Browse > Article

MEMS 초음파 변환기 기술 및 동향  

Lee, Byeong-Cheol (한국과학기술연구원 뇌과학창의연구단)
Kim, Su-Jin (고려대학교 전기전자공학부)
Publication Information
Electrical & Electronic Materials / v.35, no.1, 2022 , pp. 36-47 More about this Journal
Keywords
Citations & Related Records
Times Cited By KSCI : 1  (Citation Analysis)
연도 인용수 순위
1 G. Shirane, K. Suzuki, and A. Takeda, J. Phys. Soc. Jpn., 7, 12 (1952).   DOI
2 RoHS Annex III Lead Exemptions, https://www.rohsguide.com/rohs-lead-exemptions.htm (2021).
3 J. Jung, W. Lee, W. Kang, E. Shin, J. Ryu, and H. Choi, J. Micromech. Microeng., 27, 113001, 2017.   DOI
4 SmartSonic, TDK InvenSense. https://invensense.tdk.com/smartsonic/ (2021).
5 K. K. Park, J. Korean Soc. Nondestruc. Testing, 34, 77 (2014).
6 S. R. Kothapalli, G. A. Sonn, J. W. Choe, A. Nikoozadeh, A. Bhuyan, K. K. Park, P. Cristman, R. Fan, A. Moini, B. C. Lee, J. Wu, T. E. Carver, D. Trivedi, L. Shiiba, I. Steinberg, D. M. Huland, M. F. Rasmussen, J. C. Liao, J. D. Brooks, B. T. Khuri-Yakub, and S. S. Gambhir, Sci. Transl. Med., 11, eaav2169 (2019).   DOI
7 J. H. Lee, I. J. Cho, K. Ko, E. S. Yoon, H. H. Park, and T. S. Kim, Microsyst. Technol., 23, 2321 (2017).   DOI
8 M. Royer, J. O. Holmen, M. A. Wurm, O. S. Aadland, and M. Glenn, Sensors and Actuators, 4, 357 (1983).   DOI
9 J. F. Li, Lead-Free Piezoelectric Materials, (Wiley-VCH GmbH, Weinheim, 2021) p. 1.
10 G. Shirane and A. Takeda, J. Phys. Soc. Jpn., 7, 5 (1952).   DOI
11 F. Li, D. Lin, Z. Chen, Z. Cheng, J. Wang, C.C. Li, Z. Xu, Q. Huang, X. Liao, L. Q. Chen, T. R. Shrout, and S. Zhang, Nat. Mater., 17, 349 (2018).   DOI
12 C. Liu, Foundations of MEMS, 2nd ed. (Pearson Education, Essex, 2012) p.27.
13 S. Y. Jung and S. H. Baek, Ceramist, 22, 82 (2019).   DOI
14 D. E. Dausch, K. H. Gilchrist, J. B. Carlson, S. D. Hall, J. B. Castellucci, and O. T. von Ramm, IEEE Trans. Ultrason. Ferroelectr. Freq. Control, 61, 1754 (2014).   DOI
15 J. Lee, K. Ko, H. Shin, S. J. Oh, C. J. Lee, N. Chou, N. Choi, M. T. Oh, B. C. Lee, S. C. Jun, and I. J. Cho, Microsyst. Nanoeng., 5, 28 (2019).   DOI
16 X Jiang, Y. Lu, H. Y. Tang, J. M. Tsai, E. J. Ng, M. J. Daneman, B. E. Boser, and D. A. Horsley, Microsyst. Nanoeng., 3, 17059 (2017).   DOI
17 C. Chen, Z. Wen, J. Shi, X. Jian, P. Li, J. T. W. Yeow, and X. Sun, Nat. Commun., 11, 4143 (2020).   DOI
18 K. Suzuki, K. Higuchi, and H. Tanigawa, IEEE Trans. Ultrason. Ferroelectr. Freq. Control, 36, 620 (1989).   DOI
19 M. I. Haller and B. T. Khuri-Yakub, IEEE Ultrason. Symp., Cannes, France, 1994, p. 1241.
20 J. M. Rothberg, T. S. Ralston, A. G. Rothberg, J. Martin, J. S. Zahorian, S. A. Alie, N. J. Sanchez, K. Chen, C. Chen, K. Thiele, D. Grosjean, J. Yang, L. Bao, R. Schneider, S. Schaetz, C. Meyer, A. Neben, B. Ryan, J. R. Petrus, J. Lutsky, D. McMahill, G. Corteville, M. R. Hageman, L. Miller, and K. G. Fife, Proc. Natl. Acad. Sci., 118, e2019229118 (2021).   DOI
21 F. Li, M. J. Cabral, B. Xu, Z. Cheng, E. C. Dickey, J. M. LeBeau, J. Wang, J. Luo, S. Taylor, W. Hackenberger, L. Bellaiche, Z. Xu, L. Q. Chen, T. R. Shrout, and S. Zhang, Science, 364, 264 (2019).   DOI
22 J. Joseph, B. Ma, and B. T. Khuri-Yakub, IEEE Trans. Ultrason. Ferroelectr. Freq. Control, early access (2021).