Etching Mechanism Of Bi4-xEuxTiO12 (BET) Thin films Using Ar/CF4 Inductively Coupled Plasma
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임규태
(중앙대학교 전자전기공학부)
김경태 (중앙대학교 전자전기공학부) 김동표 (중앙대학교 전자전기공학부) 김창일 (중앙대학교 전자전기공학부) |
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Fatigue-free samarium-modfied bismuth titanate (<TEX>$Bi_{4-x}Sm_xTi_3O_{12}$<TEX>) film capacitors having large spontaneous polarizations
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CF4/Ar 플라즈마에 의한 BST 박막 식각 특성
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The effect of Eu-substituded <TEX>$Bi_4Ti_3O_{12}$</TEX> thin films prepared by a metal-organic decomposition method
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Preparation and ferroelectric properties of <TEX>$SrBi_2Ta_2O_9$(/TEX> thin films
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Ferroelectric properties of <TEX>$Bi_{3.25}La_{0.75}Ti_3O_{12}$</TEX> thin films prepared by chemical solution deposition
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MOD 법으로 제조한 강유전성 SBT 박막에서 하부전극이 유전 및 전기적 특성에 미치는 영향
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과학기술학회마을 |
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비휘발성 메모리 소자응용을 위한 과잉 Bi 첨가에 따른 BLT 박막의 강유전 특성
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PLD 기법에 의한 강유전체 SBT/YBCO/LaAIO₃헤테로 박막의 제작 및 특성
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Effect of neodymium (Nd) doping on the dielectric and ferroelectric characteristics of sol-gel derived lead zirconate titanate (53/47) thin films
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Ar/CF₄유도결합 플라즈마를 이용한 <TEX>$(Ba_{0.6}Sr_{0.4})TiO_3$</TEX> 박막의 식각 특성
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