Suppression of Microwelding on RF MEMS Direct Contact Switches
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Lee, Tae-Won
(서울대학교 기계항공공학부 대학원)
Kim, Seong-Jun (서울대학교 기계항공공학부 대학원) Park, Sang-Hyun (서울대학교 기계항공공학부 대학원) Lee, Ho-Young (서울대학교 기계항공공학부) Kim, Yong-Hyup (서울대학교 기계항공공학부) |
1 | 박재영, '차세대 정보통신 산업에 RF MEMS 기술의 응용', 대한전기학회지, 제 51권 5호, 2002, pp.36-43 과학기술학회마을 |
2 | Vijay K. Varadan, K. J. Viney, K. A. Jose, 'RF MEMS and Their Applications', Wiley, Chichester, 2003, Chap. 1 |
3 | Gabriel M. Rebeiz ,'RF MEMS Theory, Design and Technology', Wiley Inter-Science, New Jersey, 2003, pp.192-194 |
4 | D. Peroulis, S. P. Pacheco, 'Electromechanical Considerations in Developing Low-Voltage RF MEMS Switches', IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques, Vol. 51, No.1, Jan. 2003, pp.259-270 DOI ScienceOn |
5 | Howard E. Boyer, Timothy L. Gall, 'Metals Handbook : Desk Edition', American Society for Metals, Metals Park, Ohio, 1985, Part II |
6 | 김성준, 이태원, 박상현, 김원호, 김문일, 김용협, 'RF MEMS Switch를 이용한 초고주파용 Active-EMXT', 제 6회 한국 MEMS 학술대회, 2004 |
7 | 김종만, 'SiOG 기판을 이용한 단결정 실리콘 RF MEMS 스위치의 제작 및 특성에 관한 연구', 서울대학교 석사 학위논문, 2004 |
8 | Jae-Hyoung Park, 'A Study on the Characterstics of Micromachined Direct Contact Type RF Switch', Ph. D Thesis, Seoul National University, Seoul., Korea, 2002 |
9 | Perrin Walker, William H. Tarn, 'CRC Handbook of Metal Etchants', CRC Press, Boca Raton, California, 1991, Chap. 2 |
10 | Kirt R. Williams, Richard S. Muller, 'Etch Rates for Micromachining Processing', Journal of Microelectromechanical Systems, Vol. 5, No. 4, Dec. 1996, pp.256-269 DOI ScienceOn |
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