1 |
K. M. Mahmoud, R. P. Van Kampen, M. J. Rutka, and R. F. Wolffen buttel, 'A silicon integrated smart pressure sensor', Transducer 93, pp. 217-220, 1993
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2 |
S. C. Kim and K. D. Wise, 'Temperature sensitivity in silicon piezoresistivity pressure transdusers', IEEE Trans. on Electron Devices, vol. ED-30, no. 7, pp. 802-810, 1983
|
3 |
S. J. Lu, Z. Zheng, and Q. Y. Tong, 'A new silicon micromachining method using SOI/SDB technology', Sensors and Actuators, vol. 23, A21-A23, p. 961, 1990
DOI
ScienceOn
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4 |
E. Stemme and G. Stemme, 'A balanced dual-diaphragm resonant pressure sensor in silicon', IEEE Trans. on Electron Devices, vol. 37, p. 648, 1990
DOI
ScienceOn
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5 |
김우정, 조용수, 황정훈, 최시영, '스테인레스 봉입형 반도체 압력센서의 제작 및 특성', 센서학회지, 제11권, 제3호, pp 138-144,2002
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6 |
이창준, 강신원, 최시영, 'SOB 웨이퍼를 이용한 압저항형 압력센서의 제조', 센서학회지, 제4권, 제 1 호, pp. 29-34, 1995
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7 |
손승현, 김우정, 최시영, '가스누출감지용, 실리콘 압저항형 절대압 압력센서의 제조 및 온도보상', 센서학회지, 제7권, 제3호, pp. 171-178, 1998
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8 |
배혜진, 손승현, 최시영, '생체 in-vivo 측정용 살리콘 압저항형 압력센서의 제조 및 특성', 센서학회지, 제10권, 제3호, pp. 148-155, 2001
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9 |
R. Jhonson and R. E. Higashi, 'A highly sensitivity silicon cjip microtransducer for air flow and differential pressure sensing application', Sensors and Actuators, vol. 11, pp. 63-72, 1987
DOI
ScienceOn
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