Electrical and Optical Characteristics of Inductively Coupled Plasma by Ar Gas Pressure and Rf Power
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최용성
(원광대학교 전기전자 및 정보공학부)
허인성 (원광대학교 전자재료공학) 이영환 (원광대학교 전자재료공학) 박대희 (원광대학교 전기전자 및 정보공학부) |
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Measurements of inductively coupled RF fluorescent lamp lumen properties
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음극 재질에 따른 직류 플라즈마 시스템의 글로우 방전 특성 및 진단에 관한 연구
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High-dendity plasma mode of an inductively coupled radio frequency discharge
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The Langnmuir probe as diagnostic of the electron component within low temperature laser ablated plasma plums
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DOI ScienceOn |
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Argon 유도결합 플라즈마의 광학적, 전기적 특성에 대한 연구
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과학기술학회마을 |
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플라즈마 온도 측정에 관한 연구
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플라즈마 파라메타 측정용 고속 Langmuir 프로브 구동회로 실현 및 적용
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과학기술학회마을 |
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무전극 황방전등에서 고압 이원자 황의 자체역전 효과
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과학기술학회마을 |
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유도결합형 플라즈마 원을 이용한 고선택비 산화막 식각에 관한 연구
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