Monolithic film Bulk Acoustic Wave Resonator using SOI Wafer
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김인태
(충북대학교 반도체공학과)
김남수 (충북대학교 반도체공학과) 박윤권 (한국과학기술원 마이크로시스템) 이시형 (한국과학기술원 마이크로시스템) 이전국 (한국과학기술원 마이크로시스템) 주병권 (한국과학기술원 마이크로시스템) 이윤희 (고려대학교 물리학과) |
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