Study on Etching Damages of YMnO3 Thin Films by Cl-based Plasma |
박재화
(중앙대학교 전자전기공학부)
기경태 (중앙대학교 전자전기공학부) 김동표 (중앙대학교 전자전기공학부) 김창일 (중앙대학교 전자전기공학부) 장의구 (중앙대학교 전자전기공학부) |
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Y/Mn의 혼합비에 따른 YMnO₃세라믹의 소결 및 유전특성
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과학기술학회마을 |
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유도결합 플라즈마를 이용한 YMnO₃박막의 건식 식각 특성 연구
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Dry etching characteristics of Pb(Zr,Ti)<TEX>$O_{3}$</TEX> films in <TEX>$CF_{4}$</TEX> and <TEX>$Cl_{2}/CF_{4}$</TEX> inductively coupled plasmas
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DOI |
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Pt/SBT/YMnO₃/Si(MFIS)-FET 구조를 위한 YMnO₃박막의 영향
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