A High Accuracy and Fast Hybrid On-Chip Temperature Sensor

This paper presents a high accuracy and fast hybrid on-chip temperature sensor. The proposed temperature sensor combines a SAR type temperature sensor with a ${\Sigma}{\Delta}$ type temperature sensor. The SAR type temperature sensor has fast temperature searching time but it has more error than the ${\Sigma}{\Delta}$ type temperature sensor. The ${\Sigma}{\Delta}$ type temperature sensor is accurate but it is slower than the SAR type temperature sensor. The proposed temperature sensor uses both the SAR and ${\Sigma}{\Delta}$ type temperature sensors, so that the proposed temperature sensor has high accuracy and fast temperature searching. Also, the proposed temperature sensor includes a temperature error compensating circuit by storing the temperature errors in a memory circuit after chip fabrication. The proposed temperature sensor was fabricated in 3.3V CMOS $0.35{\mu}m$ process. Its temperature resolution, power consumption, and area are $0.15^{\circ}C$, $540{\mu}W$, and $1.2mm^2$, respectively.

고정밀 고속 하이브리드 온 칩 온도센서

본 논문에서는 고정밀 하이브리드 온 칩 온도센서를 제안하였다. 제안된 온도센서에서는 SAR 타입 온도센서와 ${\Sigma}{\Delta}$타입 온도센서를 혼합하였다. SAR 타입 온도센서는 ${\Sigma}{\Delta}$타입 온도센서 보다 온도를 찾아가는 속도가 빠르지만 오차가 발생할 확률이 높은 단점이 있고, ${\Sigma}{\Delta}$ 타입 온도센서는 SAR 타입 온도센서 보다 정확하지만 속도가 느린 단점이 있다. 제안된 온도 센서는 두개의 온도 측정방법을 혼합하여 고정밀 고속 온도측정이 가능하다. 또한, 칩 제작 후 온도 오차 값을 메모리회로에 저장하여 온도 오차를 보상하는 회로를 포함하여 온도센서를 구현하였다. 제안된 온도센서는 $0.35{\mu}m$ CMOS 공정으로 제작되었다. 온도 정확도, 소비 전력, 칩 면적은 각각 $0.15^{\circ}C$, $540{\mu}W$, $1.2mm^2$였다.