Effects of Ozone Oxidation on the Contact Resistance of DRAM Cell |
최재승
(충북대학교 전기전자컴퓨터공학과)
이승욱 (충북대학교 산업대학원 전기전산공학과) 신봉조 (충북대학교 전기전자컴퓨터공학과) 박근형 (충북대학교 전기전자컴퓨터공학과) 이재봉 (충북대학교 전기전자컴퓨터공학과) |
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Low temperature oxidation of silicon
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DOI ScienceOn |
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Atmospheric pressure, low temperature (<500℃) ozone oxidation of silicon
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UV assisted growth of 100Å thick SiO₂at 500℃
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DOI ScienceOn |
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Electrical characteristics of high-quality sub-25-Å oxides grown by ultraviolet ozone exposure at low temperature
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DOI ScienceOn |
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절연체 위의 다결정 실리콘 재결정화 공정최적화와 그 전기적 특성 연구
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과학기술학회마을 |
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드레인오프세트 다결정실리콘 박막트랜지스터의 누설전류 해석
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과학기술학회마을 |
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Applications of 100% ozone gas process to rapid low-temperature oxidation
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Ozone-induced rapid low temperature oxidation of silicon
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DOI ScienceOn |
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Ozone oxidation of silicon
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DOI ScienceOn |
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Rapid thermal oxidation of silicon in ozone
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A history perspective on the development of MOS transistor and related device
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