, p. 78, 2001
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ScienceOn
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A. G. Erlat, B. M. Heny, J. J. Ingram, C. R. M. Grovenor, G. A. D. Briggs, R. J. Chater, and Y. Tsukahara, 'Mechanism of water vapor transport through PET/ gas barrier films', J. Phys. Chem. B, Vol. 108, No. 3, p. 883, 2004
DOI
ScienceOn
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11 |
A. Gruniger and Ph. Rudolf von Rohr, 'Influence of defects in thin films on their barrier porperties', Thin Solid Films, Vol. 459, No. 1-2, p. 308, 2004
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ScienceOn
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12 |
김건희, 금민종, 김한기, 손인환, 장경욱, 이원재, 최형욱, 박용서, 김경환, 'FTS법을 이용한 ITO 박막의 제작', 전기전자재료학회논문지, 17권, 11호, p. 1230, 2004
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배강, 왕태현, 손선영, 김화민, 홍재석, '대향타겟식 스퍼터링 장치의 공정 조건에 따른 가스 차단막의 특성', 전기전자재료학회논문지, 22권, 7호, p. 595, 2009
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