Effect of CF4 Addition on Ferroelectric YMnO3Thin Film Etching |
박재화
(중앙대학교 전자전기공학부)
김경태 (중앙대학교 전자전기공학부) 김창일 (중앙대학교 전자전기공학부) 장의구 (중앙대학교 전자전기공학부) 이철인 (안산공대 전기과) |
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Metal-organic decomposition법에 의한 강유전성 YMnO₃박막의 제조 및 특성
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과학기술학회마을 |
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Pt/SBT/TMnO₃/Si(MFIS)-FET 구조를 위한 YMnO₃박막의 영향
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과학기술학회마을 |
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Y/Mn 의 혼합비에 따른 YMnO₃ 세라믹의 소결 및 유전특성
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4 |
유도결합 플라즈마를 이용한 YMnO₃박막의 건식 식각 특성 연구
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Dryetching Characteristics of Pb(Zr,Ti)O₃films in CF₄and Cl₂/CF₄inductively coupled plasmas
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DOI |
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Lowering the crystallization temperature of YMnO₃thin films by the sol-gel method using yttrium alkoxide
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Tungsten pattering for 1:1 x-ray masks
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