The Characteristics of Ti-O Buffer Layered Ta/Ta2O5Capacitors on the Al2O3 substrate
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김현주
(창원대학교 대학원 물리학과)
송재성 (한국전기연구원 전자기소자연구) 김인성 (한국전기연구원 전자기소자연구) 김상수 (창원대학교 대학원 물리학과) |
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Leakage current in amorphous <TEX>$Ta_2O_5$</TEX> thin films
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DOI ScienceOn |
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Electrical properties of <TEX>$Ta_2O_5$</TEX> thin films deposited on Ta
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DOI ScienceOn |
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Au/Ta2O5/Pt MIM capacitor의 annealing 유전특성
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과학기술학회마을 |
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졸-겔법에 의한 <TEX>$Ta_2O_5$</TEX> 박막의 전기적 특성
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Properties and reliability of <TEX>$Ta_2O_5$</TEX> thin films deposited on Ta
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6 |
Conduction mechanisms in amorphous and crystalline <TEX>$Ta_2O_5$</TEX> thin films
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DOI ScienceOn |
7 |
Sol-Gel 법에 의한 <TEX>$Ta_2O_5$</TEX> 박막의 전기전도와 광학적 특성
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<TEX>$Ta_2O_5$</TEX>커패시터 박막의 유전특성과 열 안전성에 관한 연구
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